LNOI Wafer (Lityum Niobate on Insulator) Telekommunikatsiya Sensorli Yuqori Elektro-Optik
Batafsil diagramma
Umumiy ma'lumot
Plitalar qutisi ichida simmetrik oluklar mavjud bo'lib, ularning o'lchamlari plitaning ikki tomonini qo'llab-quvvatlash uchun qat'iy bir xil. Kristall quti odatda harorat, aşınma va statik elektr energiyasiga chidamli shaffof plastik PP materialidan tayyorlanadi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda metall jarayon segmentlarini ajratish uchun turli xil qo'shimchalar ranglaridan foydalaniladi. Yarimo'tkazgichlarning kichik kalit o'lchamlari, zich naqshlar va ishlab chiqarishda juda qattiq zarrachalar o'lchami talablari tufayli, plita qutisi turli ishlab chiqarish mashinalarining mikro muhit qutisi reaksiya bo'shlig'iga ulanish uchun toza muhit kafolatlanishi kerak.
Ishlab chiqarish metodologiyasi
LNOI plitalarini ishlab chiqarish bir necha aniq bosqichlardan iborat:
1-qadam: Geliy ioni implantatsiyasiGeliy ionlari ion implantator yordamida katta hajmli LN kristaliga kiritiladi. Bu ionlar ma'lum bir chuqurlikda joylashib, oxir-oqibat plyonkaning ajralishini osonlashtiradigan zaiflashgan tekislikni hosil qiladi.
2-qadam: Asosiy substratni shakllantirishAlohida kremniy yoki LN plastinkasi PECVD yoki termal oksidlanish yordamida SiO2 bilan oksidlanadi yoki qatlamlanadi. Uning ustki yuzasi optimal bog'lanish uchun tekislanadi.
3-qadam: LN ni substratga bog'lashIon implantatsiyasi qilingan LN kristalli ag'dariladi va to'g'ridan-to'g'ri plastinka bog'lanishi yordamida asosiy plastinkaga biriktiriladi. Tadqiqot sharoitida benzosiklobuten (BCB) kamroq qattiq sharoitlarda bog'lanishni soddalashtirish uchun yopishtiruvchi sifatida ishlatilishi mumkin.
4-bosqich: Termik ishlov berish va plyonka ajratishYumshatish implantatsiya qilingan chuqurlikda pufakchalar hosil bo'lishini faollashtiradi, bu esa yupqa plyonkani (yuqori LN qatlami) asosiy qismdan ajratish imkonini beradi. Eksfoliatsiyani yakunlash uchun mexanik kuch qo'llaniladi.
5-qadam: Sirtni sayqallashKimyoviy mexanik abrazivlash (KMJ) yuqori LN yuzasini tekislash, optik sifat va qurilma samaradorligini oshirish uchun qo'llaniladi.
Texnik parametrlar
| Materiallar | Optik Baho LiNbO3 vaflilar (oq) or Qora) | |
| Kyuri Harorat | 1142±0.7℃ | |
| Kesish Burchak | X/Y/Z va boshqalar | |
| Diametri/o'lchami | 2”/3”/4” ±0.03 mm | |
| Tol(±) | <0,20 mm ±0,005 mm | |
| Qalinligi | 0,18 ～0,5 mm yoki undan ko'p | |
| Asosiy Yassi | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Kamon | -30 | |
| Deformatsiya | <40μm | |
| Yo'nalish Yassi | Barcha mavjud | |
| Sirt Turi | Bir tomonlama jilolangan (SSP) / Ikki tomonlama jilolangan (DSP) | |
| Jilolangan yon tomon Ra | <0,5 nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Chegara Mezonlar | R=0,2 mm C-turi or Buqa burun | |
| Sifat | Bepul of yoriq (pufakchalar) va qo'shimchalar) | |
| Optik lehimlangan | Mg/Fe/Zn/MgO va boshqalar uchun optik baho LN gofretlar uchun so'ralgan | |
| Gofret Sirt Mezonlar | Sinish indeksi | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm to'lqin uzunligi/prizma ulagich usuli. |
| Ifloslanish, | Hech biri | |
| Zarrachalar c>0.3μ m | <=30 | |
| Chizish, yorilish | Hech biri | |
| Kamchilik | Chetlarida yoriqlar, tirnalishlar, arra izlari, dog'lar yo'q | |
| Qadoqlash | Miqdori/Vaferli quti | Har bir qutida 25 dona |
Foydalanish holatlari
Ko'p qirrali va ishlashi tufayli LNOI ko'plab sohalarda qo'llaniladi:
Fotonika:Yilni modulyatorlar, multipleksorlar va fotonik sxemalar.
RF/Akustika:Akusto-optik modulyatorlar, RF filtrlari.
Kvant hisoblash:Chiziqli bo'lmagan chastotali mikserlar va foton juftlik generatorlari.
Mudofaa va aerokosmik:Kam yo'qotishli optik giroslar, chastotani o'zgartiruvchi qurilmalar.
Tibbiy asboblar:Optik biosensorlar va yuqori chastotali signal zondlari.
TSS
Savol: Nima uchun optik tizimlarda SOI dan ko'ra LNOI afzalroq?
A:LNOI yuqori elektro-optik koeffitsientlar va kengroq shaffoflik diapazoniga ega, bu esa fotonik sxemalarda yuqori ishlashni ta'minlaydi.
Savol: Bo'lingandan keyin CMP majburiymi?
A:Ha. Ochiq LN yuzasi ionlarni kesishdan keyin qo'pol bo'ladi va optik darajadagi texnik xususiyatlarga javob berish uchun sayqallanishi kerak.
Savol: Gofretning maksimal hajmi qancha?
A:Tijorat LNOI plastinkalari asosan 3 va 4 dyuymli bo'lsa-da, ba'zi yetkazib beruvchilar 6 dyuymli variantlarni ishlab chiqmoqdalar.
Savol: LN qatlamini bo'laklashdan keyin qayta ishlatish mumkinmi?
A:Asosiy kristallni bir necha marta qayta sayqallash va qayta ishlatish mumkin, garchi bir necha marta sikldan keyin sifati yomonlashishi mumkin.
Savol: LNOI plastinalari CMOS ishlov berish bilan mos keladimi?
A:Ha, ular an'anaviy yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlari bilan moslashish uchun mo'ljallangan, ayniqsa kremniy substratlari ishlatilganda.
