C-Plane DSP TTV tashuvchisi uchun 156mm 159mm 6 dyuymli sapfirli vafli

Qisqacha tavsif:

Diametri 156 mm/159 mm, 6 dyuymli Al2O3 ikki tomonlama abrazivlangan (DSP) sapfir plastinkalari, tashuvchi taxtalar uchun TTV qalinligi 3 mikrondan kam bo'lgan. Qo'shimcha 8 dyuym / 6 dyuym / 5 dyuym / 2 dyuym / 3 dyuym / 4 dyuym / 5 dyuym C o'qi, A o'qi, R o'qi, M o'qi plastinkalari. Diametri 6 dyuym (6 dyuym/6 dyuym) gacha bo'lgan, bir tomonlama abrazivlangan (SSP) yoki ikki tomonlama abrazivlangan (DSP) sirtlarga ega va qalinligi 650 mikron yoki 1000 mikron bo'lgan C-tekislik sapfir plastinkalari.


Xususiyatlari

Texnik xususiyatlar

Mahsulot 6 dyuymli C-tekislik (0001) Safir vaflilari
Kristall materiallar 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3
Baho Prime, Epi-Ready
Sirt yo'nalishi C-tekislik (0001)
C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1°
Diametri 100,0 mm +/- 0,1 mm
Qalinligi 650 μm +/- 25 μm
Birlamchi tekislik yo'nalishi C-tekislik(00-01) +/- 0.2°
Bir tomonlama jilolangan Old yuza Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha)
(SSP) Orqa yuza Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha
Ikki tomonlama jilolangan Old yuza Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha)
(DSP) Orqa yuza Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha)
TTV <20 μm
BOW <20 μm
WARP <20 μm
Tozalash / Qadoqlash 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash,
Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona.

Kylopoulos usuli (KY usuli) hozirda Xitoyning ko'plab kompaniyalari tomonidan elektronika va optika sanoatida foydalanish uchun sapfir kristallarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi.

Bu jarayonda yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi 2100 darajadan yuqori haroratda tigelda eritiladi. Odatda tigel volfram yoki molibdendan tayyorlanadi. Aniq yo'naltirilgan urug' kristalli eritilgan alyuminiy oksidiga botiriladi. Urug' kristalli asta-sekin yuqoriga tortiladi va bir vaqtning o'zida aylantirilishi mumkin. Harorat gradiyentini, tortish tezligini va sovutish tezligini aniq boshqarish orqali eritmadan katta, monokristalli, deyarli silindrsimon quyma hosil qilish mumkin.

Yagona kristalli sapfir quymalari yetishtirilgandan so'ng, ular silindrsimon tayoqchalarga burg'ulanadi, keyin ular kerakli oyna qalinligiga kesiladi va nihoyat kerakli sirt qoplamasigacha sayqallanadi.

Batafsil diagramma

156mm 159mm 6 dyuymli sapfir vafli (1)
156mm 159mm 6 dyuymli sapfir vafli (2)
156mm 159mm 6 dyuymli sapfir vafli (3)

  • Oldingi:
  • Keyingisi:

  • Xabaringizni shu yerga yozing va bizga yuboring