SiC keramik patnis Keramik so'rg'ich stakanlari aniq ishlov berish uchun moslashtirilgan
Material xususiyatlari:
1. Yuqori qattiqlik: kremniy karbidining Mohs qattiqligi 9,2-9,5 ni tashkil qiladi, bu olmosdan keyin ikkinchi o'rinda turadi va kuchli aşınma qarshiligiga ega.
2. Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: kremniy karbidining issiqlik o'tkazuvchanligi 120-200 Vt/m·K gacha, bu issiqlikni tezda yo'qotishi mumkin va yuqori haroratli muhit uchun mos keladi.
3. Past issiqlik kengayish koeffitsienti: kremniy karbidining issiqlik kengayish koeffitsienti past (4.0-4.5 × 10⁻⁶/K), yuqori haroratda ham o'lchovli barqarorlikni saqlab turishi mumkin.
4. Kimyoviy barqarorlik: kremniy karbid kislotasi va ishqoriy korroziyaga chidamliligi, kimyoviy korroziyali muhitda foydalanish uchun mos.
5. Yuqori mexanik kuch: kremniy karbidi yuqori egilish kuchiga va siqish kuchiga ega va katta mexanik stressga bardosh bera oladi.
Xususiyatlari:
1. Yarimo'tkazgichlar sanoatida juda yupqa plastinkalarni vakuumli so'rish stakaniga qo'yish kerak, vakuumli so'rish plastinkalarni mahkamlash uchun ishlatiladi va plastinkalarda mumlash, yupqalash, mumlash, tozalash va kesish jarayoni amalga oshiriladi.
2. Silikon karbid so'rg'ich yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, mumlash va mumlash vaqtini samarali ravishda qisqartirishi, ishlab chiqarish samaradorligini oshirishi mumkin.
3. Silikon karbidli vakuumli so'rg'ich shuningdek, yaxshi kislota va ishqoriy korroziyaga chidamliligiga ega.
4. An'anaviy korund tashuvchi plastinka bilan taqqoslaganda, yuklash va tushirish isitish va sovutish vaqtini qisqartiradi, ish samaradorligini oshiradi; Shu bilan birga, u yuqori va pastki plitalar orasidagi aşınmayı kamaytiradi, yaxshi tekislik aniqligini saqlaydi va xizmat muddatini taxminan 40% ga uzaytiradi.
5. Materiallar nisbati kichik, yengil. Operatorlar uchun palletlarni tashish osonroq, bu esa transport qiyinchiliklari tufayli to'qnashuv xavfini taxminan 20% ga kamaytiradi.
6. Hajmi: maksimal diametri 640 mm; Tekisligi: 3 um yoki undan kam
Qo'llash maydoni:
1. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish
● Gofretni qayta ishlash:
Fotolitografiya, o'yib ishlov berish, yupqa plyonkali cho'ktirish va boshqa jarayonlarda gofretni fiksatsiya qilish uchun yuqori aniqlik va jarayonning izchilligini ta'minlaydi. Uning yuqori harorat va korroziyaga chidamliligi qattiq yarimo'tkazgich ishlab chiqarish muhitlari uchun javob beradi.
●Epitaksial o'sish:
SiC yoki GaN epitaksial o'sishda, gofretlarni isitish va mahkamlash uchun tashuvchi sifatida, yuqori haroratlarda haroratning bir xilligini va kristall sifatini ta'minlaydi, qurilmaning ish faoliyatini yaxshilaydi.
2. Fotoelektrik uskunalar
● LED ishlab chiqarish:
Safir yoki SiC substratini mahkamlash uchun va MOCVD jarayonida isitish tashuvchisi sifatida epitaksial o'sishning bir xilligini ta'minlash, LED yorug'lik samaradorligi va sifatini yaxshilash uchun ishlatiladi.
●Lazer diodi:
Yuqori aniqlikdagi armatura sifatida, jarayon haroratining barqarorligini ta'minlash uchun substratni mahkamlash va isitish, lazer diodasining chiqish quvvati va ishonchliligini oshirish.
3. Nozik ishlov berish
● Optik komponentlarni qayta ishlash:
Qayta ishlash jarayonida yuqori aniqlik va past ifloslanishni ta'minlash uchun optik linzalar va filtrlar kabi aniq komponentlarni mahkamlash uchun ishlatiladi va yuqori intensivlikdagi ishlov berish uchun mos keladi.
● Keramika ishlov berish:
Yuqori barqarorlik moslamasi sifatida, yuqori harorat va korroziyali muhitda ishlov berish aniqligi va izchilligini ta'minlash uchun keramik materiallarni aniq ishlov berish uchun javob beradi.
4. Ilmiy tajribalar
●Yuqori haroratli tajriba:
Yuqori haroratli muhitda namunalarni fiksatsiya qilish moslamasi sifatida, haroratning bir xilligi va namunalarning barqarorligini ta'minlash uchun 1600°C dan yuqori ekstremal harorat tajribalarini qo'llab-quvvatlaydi.
● Vakuum sinovi:
Vakuum muhitida namunani mahkamlash va isitish tashuvchisi sifatida, tajribaning aniqligi va takrorlanishini ta'minlash uchun vakuum qoplamasi va issiqlik bilan ishlov berish uchun mos keladi.
Texnik xususiyatlar:
| (Moddiy mulk) | (Birlik) | (ssic) | |
| (SiC tarkibi) |
| (Vt)% | >99 |
| (O'rtacha don hajmi) |
| mikron | 4-10 |
| (Zichlik) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Ko'rinib turgan g'ovaklik) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Vickers qattiqligi) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(Bükülme kuchi) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Siqish kuchi) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik modul) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Sinishga chidamlilik) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Issiqlik o'tkazuvchanligi) | 20°C | Vt/(m*K) | 160 ta |
| (Qarshilik) | 20°C | Ohm.sm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700-yil |
Ko'p yillik texnik to'planish va sanoat tajribasi bilan XKH patronning o'lchami, isitish usuli va vakuum adsorbsiyasi dizayni kabi asosiy parametrlarni mijozning o'ziga xos ehtiyojlariga muvofiq moslashtira oladi, bu esa mahsulotning mijozning jarayoniga mukammal moslashishini ta'minlaydi. SiC kremniy karbidli keramik patronlar ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori harorat barqarorligi va kimyoviy barqarorligi tufayli plastinkalarni qayta ishlash, epitaksial o'sish va boshqa muhim jarayonlarda ajralmas komponentga aylandi. Ayniqsa, SiC va GaN kabi uchinchi avlod yarimo'tkazgich materiallarini ishlab chiqarishda kremniy karbidli keramik patronlarga talab o'sishda davom etmoqda. Kelajakda, 5G, elektr transport vositalari, sun'iy intellekt va boshqa texnologiyalarning jadal rivojlanishi bilan, yarimo'tkazgich sanoatida kremniy karbidli keramik patronlarni qo'llash istiqbollari kengroq bo'ladi.
Batafsil diagramma
