SPC (Statistik jarayonlarni boshqarish) gofret ishlab chiqarish jarayonida hal qiluvchi vosita bo'lib, ishlab chiqarishning turli bosqichlarining barqarorligini kuzatish, nazorat qilish va yaxshilash uchun ishlatiladi.
1. SPC tizimining umumiy ko'rinishi
SPC - bu ishlab chiqarish jarayonlarini kuzatish va nazorat qilish uchun statistik usullardan foydalanadigan usul. Uning asosiy vazifasi real vaqtda ma’lumotlarni to‘plash va tahlil qilish orqali ishlab chiqarish jarayonidagi anomaliyalarni aniqlash, muhandislarga o‘z vaqtida tuzatishlar va qarorlar qabul qilishda yordam berishdan iborat. SPC ning maqsadi ishlab chiqarish jarayonidagi o'zgarishlarni kamaytirish, mahsulot sifati barqarorligini va texnik talablarga javob berishini ta'minlashdir.
SPC qirqish jarayonida quyidagilar uchun ishlatiladi:
Jihozning muhim parametrlarini kuzatib boring (masalan, o'chirish tezligi, RF quvvati, kamera bosimi, harorat va boshqalar).
Mahsulot sifatining asosiy ko'rsatkichlarini tahlil qiling (masalan, chiziq kengligi, silliqlash chuqurligi, qirralarning pürüzlülüğü va boshqalar).
Ushbu parametrlarni kuzatish orqali muhandislar uskunaning ishlashining pasayishi yoki ishlab chiqarish jarayonidagi og'ishlarni ko'rsatadigan tendentsiyalarni aniqlay oladilar va shu bilan hurda tezligini kamaytiradi.
2. SPC tizimining asosiy komponentlari
SPC tizimi bir nechta asosiy modullardan iborat:
Ma'lumotlarni yig'ish moduli: Uskunalar va jarayon oqimlaridan (masalan, FDC, EES tizimlari orqali) real vaqt rejimida ma'lumotlarni to'playdi va muhim parametrlar va ishlab chiqarish natijalarini qayd qiladi.
Boshqaruv diagrammasi moduli: jarayonning barqarorligini tasavvur qilish va jarayonning nazorat ostida ekanligini aniqlashga yordam berish uchun statistik nazorat diagrammalaridan (masalan, X-Bar diagrammasi, R diagrammasi, Cp/Cpk diagrammasi) foydalanadi.
Signal tizimi: Kritik parametrlar nazorat chegaralaridan oshib ketganda yoki trend o'zgarishlarini ko'rsatganda signallarni ishga tushiradi va muhandislarni chora ko'rishga undaydi.
Tahlil va hisobot moduli: SPC jadvallari asosida anomaliyalarning asosiy sababini tahlil qiladi va jarayon va uskunalar uchun ishlash hisobotlarini muntazam ravishda ishlab chiqaradi.
3. SPCda nazorat jadvallarini batafsil tushuntirish
Nazorat jadvallari SPCda eng ko'p qo'llaniladigan vositalardan biri bo'lib, "normal o'zgaruvchanlik" (tabiiy jarayonning o'zgarishi natijasida kelib chiqadigan) va "g'ayritabiiy o'zgarishlar" (uskunalar nosozliklari yoki jarayonning og'ishlari tufayli) o'rtasidagi farqni aniqlashga yordam beradi. Umumiy nazorat sxemalariga quyidagilar kiradi:
X-Bar va R diagrammalari: jarayon barqaror yoki yo'qligini kuzatish uchun ishlab chiqarish partiyalaridagi o'rtacha va diapazonni kuzatish uchun ishlatiladi.
Cp va Cpk indekslari: jarayon qobiliyatini o'lchash uchun ishlatiladi, ya'ni jarayon chiqishi doimiy ravishda spetsifikatsiya talablariga javob bera oladimi yoki yo'qmi. Cp potentsial qobiliyatni o'lchaydi, Cpk esa jarayon markazining spetsifikatsiya chegaralaridan chetga chiqishini hisobga oladi.
Masalan, qirqish jarayonida siz silliqlash tezligi va sirt pürüzlülüğü kabi parametrlarni kuzatishingiz mumkin. Agar ma'lum bir uskunaning ishlamay qolishi tezligi nazorat chegarasidan oshib ketgan bo'lsa, bu tabiiy o'zgarish yoki uskunaning noto'g'ri ishlashining belgisi ekanligini aniqlash uchun nazorat jadvallaridan foydalanishingiz mumkin.
4. Etching uskunalarida SPC qo'llanilishi
Oshlama jarayonida uskuna parametrlarini nazorat qilish juda muhim va SPC jarayonning barqarorligini quyidagi usullar bilan yaxshilashga yordam beradi:
Uskunaning holatini monitoring qilish: FDC kabi tizimlar qirqish uskunasining asosiy parametrlari (masalan, RF quvvati, gaz oqimi) bo'yicha real vaqt rejimida ma'lumotlarni to'playdi va bu ma'lumotlarni SPC boshqaruv jadvallari bilan birlashtiradi va uskunaning mumkin bo'lgan muammolarini aniqlash uchun. Misol uchun, agar siz nazorat diagrammasidagi RF quvvati asta-sekin belgilangan qiymatdan chetga chiqayotganini ko'rsangiz, mahsulot sifatiga ta'sir qilmaslik uchun sozlash yoki texnik xizmat ko'rsatish uchun erta choralar ko'rishingiz mumkin.
Mahsulot sifati monitoringi: Shuningdek, ularning barqarorligini kuzatish uchun SPC tizimiga mahsulot sifatining asosiy parametrlarini (masalan, chuqurlik chuqurligi, chiziq kengligi) kiritishingiz mumkin. Agar ba'zi muhim mahsulot ko'rsatkichlari maqsadli qiymatlardan asta-sekin chetga chiqsa, SPC tizimi jarayonni sozlash zarurligini ko'rsatuvchi signal beradi.
Profilaktik ta'mirlash (PM): SPC uskunalar uchun profilaktik xizmat ko'rsatish tsiklini optimallashtirishga yordam beradi. Uskunaning ishlashi va jarayon natijalari bo'yicha uzoq muddatli ma'lumotlarni tahlil qilish orqali siz uskunaga texnik xizmat ko'rsatish uchun optimal vaqtni aniqlashingiz mumkin. Masalan, RF quvvati va ESC ishlash muddatini kuzatish orqali siz qachon tozalash yoki komponentlarni almashtirish kerakligini aniqlashingiz mumkin, uskunaning ishdan chiqishi va ishlab chiqarishning to'xtab qolish vaqtini kamaytiradi.
5. SPC tizimi uchun kundalik foydalanish bo'yicha maslahatlar
Kundalik operatsiyalarda SPC tizimidan foydalanganda quyidagi bosqichlarni bajarish mumkin:
Asosiy nazorat parametrlarini (KPI) aniqlang: ishlab chiqarish jarayonidagi eng muhim parametrlarni aniqlang va ularni SPC monitoringiga kiriting. Ushbu parametrlar mahsulot sifati va uskunaning ishlashi bilan chambarchas bog'liq bo'lishi kerak.
Boshqarish chegaralari va signal chegaralarini o'rnating: Tarixiy ma'lumotlar va jarayon talablariga asoslanib, har bir parametr uchun oqilona nazorat chegaralari va signal chegaralarini o'rnating. Nazorat chegaralari odatda ±3s (standart og'ishlar) da o'rnatiladi, signal chegaralari esa jarayon va uskunaning o'ziga xos shartlariga asoslanadi.
Doimiy monitoring va tahlil: Ma'lumotlar tendentsiyalari va o'zgarishlarini tahlil qilish uchun SPC nazorat jadvallarini muntazam ravishda ko'rib chiqing. Agar ba'zi parametrlar nazorat chegaralaridan oshib ketgan bo'lsa, uskuna parametrlarini sozlash yoki uskunaga texnik xizmat ko'rsatish kabi zudlik bilan choralar ko'rish kerak.
Anormallik bilan ishlash va ildiz sabablarini tahlil qilish: Anormallik yuzaga kelganda, SPC tizimi hodisa haqida batafsil ma'lumotni qayd qiladi. Ushbu ma'lumotlarga asoslanib, anormallikning asosiy sababini bartaraf etishingiz va tahlil qilishingiz kerak. Ko'pincha FDC tizimlari, EES tizimlari va boshqalar ma'lumotlarini birlashtirib, muammo uskunaning ishdan chiqishi, jarayonning og'ishi yoki tashqi muhit omillari bilan bog'liqligini tahlil qilish mumkin.
Doimiy takomillashtirish: SPC tizimi tomonidan qayd etilgan tarixiy ma'lumotlardan foydalanib, jarayonning zaif tomonlarini aniqlang va takomillashtirish rejalarini taklif qiling. Masalan, qirqish jarayonida ESC ishlash muddati va tozalash usullarining uskunaga texnik xizmat ko'rsatish davrlariga ta'sirini tahlil qiling va uskunaning ishlash parametrlarini doimiy ravishda optimallashtiring.
6. Amaliy qo'llash ishi
Amaliy misol sifatida, siz E-MAX qirqish uskunasi uchun mas'ul ekanligingiz va kamera katodining muddatidan oldin eskirishi D0 (BARC nuqsoni) qiymatlarining oshishiga olib keladigan deylik. SPC tizimi orqali RF quvvatini va o'tish tezligini kuzatish orqali siz ushbu parametrlarning o'rnatilgan qiymatlaridan asta-sekin chetga chiqish tendentsiyasini sezasiz. SPC signali ishga tushirilgandan so'ng, siz FDC tizimidagi ma'lumotlarni birlashtirasiz va muammo kamera ichidagi beqaror haroratni nazorat qilishdan kelib chiqqanligini aniqlaysiz. Keyin siz yangi tozalash usullari va parvarishlash strategiyalarini amalga oshirasiz, natijada D0 qiymatini 4,3 dan 2,4 gacha pasaytirasiz va shu bilan mahsulot sifatini yaxshilaysiz.
7.XINKEHUI-da siz olishingiz mumkin.
XINKEHUI-da siz kremniy gofreti yoki SiC gofreti bo'ladimi, mukammal gofretga erishishingiz mumkin. Biz aniqlik va ishlashga e'tibor qaratgan holda turli sohalar uchun yuqori sifatli gofretlarni yetkazib berishga ixtisoslashganmiz.
(kremniy gofret)
Bizning kremniy gofretlarimiz yuqori poklik va bir xillik bilan yaratilgan bo'lib, sizning yarimo'tkazgich ehtiyojlaringiz uchun ajoyib elektr xususiyatlarini ta'minlaydi.
Ko'proq talab qilinadigan ilovalar uchun bizning SiC gofretlarimiz ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi va yuqori quvvat samaradorligini taklif etadi, bu esa quvvat elektroniği va yuqori haroratli muhitlar uchun idealdir.
(SiC gofreti)
XINKEHUI bilan siz eng yuqori sanoat standartlariga javob beradigan gofretlarni kafolatlaydigan ilg'or texnologiya va ishonchli yordamga ega bo'lasiz. Gofret mukammalligingiz uchun bizni tanlang!
Xabar vaqti: 2024 yil 16 oktyabr