Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasi

Qisqacha tavsif:

 

Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasi yarimo'tkazgichli materiallarni qayta ishlashda ilg'or quymalarni yupqalashtirish uchun keyingi avlod yechimini ifodalaydi. Mexanik silliqlash, olmos simli arralash yoki kimyoviy-mexanik tekislashga asoslangan an'anaviy gofretlash usullaridan farqli o'laroq, ushbu lazerga asoslangan platforma katta hajmli yarimo'tkazgichli quymalardan ultra yupqa qatlamlarni ajratish uchun kontaktsiz, buzilmaydigan alternativani taklif etadi.

Galliy nitridi (GaN), kremniy karbidi (SiC), sapfir va galliy arsenidi (GaAs) kabi mo'rt va yuqori qiymatli materiallar uchun optimallashtirilgan Semiconductor Laser Lift-Off Equipment plyonkalarni to'g'ridan-to'g'ri kristall quymasidan aniq kesish imkonini beradi. Ushbu inqilobiy texnologiya material chiqindilarini sezilarli darajada kamaytiradi, o'tkazuvchanlikni yaxshilaydi va substratning yaxlitligini oshiradi - bularning barchasi elektr elektronikasi, RF tizimlari, fotonika va mikrodispleylardagi keyingi avlod qurilmalari uchun juda muhimdir.


Xususiyatlari

Lazerli ko'tarish uskunalari mahsulotiga umumiy nuqtai nazar

Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasi yarimo'tkazgichli materiallarni qayta ishlashda ilg'or quymalarni yupqalashtirish uchun keyingi avlod yechimini ifodalaydi. Mexanik silliqlash, olmos simli arralash yoki kimyoviy-mexanik tekislashga asoslangan an'anaviy gofretlash usullaridan farqli o'laroq, ushbu lazerga asoslangan platforma katta hajmli yarimo'tkazgichli quymalardan ultra yupqa qatlamlarni ajratish uchun kontaktsiz, buzilmaydigan alternativani taklif etadi.

Galliy nitridi (GaN), kremniy karbidi (SiC), sapfir va galliy arsenidi (GaAs) kabi mo'rt va yuqori qiymatli materiallar uchun optimallashtirilgan Semiconductor Laser Lift-Off Equipment plyonkalarni to'g'ridan-to'g'ri kristall quymasidan aniq kesish imkonini beradi. Ushbu inqilobiy texnologiya material chiqindilarini sezilarli darajada kamaytiradi, o'tkazuvchanlikni yaxshilaydi va substratning yaxlitligini oshiradi - bularning barchasi elektr elektronikasi, RF tizimlari, fotonika va mikrodispleylardagi keyingi avlod qurilmalari uchun juda muhimdir.

Avtomatlashtirilgan boshqaruv, nurni shakllantirish va lazer-material o'zaro ta'sirini tahlil qilishga urg'u berilgan Semiconductor Laser Lift-Off Equipment yarimo'tkazgich ishlab chiqarish ish oqimlariga uzluksiz integratsiyalashish uchun mo'ljallangan bo'lib, shu bilan birga Ar-ge moslashuvchanligi va ommaviy ishlab chiqarishni kengaytirish imkoniyatini qo'llab-quvvatlaydi.

lazerli ko'tarish2_
lazer-ko'tarish-9

Lazerli ko'tarish uskunasining texnologiyasi va ishlash printsipi

lazer-ko'tarish-14

Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasi tomonidan bajariladigan jarayon donor quymasini bir tomondan yuqori energiyali ultrabinafsha lazer nuri yordamida nurlantirishdan boshlanadi. Bu nur ma'lum bir ichki chuqurlikka, odatda muhandislik interfeysi bo'ylab qattiq yo'naltirilgan bo'lib, bu yerda optik, termal yoki kimyoviy kontrast tufayli energiya yutish maksimal darajada oshiriladi.

 

Ushbu energiya yutilish qatlamida mahalliy isitish tezkor mikroportlashga, gazning kengayishiga yoki interfeys qatlamining (masalan, stressor plyonkasi yoki qurbonlik oksidi) parchalanishiga olib keladi. Bu aniq boshqariladigan buzilish o'nlab mikrometr qalinlikdagi yuqori kristalli qatlamning asosiy quymadan toza ravishda ajralib chiqishiga olib keladi.

 

Yarimo'tkazgichli lazerni ko'tarish uskunasi harakat bilan sinxronlashtirilgan skanerlash boshlari, dasturlashtiriladigan z o'qi boshqaruvi va real vaqt rejimida aks ettirishdan foydalanadi, bu har bir impuls energiyani aniq maqsad tekisligida yetkazib berishini ta'minlaydi. Uskuna shuningdek, ajratish silliqligini oshirish va qoldiq stressni minimallashtirish uchun portlash rejimi yoki ko'p impulsli imkoniyatlar bilan sozlanishi mumkin. Muhimi, lazer nuri hech qachon material bilan jismonan aloqa qilmagani uchun mikroyorilish, yorilish yoki sirt parchalanishi xavfi keskin kamayadi.

 

Bu lazer bilan yupqalash usulini, ayniqsa submikronli TTV (Umumiy qalinlik o'zgarishi) bilan ultra yassi, ultra yupqa plastinkalar talab qilinadigan ilovalarda o'yinni o'zgartiruvchi qiladi.

Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasining parametrlari

To'lqin uzunligi IR/SHG/THG/FHG
Puls kengligi Nanosekund, Pikosekund, Femtosekund
Optik tizim Ruxsat etilgan optik tizim yoki Galvano-optik tizim
XY bosqichi 500 mm × 500 mm
Qayta ishlash diapazoni 160 mm
Harakat tezligi Maksimal 1000 mm/soniya
Takrorlanish ±1 μm yoki undan kam
Mutlaq pozitsiya aniqligi: ±5 μm yoki undan kam
Gofret hajmi 2–6 dyuym yoki moslashtirilgan
Boshqaruv Windows 10, 11 va PLC
Quvvat manbai kuchlanishi AC 200 V ±20 V, bir fazali, 50/60 kHz
Tashqi o'lchamlar 2400 mm (E) × 1700 mm (Chuqurligi) × 2000 mm (B)
Og'irligi 1000 kg

 

Lazerli ko'tarish uskunalarining sanoat qo'llanmalari

Yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunasi bir nechta yarimo'tkazgich sohalarida materiallarni tayyorlash usulini tezda o'zgartirmoqda:

    • Lazerli ko'tarish uskunalarining vertikal GaN quvvat qurilmalari

Ommaviy quymalardan ultra yupqa GaN-on-GaN plyonkalarini ajratib olish vertikal o'tkazuvchanlik arxitekturasidan foydalanish va qimmat substratlardan qayta foydalanish imkonini beradi.

    • Schottky va MOSFET qurilmalari uchun SiC gofretini yupqalashtirish

Substrat tekisligini saqlab qolish bilan birga qurilma qatlamining qalinligini kamaytiradi — tez almashinadigan quvvat elektronikasi uchun ideal.

    • Safir asosidagi LED va lazerli ko'tarish uskunalarining displey materiallari

Yupqa, termal optimallashtirilgan mikro-LED ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlash uchun qurilma qatlamlarini sapfir boullaridan samarali ajratish imkonini beradi.

    • III-V Lazerli ko'tarish uskunalarining material muhandisligi

Murakkab optoelektron integratsiyasi uchun GaAs, InP va AlGaN qatlamlarini ajratishni osonlashtiradi.

    • Yupqa plastinkali IC va sensor ishlab chiqarish

Bosim sensorlari, akselerometrlar yoki fotodiodlar uchun yupqa funktsional qatlamlar ishlab chiqaradi, bu yerda hajm ishlashdagi to'siq hisoblanadi.

    • Moslashuvchan va shaffof elektronika

Moslashuvchan displeylar, kiyiladigan sxemalar va shaffof aqlli oynalar uchun mos keladigan ultra yupqa substratlarni tayyorlaydi.

Ushbu sohalarning har birida yarimo'tkazgichli lazerli ko'tarish uskunalari miniatyuralash, materiallarni qayta ishlatish va jarayonlarni soddalashtirishda muhim rol o'ynaydi.

lazer-ko'tarish-8

Lazerli ko'tarish uskunalari haqida tez-tez so'raladigan savollar (FAQ)

1-savol: Yarimo'tkazgichli lazerni ko'tarish uskunasidan foydalanib, minimal qalinlikka qanday erisha olaman?
A1:Odatda materialga qarab 10–30 mikron oralig'ida bo'ladi. Jarayon o'zgartirilgan sozlamalar bilan yupqaroq natijalarga erishishga qodir.

2-savol: Buni bitta quymadan bir nechta gofretlarni kesish uchun ishlatish mumkinmi?
A2:Ha. Ko'pgina mijozlar bitta quyma quymadan bir nechta yupqa qatlamlarni ketma-ket ajratib olish uchun lazerli ko'tarish texnikasidan foydalanadilar.

3-savol: Yuqori quvvatli lazer bilan ishlash uchun qanday xavfsizlik xususiyatlari mavjud?
A3:1-sinf korpuslari, blokirovka tizimlari, nurni himoya qilish va avtomatlashtirilgan o'chirishlar barchasi standart hisoblanadi.

4-savol: Ushbu tizim narxi jihatidan olmos simli arra bilan qanday taqqoslanadi?
A4:Dastlabki kapital xarajatlar yuqoriroq bo'lishi mumkin bo'lsa-da, lazer yordamida o'chirish sarflanadigan xarajatlarni, substratning shikastlanishini va qayta ishlashdan keyingi bosqichlarni sezilarli darajada kamaytiradi - bu uzoq muddatli istiqbolda umumiy mulkchilik xarajatlarini (TCO) kamaytiradi.

5-savol: Jarayon 6 dyuymli yoki 8 dyuymli quymalarga kengaytirilishi mumkinmi?
A5:Albatta. Platforma bir xil nur taqsimoti va katta formatli harakat bosqichlari bilan 12 dyuymgacha bo'lgan substratlarni qo'llab-quvvatlaydi.

Biz haqimizda

XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.

14--kremniy karbid bilan qoplangan yupqa_494816

  • Oldingi:
  • Keyingisi:

  • Xabaringizni shu yerga yozing va bizga yuboring