LNOI gofreti (izolyatorda lityum niobat) yuqori elektro-optik sensorli telekommunikatsiya
Batafsil diagramma
Umumiy koʻrinish
Gofret qutisi ichida nosimmetrik oluklar mavjud bo'lib, ularning o'lchamlari gofretning ikki tomonini qo'llab-quvvatlash uchun qat'iy bir xildir. Kristal quti odatda harorat, aşınma va statik elektr ta'siriga chidamli shaffof plastik PP materialidan tayyorlanadi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda metall jarayon segmentlarini ajratish uchun qo'shimchalarning turli xil ranglari qo'llaniladi. Yarimo'tkazgichlarning kichik kalit o'lchamlari, zich naqshlar va ishlab chiqarishda juda qattiq zarracha o'lchami talablari tufayli gofret qutisi turli ishlab chiqarish mashinalarining mikro muhit qutisi reaktsiya bo'shlig'iga ulanish uchun toza muhit kafolatlanishi kerak.
Ishlab chiqarish metodologiyasi
LNOI gofretlarini ishlab chiqarish bir necha aniq bosqichlardan iborat:
1-qadam: geliy ioni implantatsiyasiGeliy ionlari LN kristaliga ion implantatori yordamida kiritiladi. Ushbu ionlar ma'lum bir chuqurlikda joylashib, zaiflashgan tekislikni hosil qiladi, bu esa oxir-oqibat plyonkaning ajralishini osonlashtiradi.
2-qadam: Asosiy substratni shakllantirishAlohida kremniy yoki LN gofreti oksidlanadi yoki PECVD yoki termal oksidlanish yordamida SiO2 bilan qatlamlanadi. Optimal bog'lash uchun uning yuqori yuzasi tekislangan.
3-qadam: LNni substratga yopishtirishIon-implantatsiya qilingan LN kristalli ag'dariladi va to'g'ridan-to'g'ri gofret bog'lash yordamida asosiy gofretga biriktiriladi. Tadqiqot sharoitida benzosiklobuten (BCB) kamroq qattiq sharoitlarda bog'lanishni soddalashtirish uchun yopishtiruvchi sifatida ishlatilishi mumkin.
4-qadam: Termal ishlov berish va filmni ajratishYuvish implantatsiya qilingan chuqurlikda pufak hosil bo'lishini faollashtiradi, bu esa yupqa plyonkani (yuqori LN qatlami) massadan ajratish imkonini beradi. Eksfoliatsiyani yakunlash uchun mexanik kuch qo'llaniladi.
5-qadam: yuzani parlatishKimyoviy mexanik jilo (CMP) yuqori LN yuzasini tekislash uchun qo'llaniladi, optik sifat va qurilmaning rentabelligini oshiradi.
Texnik parametrlar
| Material | Optik Baho LiNbO3 vafes (Oq or Qora) | |
| Kyuri Temp | 1142 ± 0,7 ℃ | |
| Kesish Burchak | X/Y/Z va boshqalar | |
| Diametri / o'lchami | 2”/3”/4” ±0,03 mm | |
| Tol(±) | <0,20 mm ±0,005 mm | |
| Qalinligi | 0,18 ~ 0,5 mm yoki undan ko'p | |
| Asosiy Yassi | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3 mkm | |
| Kamon | -30 | |
| Buzilish | <40 mikron | |
| Orientatsiya Yassi | Hammasi mavjud | |
| Yuzaki Turi | Bir tomonlama sayqallangan (SSP)/ikki tomonlama jilolangan (DSP) | |
| Jilolangan tomoni Ra | <0,5 nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Chet Mezonlar | R=0,2 mm C-turi or Bullnoz | |
| Sifat | Bepul of yoriq (pufakchalar va qo'shimchalar) | |
| Optik doping | Mg/Fe/Zn/MgO va hokazo uchun optik daraja LN gofretlar boshiga so'ralgan | |
| Gofret Yuzaki Mezonlar | Sinishi indeksi | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm toʻlqin uzunligi/prizma ulash usuli. |
| Kontaminatsiya, | Yo'q | |
| Zarrachalar c>0,3m m | <=30 | |
| Scratch, chipping | Yo'q | |
| Kamchilik | Chetda yoriqlar, tirnalishlar, arra izlari, dog'lar yo'q | |
| Qadoqlash | Miqdor/gofret qutisi | Bir qutiga 25 dona |
Foydalanish holatlari
O'zining ko'p qirraliligi va ishlashi tufayli LNOI ko'plab sohalarda qo'llaniladi:
Fotonika:Yilni modulyatorlar, multipleksorlar va fotonik sxemalar.
RF/Akustika:Akusto-optik modulyatorlar, RF filtrlari.
Kvant hisoblash:Chiziqli bo'lmagan chastotali aralashtirgichlar va foton-juft generatorlari.
Mudofaa va aerokosmik:Kam yo'qotishli optik girolar, chastotani o'zgartiruvchi qurilmalar.
Tibbiy asboblar:Optik biosensorlar va yuqori chastotali signal zondlari.
TSS
Savol: Nima uchun optik tizimlarda SOI dan LNOI afzalroq?
A:LNOI yuqori elektro-optik koeffitsientlarga va kengroq shaffoflik diapazoniga ega bo'lib, fotonik davrlarda yuqori ishlash imkonini beradi.
Savol: Bo'lingandan keyin CMP majburiymi?
A:Ha. Ochiq LN yuzasi ionli kesishdan keyin qo'pol bo'lib, optik darajadagi texnik xususiyatlarga mos kelishi uchun sayqallanishi kerak.
Savol: Gofretning maksimal hajmi qancha?
A:Tijorat LNOI gofretlari asosan 3 "va 4" bo'lsa-da, ba'zi etkazib beruvchilar 6 dyuymli variantlarni ishlab chiqmoqda.
Savol: LN qatlamini bo'linishdan keyin qayta ishlatish mumkinmi?
A:Asosiy kristall qayta sayqallanishi va bir necha marta qayta ishlatilishi mumkin, garchi bir necha tsikllardan keyin sifati yomonlashishi mumkin.
Savol: LNOI gofretlari CMOS bilan ishlashga mos keladimi?
A:Ha, ular an'anaviy yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlariga moslashish uchun mo'ljallangan, ayniqsa kremniy substratlardan foydalanilganda.
