4 dyuymli 6 dyuymli lityum niobat yagona kristalli plyonka LNOI gofreti
LNOI materiallarini tayyorlash jarayoni asosan quyidagi to'rt bosqichga bo'linadi
(1) U ionlari X-kesilgan lityum niobat materialiga ma'lum bir energiyada AOK qilingan va lityum niobatning sirt qatlami ostida ma'lum bir chuqurlikdagi nuqson qatlamiga kiritilgan;
(2) Ion implantatsiya qilingan lityum niobat moddasi biriktiruvchi tuzilmani hosil qilish uchun oksidli qatlam bilan silikon substratga bog'langan;
(3) He ion implantatsiyasi natijasida paydo bo'lgan nuqsonlarning rivojlanishi va yoriqlar hosil qilish uchun yig'ilishi uchun biriktiruvchi struktura tavlandi. Nihoyat, lityum niobat qoldiq lityum niobat bo'laklari va LNOI gofretlarini hosil qilish uchun nuqsonli qatlam bo'ylab ajratildi.
LNOI gofretining qo'llanilishi va afzalliklari
1 - Lityum niobatli piezoelektrik plyonkalar (LNOI) yuqori piezoelektrik koeffitsientga va dielektrik o'tkazuvchanlikka ega bo'lib, ular mexanik energiyani elektr energiyasiga yoki elektr energiyasini mexanik energiyaga aylantira oladi. Shuning uchun u bosim sensori, tezlashtirish sensori, harorat sensori va boshqalar kabi sensorlar sohasida keng qo'llaniladi. Bundan tashqari, lityum niobat piezoelektrik plyonkasi akustik qurilmalarda va tebranish qurilmalarida, masalan, piezoelektrik keramik transduser kompleksi piezoelektrik keramik filtrda ham qo'llanilishi mumkin.
2-Lityum niobat piezoelektrik plyonkaning barqarorligi ham uning afzalliklaridan biridir. Kristal strukturasining barqarorligi va kimyoviy inertligi tufayli lityum niobat piezoelektrik plyonkasi yuqori harorat, yuqori namlik, kuchli kislota, kuchli gidroksidi va boshqa qattiq muhitda yaxshi korroziyaga chidamliligi va chidamliligi bilan ishlashi mumkin.
3-lityum niobat piezoelektrik plyonkasi mukammal ishlash va barqarorlikka ega bo'lgan yangi piezoelektrik materialdir va keng qo'llanilishi istiqboliga ega. Ilm-fan va texnologiyaning uzluksiz rivojlanishi bilan lityum niobat piezoelektrik plyonkasi ko'proq shaharlarda qo'llaniladi, bu odamlar hayotiga ko'proq qulaylik va innovatsiyalar olib keladi.