C-Plane DSP TTV tashuvchisi uchun 156mm 159mm 6 dyuymli sapfirli vafli
Texnik xususiyatlar
| Mahsulot | 6 dyuymli C-tekislik (0001) Safir vaflilari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Qalinligi | 650 μm +/- 25 μm | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | C-tekislik(00-01) +/- 0.2° | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <20 μm | |
| BOW | <20 μm | |
| WARP | <20 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
Kylopoulos usuli (KY usuli) hozirda Xitoyning ko'plab kompaniyalari tomonidan elektronika va optika sanoatida foydalanish uchun sapfir kristallarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
Bu jarayonda yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi 2100 darajadan yuqori haroratda tigelda eritiladi. Odatda tigel volfram yoki molibdendan tayyorlanadi. Aniq yo'naltirilgan urug' kristalli eritilgan alyuminiy oksidiga botiriladi. Urug' kristalli asta-sekin yuqoriga tortiladi va bir vaqtning o'zida aylantirilishi mumkin. Harorat gradiyentini, tortish tezligini va sovutish tezligini aniq boshqarish orqali eritmadan katta, monokristalli, deyarli silindrsimon quyma hosil qilish mumkin.
Yagona kristalli sapfir quymalari yetishtirilgandan so'ng, ular silindrsimon tayoqchalarga burg'ulanadi, keyin ular kerakli oyna qalinligiga kesiladi va nihoyat kerakli sirt qoplamasigacha sayqallanadi.
Batafsil diagramma





