Monokristalli kremniy o'sish pechkasi monokristalli kremniy ingot o'sish tizimi uskunalari harorati 2100 ℃ gacha

Monokristalli kremniy o'stirish pechi monokristalli kremniy ingot o'sish tizimi uskunalari harorati 2100 ℃ gacha Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Monokristalli kremniy o'sish pechkasi yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoatda keng qo'llaniladigan yuqori tozalikdagi monokristalli kremniy tayoqchalarini ishlab chiqarish uchun asosiy uskunadir. Monokristalli kremniy integral mikrosxemalar, quyosh batareyalari va boshqa elektron qurilmalarni ishlab chiqarishda asosiy materialdir. Monokristalli kremniy o'stirish pechlari polisilikon xom ashyosini Czochralski (CZ) Czochralski yoki suzuvchi zona usuli (FZ) kabi usullardan foydalangan holda yuqori sifatli monokristalli kremniy rodlariga aylantiradi.

Asosiy funktsiya: polisilikon xomashyosini eritilgan holatga qizdirish, o'ziga xos kristall yo'nalishi va o'lchamiga ega bo'lgan monokristalli kremniy tayoqchalarini hosil qilish uchun urug'lik kristallari orqali kristall o'sishini boshqarish va nazorat qilish.

Asosiy komponentlar:
Isitish tizimi: Odatda grafit isitgichlar yoki yuqori chastotali indüksiyon isitish yordamida yuqori haroratli muhitni ta'minlaydi.

Crucible: Odatda kvarts yoki grafitdan tayyorlangan eritilgan kremniyni saqlash uchun ishlatiladi.

Yuk ko'tarish tizimi: kristallning bir xil o'sishini ta'minlash uchun urug'lik kristalining aylanish va ko'tarilish tezligini boshqaring.

Atmosferani boshqarish tizimi: eritma argon kabi inert gazlar bilan ifloslanishdan himoyalangan.

Sovutish tizimi: termal stressni kamaytirish uchun kristall sovutish tezligini boshqaring.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Monokristalli kremniy o'sish pechining asosiy xususiyatlari

(1) Yuqori aniqlikdagi nazorat
Haroratni nazorat qilish: Eritmaning barqarorligini ta'minlash uchun isitish haroratini aniq nazorat qiling (kremniyning erish nuqtasi taxminan 1414 ° C).
Ko'tarish tezligini nazorat qilish: urug'lik kristalining ko'tarilish tezligi kristall diametri va sifatiga ta'sir qiluvchi nozik vosita (odatda 0,5-2 mm / min) tomonidan boshqariladi.
Aylanish tezligini nazorat qilish: Bir xil kristall o'sishini ta'minlash uchun urug' va tigelning aylanish tezligini sozlang.

(2) yuqori sifatli kristall o'sishi
Kam nuqson zichligi: Jarayon parametrlarini optimallashtirish orqali kam nuqsonli va yuqori tozalikka ega bo'lgan monokristalli silikon novda o'stirilishi mumkin.
Katta kristallar: diametri 12 dyuym (300 mm) gacha bo'lgan monokristalli silikon novdalar yarimo'tkazgich sanoati ehtiyojlarini qondirish uchun o'stirilishi mumkin.

(3) Samarali ishlab chiqarish
Avtomatlashtirilgan operatsiya: Zamonaviy monokristalli kremniy o'sish pechlari qo'lda aralashuvni kamaytirish va ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun avtomatlashtirilgan boshqaruv tizimlari bilan jihozlangan.
Energiya tejamkor dizayn: energiya sarfini kamaytirish uchun samarali isitish va sovutish tizimlaridan foydalaning.

(4) Ko'p qirrali
Turli jarayonlar uchun javob beradi: qo'llab-quvvatlash CZ usuli, FZ usuli va boshqa kristall o'sish texnologiyasi.
Turli materiallar bilan mos keladi: monokristalli kremniydan tashqari, u boshqa yarim o'tkazgich materiallarini (germaniy, galyum arsenid kabi) etishtirish uchun ham ishlatilishi mumkin.

Monokristalli kremniy o'sish pechining asosiy qo'llanilishi

(1) yarimo'tkazgich sanoati
Integratsiyalashgan sxemalar ishlab chiqarish: monokristalli kremniy protsessor, xotira va boshqa integral mikrosxemalar ishlab chiqarish uchun asosiy materialdir.
Quvvat qurilmasi: MOSFET, IGBT va boshqa quvvat yarimo'tkazgich qurilmalarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.

(2) Fotovoltaik sanoat
Quyosh xujayralari: monokristalli kremniy yuqori samarali quyosh xujayralarining asosiy materiali bo'lib, fotovoltaik energiya ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi.
Fotovoltaik modullar: Fotoelektrik konversiya samaradorligini oshirish uchun monokristalli silikon fotovoltaik modullarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.

(3) Ilmiy tadqiqotlar
Materiallarni tadqiq qilish: monokristalli kremniyning fizik va kimyoviy xossalarini o'rganish va yangi yarim o'tkazgich materiallarini ishlab chiqish uchun foydalaniladi.
Jarayonni optimallashtirish: kristall o'sish jarayoni innovatsiyalari va optimallashtirishni qo'llab-quvvatlash.

(4) Boshqa elektron qurilmalar
Sensorlar: bosim sensori va harorat sensori kabi yuqori aniqlikdagi sensorlarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.
Optoelektronik qurilmalar: lazer va fotodetektorlarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.

XKH monokristalli kremniy o'sish pechlari uskunalari va xizmatlarini taqdim etadi

XKH monokristalli kremniy o'sish pechlari uskunalarini ishlab chiqish va ishlab chiqarishga qaratilgan bo'lib, quyidagi xizmatlarni taqdim etadi:

Moslashtirilgan uskunalar: XKH turli xil kristalli o'sish jarayonlarini qo'llab-quvvatlash uchun mijozlar talablariga muvofiq turli xil spetsifikatsiyalar va konfiguratsiyalardagi monokristalli kremniy o'sish pechlarini taqdim etadi.

Texnik qo'llab-quvvatlash: XKH mijozlarga uskunani o'rnatish va jarayonni optimallashtirishdan kristall o'sishi bo'yicha texnik ko'rsatmalarga qadar to'liq jarayonni qo'llab-quvvatlaydi.

O'quv xizmatlari: XKH uskunalarning samarali ishlashini ta'minlash uchun mijozlarga operatsion tayyorgarlik va texnik tayyorgarlikni o'tkazadi.

Sotishdan keyingi xizmat ko'rsatish: XKH mijozlarni ishlab chiqarishning uzluksizligini ta'minlash uchun sotishdan keyingi xizmat ko'rsatish va uskunalarga tezkor javob beradi.

Yangilash xizmatlari: XKH ishlab chiqarish samaradorligi va kristal sifatini yaxshilash uchun mijozlar talablariga muvofiq uskunani yangilash va o'zgartirish xizmatlarini taqdim etadi.

Monokristalli kremniy o'sish pechlari yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoatning asosiy uskunasi bo'lib, yuqori aniqlikdagi nazorat, yuqori sifatli kristall o'sishi va samarali ishlab chiqarishga ega. U integral mikrosxemalar, quyosh batareyalari, ilmiy tadqiqotlar va elektron qurilmalar sohalarida keng qo'llaniladi. XKH ilg'or monokristalli kremniy o'sish pechlari uskunalari va mijozlarga yuqori sifatli monokristalli kremniy tayog'i ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlash, tegishli sohalarni rivojlantirishga yordam berish uchun to'liq xizmatlarni taqdim etadi.