Waferlarda TTV, BOW, WARP va TIR nimani anglatadi?

Yarimo'tkazgichli kremniy plitalari yoki boshqa materiallardan tayyorlangan substratlarni tekshirishda biz ko'pincha TTV, BOW, WARP va ehtimol TIR, STIR, LTV kabi texnik ko'rsatkichlarga duch kelamiz. Bular qanday parametrlarni ifodalaydi?

TTV — Umumiy qalinlik o'zgarishi
BOW — Bow
WARP — Warp
TIR — Ko'rsatilgan umumiy ko'rsatkich
STIR — Saytda ko'rsatilgan umumiy o'qish
LTV — Mahalliy qalinlik o'zgarishi

1. Umumiy qalinlik o'zgarishi — TTV

Plastinka mahkamlangan va yaqin aloqada bo'lganda, uning mos yozuvlar tekisligiga nisbatan maksimal va minimal qalinligi o'rtasidagi farq. Odatda mikrometrlarda (μm) ifodalanadi, ko'pincha quyidagicha ifodalanadi: ≤15 μm.

2. Kamon — Kamon

Plastinka erkin (qisqichsiz) holatda bo'lganda, plastina yuzasining markaziy nuqtasidan mos yozuvlar tekisligiga minimal va maksimal masofa o'rtasidagi og'ish. Bunga ham botiq (manfiy yoy), ham qavariq (musbat yoy) holatlar kiradi. Odatda mikrometrlarda (μm) ifodalanadi, ko'pincha quyidagicha ifodalanadi: ≤40 μm.

3. Warp — WARP

Plastinka erkin (qisqichsiz) holatda bo'lganda, plastina yuzasidan mos yozuvlar tekisligiga (odatda plastinaning orqa yuzasi) minimal va maksimal masofa o'rtasidagi og'ish. Bunga ham botiq (manfiy burilish), ham qavariq (musbat burilish) holatlar kiradi. Odatda mikrometrlarda (μm) ifodalanadi, ko'pincha quyidagicha ifodalanadi: ≤30 μm.

4. Ko'rsatilgan umumiy ko'rsatkich — TIR

Plastinka qisilganda va yaqin aloqada bo'lganda, sifat maydonidagi yoki plastina yuzasidagi belgilangan mahalliy mintaqadagi barcha nuqtalarning kesishish nuqtalari yig'indisini minimallashtiradigan mos yozuvlar tekisligidan foydalanilganda, TIR plastina yuzasidan ushbu mos yozuvlar tekisligigacha bo'lgan maksimal va minimal masofalar orasidagi og'ishdir.

TTV, BOW, WARP va TIR kabi yarimo'tkazgich materiallari spetsifikatsiyalari bo'yicha chuqur tajribaga asoslangan XKH qat'iy sanoat standartlariga moslashtirilgan aniqlikdagi maxsus plastinkalarni qayta ishlash xizmatlarini taqdim etadi. Biz sapfir, kremniy karbid (SiC), kremniy plastinkalar, SOI va kvarts kabi yuqori samarali materiallarning keng assortimentini yetkazib beramiz va qo'llab-quvvatlaymiz, bu esa optoelektronika, quvvat qurilmalari va MEMS sohasidagi ilg'or qo'llanmalar uchun ajoyib tekislik, qalinlik mustahkamligi va sirt sifatini ta'minlaydi. Eng talabchan dizayn talablaringizga javob beradigan ishonchli material yechimlari va aniq ishlov berishni bizga ishoning.