Safir SiC Si uchun Ion Beam Polishing mashinasi
Batafsil diagramma


Ion nurli polishing mashinasining mahsulotga umumiy ko'rinishi

Ion nurlarini shakllantirish va parlatish mashinasi ionlarni sochish printsipiga asoslanadi. Yuqori vakuumli kameraning ichida ion manbai plazma hosil qiladi, bu esa yuqori energiyali ion nuriga tezlashadi. Ushbu nur optik komponentning sirtini bombardimon qilib, ultra aniq sirtni tuzatish va pardozlash uchun atom shkalasidagi materialni olib tashlaydi.
Kontaktsiz jarayon sifatida ion nurlarini parlatish mexanik kuchlanishni yo'q qiladi va er osti shikastlanishining oldini oladi, bu uni astronomiya, aerokosmik, yarimo'tkazgichlar va ilg'or tadqiqot dasturlarida qo'llaniladigan yuqori aniqlikdagi optikalarni ishlab chiqarish uchun ideal qiladi.
Ion nurli polishing mashinasining ishlash printsipi
Ion hosil bo'lishi
Inert gaz (masalan, argon) vakuum kamerasiga kiritiladi va plazma hosil qilish uchun elektr razryad orqali ionlanadi.
Tezlashtirish va nur hosil qilish
Ionlar bir necha yuz yoki ming elektron voltga (eV) tezlashadi va barqaror, fokuslangan nur nuqtasiga aylanadi.
Materialni olib tashlash
Ion nurlari kimyoviy reaktsiyalarni boshlamasdan, atomlarni sirtdan fizik ravishda sochadi.
Xatolarni aniqlash va yo'lni rejalashtirish
Yuzaki shakldagi og'ishlar interferometriya bilan o'lchanadi. O'chirish funktsiyalari turish vaqtlarini aniqlash va optimallashtirilgan asboblar yo'llarini yaratish uchun qo'llaniladi.
Yopiq tsiklni tuzatish
Qayta ishlash va o'lchashning takroriy tsikllari RMS/PV aniqlik maqsadlariga erishilgunga qadar davom etadi.
Ion nurli polishing mashinasining asosiy xususiyatlari
Universal sirt mosligi– Yassi, sharsimon, asferik va erkin shakldagi sirtlarni qayta ishlaydi
Ultra-barqaror olib tashlash darajasi– Sub-nanometr figurasini tuzatishni yoqadi
Zararsiz ishlov berish- Er osti nuqsonlari yoki strukturaviy o'zgarishlar yo'q
Barqaror ishlash– Har xil qattiqlikdagi materiallarda teng darajada yaxshi ishlaydi
Past/O'rta chastotali tuzatish- O'rta/yuqori chastotali artefaktlarni yaratmasdan xatolarni yo'q qiladi
Kam texnik xizmat ko'rsatish talabi– Minimal uzilishlar bilan uzoq uzluksiz ishlash
Ion nurli polishing mashinasining asosiy texnik xususiyatlari
Element | Spetsifikatsiya |
Qayta ishlash usuli | Yuqori vakuumli muhitda ionning sochilishi |
Qayta ishlash turi | Kontaktsiz sirtni figuralash va parlatish |
Ish qismining maksimal hajmi | PH 4000 mm |
Harakat o'qlari | 3 eksa / 5 o'q |
Olib tashlash barqarorligi | ≥95% |
Yuzaki aniqlik | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (odatiy RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
Chastotani tuzatish qobiliyati | O'rta/yuqori chastotali xatolarni kiritmasdan past-o'rta chastotali xatolarni olib tashlaydi |
Uzluksiz ishlash | Vakuumli parvarishlashsiz 3-5 hafta |
Xizmat narxi | Past |
Ion nurli polishing mashinasining ishlov berish imkoniyatlari
Qo'llab-quvvatlanadigan sirt turlari
Oddiy: tekis, sharsimon, prizma
Kompleks: nosimmetrik/assimetrik asfera, o'qdan tashqari asfera, silindrsimon
Maxsus: ultra yupqa optika, lamel optika, yarim sharsimon optika, konformal optika, fazali plitalar, erkin shaklli sirtlar
Qo'llab-quvvatlanadigan materiallar
Optik shisha: kvarts, mikrokristal, K9 va boshqalar.
Infraqizil materiallar: kremniy, germaniy va boshqalar.
Metall: alyuminiy, zanglamaydigan po'lat, titanium qotishmasi va boshqalar.
Kristallar: YAG, bitta kristalli kremniy karbid va boshqalar.
Qattiq / mo'rt materiallar: kremniy karbid va boshqalar.
Yuzaki Sifat / Aniqlik
PV < 10 nm
RMS ≤ 0,5 nm


Ion nurlarini parlatish mashinasining misollarini qayta ishlash
1-holat – standart tekis oyna
Ish qismi: D630 mm kvarts tekis
Natija: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
2-holat – rentgen nurlarini aks ettiruvchi oyna
Ish qismi: 150 × 30 mm silikon tekis
Natija: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Nishab 0,13 mkrad
3-holat – O‘qdan tashqari oyna
Ish qismi: D326 mm o'qdan tashqari tuproqli oyna
Natija: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
Kvarts ko'zoynaklari haqida tez-tez so'raladigan savollar
Tez-tez so'raladigan savollar - Ion nurli polishing mashinasi
1-savol: Ion nurlarini parlatish nima?
A1:Ion nurlari bilan parlatish - bu ish qismi yuzasidan materialni olib tashlash uchun ionlarning yo'naltirilgan nurlari (masalan, argon ionlari) ishlatadigan kontaktsiz jarayon. Ionlar tezlashadi va sirt tomon yo'naltiriladi, bu atom darajasidagi materiallarni olib tashlashga olib keladi va natijada ultra silliq qoplama paydo bo'ladi. Bu jarayon mexanik kuchlanish va er osti shikastlanishini bartaraf qiladi, bu esa uni aniq optik komponentlar uchun ideal qiladi.
2-savol: Ion nurli polishing mashinasi qanday sirtlarni qayta ishlay oladi?
A2:TheIon nurli polishing mashinasikabi oddiy optik komponentlarni o'z ichiga olgan turli sirtlarni qayta ishlash mumkinyassilar, sharlar va prizmalar, shuningdek, murakkab geometriyalar kabiasferalar, o'qdan tashqari asferalar, vaerkin shakldagi yuzalar. Bu, ayniqsa, optik shisha, infraqizil optika, metallar va qattiq/mo‘rt materiallar kabi materiallarda samarali.
3-savol: Ion nurli polishing mashinasi qanday materiallar bilan ishlashi mumkin?
A3:TheIon nurli polishing mashinasikeng turdagi materiallarni parlatishi mumkin, jumladan:
-
Optik oyna: Kvars, mikrokristal, K9 va boshqalar.
-
Infraqizil materiallar: Kremniy, germaniy va boshqalar.
-
Metalllar: Alyuminiy, zanglamaydigan po'lat, titanium qotishmasi va boshqalar.
-
Kristalli materiallar: YAG, bir kristalli kremniy karbid va boshqalar.
-
Boshqa qattiq/mo‘rt materiallar: Silikon karbid va boshqalar.
Biz haqimizda
XKH yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va armiyaga xizmat qiladi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Kvars va yarimo'tkazgichli kristall gofretlarni taklif etamiz. Malakali tajriba va ilg'or asbob-uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlash bo'yicha etakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishni maqsad qilganmiz.
