12 dyuymli Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Batafsil diagramma
Safir bilan tanishish
Safir plastinkasi yuqori tozalikdagi sintetik alyuminiy oksididan (Al₂O₃) tayyorlangan monokristalli substrat materialidir. Yirik safir kristallari Kyropoulos (KY) yoki issiqlik almashinuvi usuli (HEM) kabi ilg'or usullar yordamida yetishtiriladi va keyin kesish, yo'naltirish, silliqlash va aniq abrazivlash orqali qayta ishlanadi. O'zining ajoyib fizik, optik va kimyoviy xususiyatlari tufayli safir plastinkasi yarimo'tkazgichlar, optoelektronika va yuqori darajadagi iste'molchi elektronikasi sohalarida o'rnini bosuvchi rol o'ynaydi.
Safir sintezining asosiy usullari
| Usul | Printsip | Afzalliklari | Asosiy ilovalar |
|---|---|---|---|
| Verneuil usuli(Olovli sintez) | Yuqori tozalikdagi Al₂O₃ kukuni oksivodorod olovida eritiladi, tomchilar urug' ustida qatlamma-qatlam qattiqlashadi. | Arzon narx, yuqori samaradorlik, nisbatan oddiy jarayon | Qimmatbaho toshlar sifatidagi sapfirlar, dastlabki optik materiallar |
| Czochralski usuli (CZ) | Al₂O₃ tigelda eritiladi va urug' kristalli asta-sekin yuqoriga tortilib, kristallni o'stiradi | Yaxshi yaxlitlikka ega nisbatan katta kristallarni ishlab chiqaradi | Lazer kristallari, optik oynalar |
| Kiropoulos usuli (KY) | Nazorat ostidagi sekin sovutish kristallning tigel ichida asta-sekin o'sishiga imkon beradi | Katta o'lchamli, past stressli kristallarni (o'nlab kilogramm yoki undan ko'p) o'stirishga qodir | LED substratlar, smartfon ekranlari, optik komponentlar |
| HEM usuli(Issiqlik almashinuvi) | Sovutish tigelning yuqori qismidan boshlanadi, kristallar urug'dan pastga qarab o'sadi | Bir xil sifatga ega juda katta (yuzlab kilogrammgacha) kristallar ishlab chiqaradi | Katta optik oynalar, aerokosmik, harbiy optika |
Kristall yo'nalishi
| Yo'nalish / tekislik | Miller indeksi | Xususiyatlari | Asosiy ilovalar |
|---|---|---|---|
| C-tekislik | (0001) | c o'qiga perpendikulyar, qutb yuzasi, atomlar bir tekisda joylashgan | LED, lazer diodlari, GaN epitaksial substratlar (eng ko'p ishlatiladigan) |
| A-samolyot | (11-20) | C o'qiga parallel, qutbsiz sirt, qutblanish ta'siridan qochadi | Qutbsiz GaN epitaksiyasi, optoelektron qurilmalar |
| M-tekislik | (10-10) | C o'qiga parallel, qutbsiz, yuqori simmetriya | Yuqori samarali GaN epitaksiyasi, optoelektron qurilmalar |
| R-tekislik | (1-102) | C o'qiga moyil, ajoyib optik xususiyatlarga ega | Optik oynalar, infraqizil detektorlar, lazer komponentlari |
Safir gofretining spetsifikatsiyasi (moslashtirilishi mumkin)
| Mahsulot | 1 dyuymli C-tekislik (0001) 430 μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 25,4 mm +/- 0,1 mm | |
| Qalinligi | 430 μm +/- 25 μm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <5 mkm | |
| BOW | <5 mkm | |
| WARP | <5 mkm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
| Mahsulot | 2 dyuymli C-tekislik (0001) 430 μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 50,8 mm +/- 0,1 mm | |
| Qalinligi | 430 μm +/- 25 μm | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | A-tekislik(11-20) +/- 0.2° | |
| Birlamchi tekis uzunlik | 16,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <10 μm | |
| BOW | <10 μm | |
| WARP | <10 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
| Mahsulot | 3 dyuymli C-tekislik (0001) 500 μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 76,2 mm +/- 0,1 mm | |
| Qalinligi | 500 μm +/- 25 μm | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | A-tekislik(11-20) +/- 0.2° | |
| Birlamchi tekis uzunlik | 22.0 mm +/- 1.0 mm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <15 μm | |
| BOW | <15 μm | |
| WARP | <15 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
| Mahsulot | 4 dyuymli C-tekislik (0001) 650μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Qalinligi | 650 μm +/- 25 μm | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | A-tekislik(11-20) +/- 0.2° | |
| Birlamchi tekis uzunlik | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <20 μm | |
| BOW | <20 μm | |
| WARP | <20 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
| Mahsulot | 6 dyuymli C-tekislik (0001) 1300μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 150,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Qalinligi | 1300 μm +/- 25 μm | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | A-tekislik(11-20) +/- 0.2° | |
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <25 μm | |
| BOW | <25 μm | |
| WARP | <25 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bitta kassetali yoki bitta bo'lakli qadoqda 25 dona. | ||
| Mahsulot | 8 dyuymli C-tekislik (0001) 1300μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 200,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Qalinligi | 1300 μm +/- 25 μm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <30 μm | |
| BOW | <30 μm | |
| WARP | <30 μm | |
| Tozalash / Qadoqlash | 100-sinf toza xonalarni tozalash va vakuumli qadoqlash, | |
| Bir qismli qadoqlash. | ||
| Mahsulot | 12 dyuymli C-tekislik (0001) 1300μm Safir plitalari | |
| Kristall materiallar | 99,999%, Yuqori tozalik, Monokristalli Al2O3 | |
| Baho | Prime, Epi-Ready | |
| Sirt yo'nalishi | C-tekislik (0001) | |
| C-tekislikning M o'qiga nisbatan burilish burchagi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diametri | 300,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Qalinligi | 3000 μm +/- 25 μm | |
| Bir tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (SSP) | Orqa yuza | Mayda yer, Ra = 0,8 μm dan 1,2 μm gacha |
| Ikki tomonlama jilolangan | Old yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| (DSP) | Orqa yuza | Epi-jilolangan, Ra < 0,2 nm (AFM bo'yicha) |
| TTV | <30 μm | |
| BOW | <30 μm | |
| WARP | <30 μm | |
Safir gofretini ishlab chiqarish jarayoni
-
Kristal o'sishi
-
Maxsus kristall o'stirish pechlarida Kyropoulos (KY) usuli yordamida sapfir bulonlarini (100–400 kg) o'stiring.
-
-
Quyma burg'ulash va shakllantirish
-
Burg'ulash bochkasidan foydalanib, bulonni diametri 2–6 dyuym va uzunligi 50–200 mm bo'lgan silindrsimon quymalarga aylantiring.
-
-
Birinchi tavlash
-
Ichki stressni yumshatish uchun quymalarni nuqsonlar bor-yo'qligini tekshiring va birinchi yuqori haroratda tavlashni amalga oshiring.
-
-
Kristall yo'nalishi
-
Yo'naltirish asboblari yordamida sapfir quymasining aniq yo'nalishini (masalan, C-tekislik, A-tekislik, R-tekislik) aniqlang.
-
-
Ko'p simli arra kesish
-
Ko'p simli kesish uskunasidan foydalanib, quymani kerakli qalinlikka muvofiq yupqa plastinkalarga bo'ling.
-
-
Dastlabki tekshirish va ikkinchi darajali tavlash
-
Kesilgan plastinkalarni tekshiring (qalinligi, tekisligi, sirt nuqsonlari).
-
Agar kerak bo'lsa, kristall sifatini yanada yaxshilash uchun yana tavlang.
-
-
Paxlash, silliqlash va CMP abrazivlash
-
Ko'zgu darajasidagi sirtlarga erishish uchun maxsus uskunalar yordamida paxlash, sirtni silliqlash va kimyoviy mexanik abrazivlash (KMJ) ishlarini bajaring.
-
-
Tozalash
-
Zarrachalar va ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash uchun gofretlarni toza xona muhitida ultra toza suv va kimyoviy moddalar yordamida yaxshilab tozalang.
-
-
Optik va fizik tekshiruv
-
O'tkazuvchanlikni aniqlash va optik ma'lumotlarni yozib olish.
-
TTV (Qalinlikning umumiy o'zgarishi), kamon, burilish, yo'nalish aniqligi va sirt pürüzlülüğü kabi plastinka parametrlarini o'lchang.
-
-
Qoplama (ixtiyoriy)
-
Mijozning talablariga muvofiq qoplamalarni (masalan, AR qoplamalari, himoya qatlamlari) qo'llang.
-
Yakuniy tekshirish va qadoqlash
-
Toza xonada 100% sifat tekshiruvini o'tkazing.
-
Gofretlarni kasseta qutilariga 100-sinf toza sharoitida joylashtiring va jo'natishdan oldin ularni vakuum bilan yoping.
Safir gofretlarining qo'llanilishi
Safir plitalari o'zining ajoyib qattiqligi, ajoyib optik o'tkazuvchanligi, ajoyib issiqlik ko'rsatkichlari va elektr izolyatsiyasi bilan ko'plab sohalarda keng qo'llaniladi. Ularning qo'llanilishi nafaqat an'anaviy LED va optoelektronika sanoatini qamrab oladi, balki yarimo'tkazgichlar, maishiy elektronika va ilg'or aerokosmik va mudofaa sohalarida ham kengaymoqda.
1. Yarimo'tkazgichlar va optoelektronika
LED substratlari
Safir plastinkalari galliy nitridi (GaN) epitaksial o'sishi uchun asosiy substratlar bo'lib, ko'k LEDlarda, oq LEDlarda va Mini/Micro LED texnologiyalarida keng qo'llaniladi.
Lazer diodlari (LD)
GaN asosidagi lazer diodlari uchun substratlar sifatida sapfir plitalari yuqori quvvatli, uzoq umr ko'radigan lazer qurilmalarining rivojlanishini qo'llab-quvvatlaydi.
Fotodetektorlar
Ultrabinafsha va infraqizil fotodetektorlarda sapfir plitalari ko'pincha shaffof derazalar va izolyatsiyalovchi substratlar sifatida ishlatiladi.
2. Yarimo'tkazgichli qurilmalar
RFIClar (Radiochastotali integral mikrosxemalar)
Ajoyib elektr izolyatsiyasi tufayli sapfir plitalari yuqori chastotali va yuqori quvvatli mikroto'lqinli qurilmalar uchun ideal substratlardir.
Safir ustida kremniy (SoS) texnologiyasi
SoS texnologiyasini qo'llash orqali parazit sig'imini sezilarli darajada kamaytirish mumkin, bu esa kontaktlarning zanglashiga olib keladigan ish faoliyatini yaxshilaydi. Bu RF aloqasi va aerokosmik elektronikada keng qo'llaniladi.
3. Optik qo'llanmalar
Infraqizil optik oynalar
200 nm–5000 nm to'lqin uzunligi oralig'ida yuqori o'tkazuvchanlikka ega bo'lgan sapfir infraqizil detektorlar va infraqizil yo'naltirish tizimlarida keng qo'llaniladi.
Yuqori quvvatli lazerli derazalar
Safirning qattiqligi va issiqlikka chidamliligi uni yuqori quvvatli lazer tizimlarida himoya oynalari va linzalari uchun ajoyib materialga aylantiradi.
4. Iste'molchi elektronikasi
Kamera linzalari uchun qopqoqlar
Safirning yuqori qattiqligi smartfon va kamera linzalari uchun tirnalishga chidamlilikni ta'minlaydi.
Barmoq izi sensorlari
Safir plastinkalari barmoq izlarini aniqlashda aniqlik va ishonchlilikni oshiradigan bardoshli, shaffof qoplamalar bo'lib xizmat qilishi mumkin.
Aqlli soatlar va premium displeylar
Safir ekranlari tirnalishga chidamlilikni yuqori optik aniqlik bilan birlashtiradi, bu ularni yuqori darajadagi elektron mahsulotlarda mashhur qiladi.
5. Aerokosmik va mudofaa
Raketa infraqizil gumbazlari
Safir derazalar yuqori harorat va yuqori tezlik sharoitida shaffof va barqaror bo'lib qoladi.
Aerokosmik optik tizimlar
Ular yuqori kuchli optik oynalar va ekstremal muhitlar uchun mo'ljallangan kuzatuv uskunalarida qo'llaniladi.
Boshqa keng tarqalgan sapfir mahsulotlari
Optik mahsulotlar
-
Safir optik oynalari
-
Lazerlarda, spektrometrlarda, infraqizil tasvirlash tizimlarida va sensor oynalarida qo'llaniladi.
-
Uzatish diapazoni:UV 150 nm dan o'rta infraqizil 5,5 mkm gacha.
-
-
Safir linzalari
-
Yuqori quvvatli lazer tizimlarida va aerokosmik optikada qo'llaniladi.
-
Qavariq, botiq yoki silindrsimon linzalar sifatida ishlab chiqarilishi mumkin.
-
-
Safir prizmalari
-
Optik o'lchash asboblarida va aniq tasvirlash tizimlarida qo'llaniladi.
-
Aerokosmik va mudofaa
-
Safir gumbazlari
-
Raketalar, uchuvchisiz uchish apparatlari va samolyotlardagi infraqizil qidiruvchilarni himoya qiling.
-
-
Safir himoya qoplamalari
-
Yuqori tezlikdagi havo oqimi ta'siriga va qattiq muhitlarga bardosh bering.
-
Mahsulotni qadoqlash
XINKEHUI haqida
Shanxay Xinkehui New Material Co., Ltd. ulardan biri hisoblanadiXitoyning eng yirik optik va yarimo'tkazgich yetkazib beruvchisi, 2002-yilda tashkil etilgan. XKH akademik tadqiqotchilarga plastinkalar va boshqa yarimo'tkazgichlarga oid ilmiy materiallar va xizmatlarni taqdim etish uchun ishlab chiqilgan. Yarimo'tkazgichli materiallar bizning asosiy faoliyatimiz bo'lib, jamoamiz texnik jihatdan asoslangan bo'lib, tashkil etilganidan beri XKH ilg'or elektron materiallarni tadqiq qilish va ishlab chiqishda, ayniqsa turli xil plastinkalar/substrat sohasida chuqur ishtirok etib kelmoqda.
Hamkorlar
Shanxay Zhimingxin o'zining ajoyib yarimo'tkazgich materiallari texnologiyasi bilan dunyoning yetakchi kompaniyalari va taniqli akademik muassasalarining ishonchli hamkoriga aylandi. Innovatsiya va mukammallikdagi qat'iyati bilan Zhimingxin Schott Glass, Corning va Seoul Semiconductor kabi sanoat yetakchilari bilan chuqur hamkorlik aloqalarini o'rnatdi. Ushbu hamkorlik nafaqat mahsulotlarimizning texnik darajasini oshirdi, balki elektr elektronikasi, optoelektron qurilmalar va yarimo'tkazgich qurilmalari sohalarida texnologik rivojlanishni ham rag'batlantirdi.
Taniqli kompaniyalar bilan hamkorlikdan tashqari, Zhimingxin Garvard universiteti, London universitet kolleji (UCL) va Xyuston universiteti kabi dunyoning yetakchi universitetlari bilan uzoq muddatli ilmiy hamkorlik aloqalarini o'rnatgan. Ushbu hamkorliklar orqali Zhimingxin nafaqat akademik doiradagi ilmiy tadqiqot loyihalarini texnik qo'llab-quvvatlash bilan birga, yangi materiallar va texnologik innovatsiyalarni ishlab chiqishda ham ishtirok etadi va bizning yarimo'tkazgichlar sanoatida doimo yetakchi o'rinlarda turishimizni ta'minlaydi.
Ushbu dunyoga mashhur kompaniyalar va akademik muassasalar bilan yaqin hamkorlik orqali Shanxay Zhimingxin texnologik innovatsiyalar va rivojlanishni ilgari surishda davom etmoqda, jahon bozorining o'sib borayotgan ehtiyojlarini qondirish uchun jahon darajasidagi mahsulotlar va yechimlarni taqdim etmoqda.
