8 dyuymli SiC ishlab chiqarish darajasidagi gofret 4H-N SiC substrat
Quyidagi jadvalda 8 dyuymli SiC gofretlarimizning texnik xususiyatlari ko'rsatilgan:
| 8 dyuymli N-turi SiC DSP xususiyatlari | |||||
| Raqam | Element | Birlik | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| 1: parametrlar | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | sirt yo'nalishi | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Elektr parametri | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n-turi azot | n-turi azot | n-turi azot |
| 2.2 | qarshilik | ohm · sm | 0,015 ~ 0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mexanik parametr | |||||
| 3.1 | diametri | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | qalinligi | mkm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Teshik yo'nalishi | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Chuqurlik chuqurligi | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | mkm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | mkm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Kamon | mkm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Buzilish | mkm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Tuzilishi | |||||
| 4.1 | mikrotrubaning zichligi | e/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metall tarkibi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | e/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | e/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | e/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Oldingi sifat | |||||
| 5.1 | old | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | sirt qoplamasi | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | zarracha | ea / gofret | ≤100 (hajmi≥0,3 mkm) | NA | NA |
| 5.4 | tirnash | ea / gofret | ≤5, Umumiy uzunlik≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Chet chiplar / chuqurliklar / yoriqlar / dog'lar / ifloslanish | -- | Yo'q | Yo'q | NA |
| 5.6 | Politipli hududlar | -- | Yo'q | Maydoni ≤10% | Maydoni ≤30% |
| 5.7 | oldingi belgi | -- | Yo'q | Yo'q | Yo'q |
| 6: Orqa sifat | |||||
| 6.1 | orqa tugatish | -- | C-yuzli deputat | C-yuzli deputat | C-yuzli deputat |
| 6.2 | tirnash | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Orqa tarafdagi nuqsonlar chiplar/chiziqlar | -- | Yo'q | Yo'q | NA |
| 6.4 | Orqa pürüzlülük | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Orqa belgi | -- | Teshik | Teshik | Teshik |
| 7: chekka | |||||
| 7.1 | chekka | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | qadoqlash | -- | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash |
| 8.2 | qadoqlash | -- | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash |
Batafsil diagramma
Tegishli mahsulotlar
Xabaringizni shu yerga yozing va bizga yuboring