Yarimo'tkazgichlar texnologiyasining uzluksiz rivojlanishi bilan, yarimo'tkazgichlar sanoatida va hatto fotovoltaik sanoatida ham, plastinka substrati yoki epitaksial varaqning sirt sifatiga qo'yiladigan talablar juda qat'iy. Xo'sh, plastinkalar uchun sifat talablari qanday?sapfir gofretMisol tariqasida, plastinkalarning sirt sifatini baholash uchun qanday ko'rsatkichlardan foydalanish mumkin?
Gofretlarni baholash ko'rsatkichlari qanday?
Uchta ko'rsatkich
Safir plastinkalari uchun uning baholash ko'rsatkichlari umumiy qalinlik og'ishi (TTV), egilish (Bow) va Warp (Warp) hisoblanadi. Bu uchta parametr birgalikda kremniy plastinkasining tekisligi va qalinlik bir xilligini aks ettiradi va plastinkaning to'lqinlanish darajasini o'lchashi mumkin. Gofrirovka plastinka yuzasining sifatini baholash uchun tekislik bilan birlashtirilishi mumkin.
TTV, BOW, Warp nima?
TTV (Umumiy qalinlik o'zgarishi)
TTV - bu plastinkaning maksimal va minimal qalinligi o'rtasidagi farq. Bu parametr plastinka qalinligining bir xilligini o'lchash uchun ishlatiladigan muhim indeksdir. Yarimo'tkazgich jarayonida plastinkaning qalinligi butun sirt bo'ylab juda bir xil bo'lishi kerak. O'lchovlar odatda plastinkaning beshta joyida amalga oshiriladi va farq hisoblanadi. Oxir-oqibat, bu qiymat plastinka sifatini baholash uchun muhim asosdir.
Kamon
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda kamon plastinkaning egilishi deganda, siqilmagan plastinkaning o'rta nuqtasi va mos yozuvlar tekisligi orasidagi masofani bo'shatadi. Bu so'z, ehtimol, kamonning egilgan shakli kabi, ob'ekt egilgandagi shaklini tavsiflashdan kelib chiqqan. Kamon qiymati kremniy plastinkaning markazi va chekkasi orasidagi og'ishni o'lchash orqali aniqlanadi. Bu qiymat odatda mikrometrlarda (µm) ifodalanadi.
Deformatsiya
Warp - bu plastinalarning global xususiyati bo'lib, u erkin qisilmagan plastinaning o'rtasi va mos yozuvlar tekisligi orasidagi maksimal va minimal masofa o'rtasidagi farqni o'lchaydi. Kremniy plastinaning yuzasidan tekislikgacha bo'lgan masofani ifodalaydi.
TTV, Bow, Warp o'rtasidagi farq nima?
TTV qalinlikdagi o'zgarishlarga e'tibor qaratadi va plastinkaning egilishi yoki buzilishi bilan qiziqmaydi.
Kamon umumiy egilishga qaratilgan bo'lib, asosan markaziy nuqta va chekkaning egilishi hisobga olinadi.
Warp yanada keng qamrovli bo'lib, butun gofret yuzasini egish va burish kabi ishlarni o'z ichiga oladi.
Bu uchta parametr kremniy plastinkasining shakli va geometrik xususiyatlari bilan bog'liq bo'lsa-da, ular turlicha o'lchanadi va tavsiflanadi va ularning yarimo'tkazgich jarayoni va plastinkani qayta ishlashga ta'siri ham har xil.
Uch parametr qanchalik kichik bo'lsa, shuncha yaxshi va parametr qanchalik katta bo'lsa, yarimo'tkazgich jarayoniga salbiy ta'sir shunchalik katta bo'ladi. Shuning uchun, yarimo'tkazgich amaliyotchisi sifatida biz butun jarayon jarayoni uchun gofret profili parametrlarining ahamiyatini tushunishimiz, yarimo'tkazgich jarayonini amalga oshirishimiz va tafsilotlarga e'tibor berishimiz kerak.
(tsenzura)
Nashr vaqti: 2024-yil 24-iyun