Yarimo'tkazgich texnologiyasining uzluksiz rivojlanishi bilan yarimo'tkazgich sanoatida va hatto fotovoltaik sanoatda gofret substratining yoki epitaksial qatlamning sirt sifatiga qo'yiladigan talablar ham juda qattiq.Xo'sh, gofretlar uchun sifat talablari qanday?Safir gofretlarini misol qilib oladigan bo'lsak, gofretlarning sirt sifatini qanday ko'rsatkichlar bilan baholash mumkin?
Gofretlarni baholash ko'rsatkichlari qanday?
Uch ko'rsatkich
Safir gofretlari uchun uning baholash ko'rsatkichlari umumiy qalinligi og'ishi (TTV), egilish (Kamon) va Warp (Warp).Ushbu uchta parametr birgalikda kremniy gofretning tekisligi va qalinligi bir xilligini aks ettiradi va gofretning to'lqinlanish darajasini o'lchashi mumkin.Gofrirovka gofret yuzasining sifatini baholash uchun tekislik bilan birlashtirilishi mumkin.
TTV, BOW, Warp nima?
TTV (qalinligining umumiy o'zgarishi)
TTV - gofretning maksimal va minimal qalinligi o'rtasidagi farq.Ushbu parametr gofret qalinligi bir xilligini o'lchash uchun ishlatiladigan muhim ko'rsatkichdir.Yarimo'tkazgichli jarayonda gofretning qalinligi butun sirt bo'ylab juda bir xil bo'lishi kerak.O'lchovlar odatda gofretning beshta joyida amalga oshiriladi va farq hisoblab chiqiladi.Oxir-oqibat, bu qiymat gofret sifatini baholash uchun muhim asosdir.
Kamon
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishdagi kamon gofretning egilishiga ishora qiladi, bu qisqichsiz gofretning o'rta nuqtasi va mos yozuvlar tekisligi orasidagi masofani bo'shatadi.Bu so'z, ehtimol, kamonning egri shakli kabi bukilgan narsaning shakli tasviridan kelib chiqqan.Bow qiymati kremniy gofretning markazi va qirrasi o'rtasidagi og'ishni o'lchash yo'li bilan aniqlanadi.Bu qiymat odatda mikrometrlarda (µm) ifodalanadi.
Buzilish
Warp - bu gofretlarning global mulki bo'lib, erkin yopilmagan gofretning o'rtasi va mos yozuvlar tekisligi orasidagi maksimal va minimal masofa o'rtasidagi farqni o'lchaydi.Kremniy gofreti yuzasidan tekislikgacha bo'lgan masofani ifodalaydi.
TTV, Bow, Warp o'rtasidagi farq nima?
TTV qalinligi o'zgarishiga e'tibor qaratadi va gofretning egilishi yoki buzilishi bilan bog'liq emas.
Bow, asosan, markaziy nuqta va chetning egilishini hisobga olgan holda, umumiy egilishga e'tibor beradi.
Warp yanada keng qamrovli, shu jumladan gofretning butun yuzasini egish va burish.
Ushbu uchta parametr kremniy gofretning shakli va geometrik xususiyatlari bilan bog'liq bo'lsa-da, ular boshqacha o'lchanadi va tavsiflanadi va ularning yarimo'tkazgich jarayoniga va gofretni qayta ishlashga ta'siri ham boshqacha.
Uchta parametr qanchalik kichik bo'lsa, shuncha yaxshi va parametr qanchalik katta bo'lsa, yarimo'tkazgich jarayoniga salbiy ta'sir ko'rsatadi.Shuning uchun, yarimo'tkazgich amaliyotchisi sifatida, biz butun jarayon jarayoni uchun gofret profili parametrlarining muhimligini tushunishimiz, yarimo'tkazgich jarayonini bajarishimiz, tafsilotlarga e'tibor berishimiz kerak.
(tsenzura)
Xabar vaqti: 24-iyun-2024