Silikon karbid substrati yarim izolyatsiyalash turiga va o'tkazuvchan turga bo'linadi. Hozirgi vaqtda yarim izolyatsiyalangan silikon karbid substrat mahsulotlarining asosiy spetsifikatsiyasi 4 dyuymni tashkil qiladi. Supero'tkazuvchilar silikon karbid bozorida hozirgi asosiy substrat mahsulotining spetsifikatsiyasi 6 dyuymni tashkil qiladi.
RF sohasidagi quyi oqim ilovalari tufayli yarim izolyatsiyalangan SiC substratlari va epitaksial materiallar AQSh Savdo vazirligi tomonidan eksport nazorati ostida. Substrat sifatida yarim izolyatsiyalangan SiC GaN heteroepitaksi uchun afzal qilingan materialdir va mikroto'lqinli maydonda muhim qo'llash istiqbollariga ega. Safir 14% va Si 16,9% kristalli mos kelmasligi bilan solishtirganda, SiC va GaN materiallarining kristalli mos kelmasligi atigi 3,4% ni tashkil qiladi. SiC ning ultra yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi bilan birlashganda, u tomonidan tayyorlangan yuqori energiya samaradorligi LED va GaN yuqori chastotali va yuqori quvvatli mikroto'lqinli qurilmalar radar, yuqori quvvatli mikroto'lqinli uskunalar va 5G aloqa tizimlarida katta afzalliklarga ega.
Yarim izolyatsiyalangan SiC substratini tadqiq qilish va ishlab chiqish har doim SiC yagona kristalli substratni tadqiq qilish va rivojlantirish markazi bo'lib kelgan. Yarim izolyatsiyalangan SiC materiallarini etishtirishda ikkita asosiy qiyinchilik mavjud:
1) Grafit tigel, issiqlik izolyatsiyasi adsorbsiyasi va kukundagi doping bilan kiritilgan N donor aralashmalarini kamaytirish;
2) Kristalning sifati va elektr xossalarini ta'minlagan holda, qoldiq sayoz darajadagi aralashmalarni elektr faolligi bilan qoplash uchun chuqur darajadagi markaz kiritiladi.
Hozirgi vaqtda yarim izolyatsiyalangan SiC ishlab chiqarish quvvatiga ega ishlab chiqaruvchilar asosan SICC Co， Semisic Crystal Co， Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Supero'tkazuvchilar SiC kristaliga azotni o'sayotgan atmosferaga kiritish orqali erishiladi. Supero'tkazuvchilar kremniy karbid substrati asosan quvvat qurilmalarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi, yuqori kuchlanish, yuqori oqim, yuqori harorat, yuqori chastotali, past yo'qotish va boshqa noyob afzalliklarga ega bo'lgan kremniy karbidli quvvat qurilmalari, kremniy asosidagi quvvat qurilmalaridan mavjud foydalanishni sezilarli darajada yaxshilaydi. Asosiy dastur sohalari - elektr transport vositalari / zaryadlovchi qoziqlar, fotovoltaik yangi energiya, temir yo'l tranziti, aqlli tarmoq va boshqalar. Supero'tkazuvchilar mahsulotlarning quyi oqimi asosan elektr transport vositalari, fotovoltaik va boshqa sohalarda quvvat qurilmalari bo'lganligi sababli, dastur istiqbollari kengroq va ishlab chiqaruvchilar ko'proq.
Silikon karbid kristalli turi: Eng yaxshi 4H kristalli kremniy karbidning tipik tuzilishini ikki toifaga bo'lish mumkin, biri 3C-SiC yoki b-SiC deb nomlanuvchi sfalerit strukturasining kubik kremniy karbid kristalli turi, ikkinchisi esa olti burchakli yoki olmos strukturasi bo'lib, katta davrning tipik tuzilishi, S-C6, H, 15R-SiC va boshqalar, birgalikda a-SiC deb nomlanadi. 3C-SiC qurilmalarni ishlab chiqarishda yuqori qarshilikning afzalliklariga ega. Biroq, Si va SiC panjara konstantalari va termal kengayish koeffitsientlari o'rtasidagi yuqori nomuvofiqlik 3C-SiC epitaksial qatlamida ko'p sonli nuqsonlarga olib kelishi mumkin. 4H-SiC MOSFETlarni ishlab chiqarishda katta salohiyatga ega, chunki uning kristall o'sishi va epitaksial qatlam o'sishi jarayonlari yanada zo'r va elektron harakatchanligi nuqtai nazaridan 4H-SiC 3C-SiC va 6H-SiC dan yuqori bo'lib, 4H-SiC MOSFETlar uchun yaxshiroq mikroto'lqinli xususiyatlarni ta'minlaydi.
Agar huquqbuzarlik bo'lsa, kontaktni o'chiring
Xabar vaqti: 2024 yil 16 iyul