100 mm 4 dyuymli GaN Sapphire epi-qatlamli gofret Galliy nitridi epitaksial gofret

Qisqacha tavsif:

Gallium nitridi epitaksial varaq - keng tarmoqli bo'shlig'i, yuqori parchalanish maydoni kuchi, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori elektron to'yinganlik tezligi, kuchli radiatsiya qarshiligi va yuqori kabi ajoyib xususiyatlarga ega bo'lgan keng tarmoqli bo'shliqli yarimo'tkazgichli epitaksial materiallarning uchinchi avlodining odatiy vakili. kimyoviy barqarorlik.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

GaN ko'k LED kvant quduq tuzilishining o'sish jarayoni. Batafsil jarayon oqimi quyidagicha

(1) Yuqori haroratli pishirish, safir substrat birinchi navbatda vodorod atmosferasida 1050 ℃ ga qadar isitiladi, maqsad substrat yuzasini tozalashdir;

(2) Substrat harorati 510 ℃ ga tushganda, safir substrat yuzasida qalinligi 30 nm bo'lgan past haroratli GaN / AlN bufer qatlami yotqiziladi;

(3) Harorat 10 ℃ ga ko'tariladi, reaksiya gazi ammiak, trimetilgalyum va silan AOK qilinadi, mos ravishda mos keladigan oqim tezligini nazorat qiladi va 4um qalinlikdagi silikon qo'shilgan N-tipli GaN o'stiriladi;

(4) Trimetil alyuminiy va trimetil galyumning reaksiya gazi qalinligi 0,15 um bo'lgan kremniy qo'shilgan N-tipli A⒑ qit'alarini tayyorlash uchun ishlatilgan;

(5) 50nm Zn qo'shilgan InGaN trimetilgalyum, trimetilindiy, dietilsink va ammiakni 8O0 ℃ haroratda in'ektsiya qilish va mos ravishda turli oqim tezligini nazorat qilish orqali tayyorlangan;

(6) Harorat 1020 ℃ ga ko'tarildi, trimetilalyuminiy, trimetilgalyum va bis (siklopentadienil) magniy 0,15 um Mg P-tipli AlGaN va 0,5 um Mg qo'shilgan P-tipli G qon glyukozasini tayyorlash uchun AOK qilindi;

(7) Yuqori sifatli P-tipli GaN Sibuyan plyonkasi 700 ℃ da azotli atmosferada tavlanish yo'li bilan olingan;

(8) N-turi G staz yuzasini aniqlash uchun P-tipli G staz yuzasiga yotqizish;

(9) p-GaNI yuzasida Ni / Au kontakt plitalarining bug'lanishi, elektrodlarni hosil qilish uchun ll-GaN yuzasida △ / Al kontakt plitalarining bug'lanishi.

Texnik xususiyatlari

Element	GaN-TCU-C100	GaN-TCN-C100
O'lchamlari	e 100 mm ± 0,1 mm
Qalinligi	4,5 ± 0,5 um Sozlanishi mumkin
Orientatsiya	C-tekisligi(0001) ±0,5°
O'tkazuvchanlik turi	N-turi (to'lanmagan)	N-turi (Si qo'shilgan)
Qarshilik (300K)	< 0,5 Q・sm	< 0,05 Q・sm
Tashuvchi konsentratsiyasi	< 5x10¹⁷sm^-3	> 1x10¹⁸sm^-3
Mobillik	~ 300 sm²/Vs	~ 200 sm²/Vs
Dislokatsiya zichligi	5x10 dan kam⁸sm^-2(XRD FWHMlari tomonidan hisoblangan)
Substrat tuzilishi	Safirda GaN (Standart: SSP opsiyasi: DSP)
Foydalanish mumkin bo'lgan sirt maydoni	> 90%
Paket	100-sinf toza xona muhitida, 25 dona kasetlarda yoki bitta gofretli konteynerlarda, azotli atmosfera ostida qadoqlangan.