8 dyuymli SiC ishlab chiqarish darajasidagi gofret 4H-N SiC substrati
Quyidagi jadvalda bizning 8 dyuymli SiC gofretlarimizning texnik xususiyatlari ko'rsatilgan:
| 8 dyuymli N-turdagi SiC DSP xususiyatlari | |||||
| Raqam | Mahsulot | Birlik | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | qo'g'irchoq |
| 1: parametrlar | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | sirt yo'nalishi | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektr parametri | |||||
| 2.1 | qo'shimcha | -- | n-turdagi azot | n-turdagi azot | n-turdagi azot |
| 2.2 | qarshilik | ohm ·sm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mexanik parametr | |||||
| 3.1 | diametr | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | qalinligi | mkm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Kesish yo'nalishi | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Kesish chuqurligi | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | mkm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | mkm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Kamon | mkm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Deformatsiya | mkm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Tuzilishi | |||||
| 4.1 | mikro quvur zichligi | ea/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metall tarkibi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Old sifat | |||||
| 5.1 | old tomon | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | sirt qoplamasi | -- | Si-yuzli CMP | Si-yuzli CMP | Si-yuzli CMP |
| 5.3 | zarracha | ea/wafer | ≤100 (hajmi ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | tirnalish | ea/wafer | ≤5, Umumiy uzunligi ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Chegara chiplar/chuqurchalar/yoriqlar/dog'lar/ifloslanish | -- | Hech biri | Hech biri | NA |
| 5.6 | Politip hududlar | -- | Hech biri | Maydoni ≤10% | Maydoni ≤30% |
| 5.7 | oldingi belgi | -- | Hech biri | Hech biri | Hech biri |
| 6: Orqa sifat | |||||
| 6.1 | orqa qoplama | -- | C-yuzli MP | C-yuzli MP | C-yuzli MP |
| 6.2 | tirnalish | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Orqa nuqsonlar chekkasi chiplar/chuqurchalar | -- | Hech biri | Hech biri | NA |
| 6.4 | Orqa pürüzlülüğü | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Orqa belgi | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7: chekka | |||||
| 7.1 | chekka | -- | Paxta | Paxta | Paxta |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | qadoqlash | -- | Vakuumli Epi-tayyor qadoqlash | Vakuumli Epi-tayyor qadoqlash | Vakuumli Epi-tayyor qadoqlash |
| 8.2 | qadoqlash | -- | Ko'p qatlamli kassetali qadoqlash | Ko'p qatlamli kassetali qadoqlash | Ko'p qatlamli kassetali qadoqlash |
Batafsil diagramma
Tegishli mahsulotlar
Xabaringizni shu yerga yozing va bizga yuboring