8 dyuymli SiC ishlab chiqarish darajasidagi gofret 4H-N SiC substrat

Qisqacha tavsif:

8 dyuymli SiC substratlari kuchli MOSFETlar (metall oksidi yarimo'tkazgichli maydon effektli tranzistorlar), Schottky diodlari va boshqa quvvatli yarimo'tkazgich qurilmalari kabi yuqori quvvatli elektron qurilmalarda qo'llaniladi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Quyidagi jadvalda 8 dyuymli SiC gofretlarimizning texnik xususiyatlari ko'rsatilgan:

8 dyuymli N-tipli SiC DSP xususiyatlari
Raqam	Element	Birlik	Ishlab chiqarish	Tadqiqot	Qo'g'irchoq
1: parametrlar
1.1	politip	--	4H	4H	4H
1.2	sirt yo'nalishi	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektr parametri
2.1	dopant	--	n-turi azot	n-turi azot	n-turi azot
2.2	qarshilik	ohm · sm	0,015 ~ 0,025	0,01~0,03	NA
3: Mexanik parametr
3.1	diametri	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	qalinligi	mkm	500±25	500±25	500±25
3.3	Teshik yo'nalishi	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Chuqurlik chuqurligi	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	mkm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	mkm	≤10	≤10	≤15
3.7	Kamon	mkm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Buzilish	mkm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Tuzilishi
4.1	mikrotrubaning zichligi	e/sm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metall tarkibi	atomlar/sm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	e/sm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	e/sm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	e/sm2	≤7000	≤10000	NA
5. Oldingi sifat
5.1	old	--	Si	Si	Si
5.2	sirt qoplamasi	--	Si-yuzli CMP	Si-yuzli CMP	Si-yuzli CMP
5.3	zarracha	ea / gofret	≤100 (hajmi≥0,3 mkm)	NA	NA
5.4	tirnash	ea / gofret	≤5, Umumiy uzunlik≤200mm	NA	NA
5.5	Chet chiplar / chuqurliklar / yoriqlar / dog'lar / ifloslanish	--	Yo'q	Yo'q	NA
5.6	Politipli hududlar	--	Yo'q	Maydoni ≤10%	Maydoni ≤30%
5.7	oldingi belgi	--	Yo'q	Yo'q	Yo'q
6: Orqa sifat
6.1	orqa tugatish	--	C-yuzli deputat	C-yuzli deputat	C-yuzli deputat
6.2	tirnash	mm	NA	NA	NA
6.3	Orqa tarafdagi nuqsonlar chiplar/chiziqlar	--	Yo'q	Yo'q	NA
6.4	Orqa pürüzlülük	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Orqa belgi	--	Teshik	Teshik	Teshik
7: chekka
7.1	chekka	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Paket
8.1	qadoqlash	--	Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash	Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash	Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash
8.2	qadoqlash	--	Ko'p gofretli kassetali qadoqlash	Ko'p gofretli kassetali qadoqlash	Ko'p gofretli kassetali qadoqlash