SiC seramika vilkalar qo'li / so'nggi effekti - yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun ilg'or nozik ishlov berish

SiC seramika vilkalar qo'li / end effekti - yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun ilg'or nozik ishlov berish.

Qisqacha tavsif:

SiC Ceramic vilkalar qo'li, ko'pincha Ceramic End Effector deb ataladi, yuqori texnologiyali sanoatda, ayniqsa yarimo'tkazgich va fotovoltaik ishlab chiqarishda gofret tashish, tekislash va joylashishni aniqlash uchun maxsus ishlab chiqilgan yuqori samarali nozik ishlov berish komponentidir. Yuqori toza kremniy karbidli keramika yordamida ishlab chiqarilgan ushbu komponent ajoyib mexanik kuch, ultra past termal kengayish va termal zarba va korroziyaga nisbatan yuqori qarshilikni birlashtiradi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Batafsil diagramma

Mahsulotga umumiy nuqtai

Alyuminiy, zanglamaydigan po'lat yoki hatto kvartsdan tayyorlangan an'anaviy so'nggi effektorlardan farqli o'laroq, SiC sopol so'nggi effektorlari vakuum kameralarida, toza xonalarda va qattiq ishlov berish muhitida tengsiz ishlashni taklif qiladi, bu ularni keyingi avlod gofret bilan ishlov berish robotlarining asosiy qismiga aylantiradi. Kontaminatsiyadan xoli ishlab chiqarishga talab ortib borishi va chiplarni ishlab chiqarishda qattiqroq bardoshlik tufayli keramik so'nggi effektorlardan foydalanish tezda sanoat standartiga aylanmoqda.

Ishlab chiqarish printsipi

ning ishlab chiqarilishiSiC Seramika End Efektorlariishlash va chidamlilikni ta'minlaydigan yuqori aniqlikdagi, yuqori tozalikdagi bir qator jarayonlarni o'z ichiga oladi. Odatda ikkita asosiy jarayon qo'llaniladi:

Reaktsiya bilan bog'langan kremniy karbid (RB-SiC)

Ushbu jarayonda kremniy karbid kukuni va biriktiruvchisidan tayyorlangan preform yuqori haroratda (~ 1500 ° C) eritilgan kremniy bilan infiltrlanadi, u zich, qattiq SiC-Si kompozitsiyasini hosil qilish uchun qoldiq uglerod bilan reaksiyaga kirishadi. Ushbu usul mukammal o'lchamli nazoratni taklif qiladi va keng ko'lamli ishlab chiqarish uchun iqtisodiy jihatdan samarali.

Bosimsiz sinterlangan kremniy karbid (SSiC)

SSiC o'ta nozik, yuqori toza SiC kukunini o'ta yuqori haroratda (> 2000 ° C) qo'shimchalar yoki bog'lash bosqichisiz sinterlash orqali tayyorlanadi. Bu deyarli 100% zichlikka va SiC materiallari orasida mavjud bo'lgan eng yuqori mexanik va termal xususiyatlarga ega mahsulotga olib keladi. Bu juda muhim gofret bilan ishlash ilovalari uchun ideal.

Keyingi ishlov berish

Nozik CNC ishlov berish: Yuqori tekislik va parallellikka erishadi.
Yuzaki pardozlash: Olmos bilan parlatish sirt pürüzlülüğünü <0,02 mikrongacha kamaytiradi.
Tekshirish: Optik interferometriya, CMM va buzilmaydigan sinov har bir qismni tekshirish uchun qo'llaniladi.

Bu qadamlar kafolat beradiSiC oxirgi effektoriizchil gofret joylashtirish aniqligi, mukammal tekislik va minimal zarracha hosil bo'lishini ta'minlaydi.

Asosiy xususiyatlar va afzalliklar

Xususiyat	Tavsif
Ultra yuqori qattiqlik	Vickers qattiqligi > 2500 HV, aşınmaya va parchalanishga chidamli.
Past termal kengayish	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, termal velosipedda o'lchov barqarorligini ta'minlaydi.
Kimyoviy inertlik	HF, HCl, plazma gazlari va boshqa korroziy moddalarga chidamli.
Ajoyib termal zarba qarshiligi	Vakuum va o'choq tizimlarida tez isitish/sovutish uchun javob beradi.
Yuqori qattiqlik va mustahkamlik	Uzun konsolli vilkalar qo'llarini burilmasdan qo'llab-quvvatlaydi.
Kam gaz chiqarish	Ultra yuqori vakuumli (UHV) muhitlar uchun ideal.
ISO 1-sinf toza xonaga tayyor	Zarrachalarsiz ishlash gofret yaxlitligini ta'minlaydi.

Ilovalar

SiC Ceramic Fork Arm / End Effektori o'ta aniqlik, tozalik va kimyoviy qarshilik talab qiladigan sohalarda keng qo'llaniladi. Asosiy dastur stsenariylariga quyidagilar kiradi:

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish

Gofretni joylashtirishda yuklash/tushirish (CVD, PVD), qirqish (RIE, DRIE) va tozalash tizimlari.
FOUPlar, kassetalar va texnologik asboblar o'rtasida robotli gofret tashish.
Termik ishlov berish yoki tavlanish jarayonida yuqori haroratli ishlov berish.

Fotovoltaik hujayra ishlab chiqarish

Avtomatlashtirilgan liniyalarda nozik kremniy gofretlarni yoki quyosh substratlarini nozik tashish.

Yassi panelli displey (FPD) sanoati

OLED/LCD ishlab chiqarish muhitida katta shisha panellar yoki substratlarni ko'chirish.

Murakkab yarimo'tkazgich / MEMS

GaN, SiC va MEMS ishlab chiqarish liniyalarida ifloslanishni nazorat qilish va joylashishni aniqlash aniqligi juda muhim bo'lgan joylarda qo'llaniladi.

Uning so'nggi effektor roli, ayniqsa, nozik operatsiyalar paytida nuqsonsiz, barqaror ishlov berishni ta'minlashda juda muhimdir.

Moslashtirish imkoniyatlari

Biz turli xil uskunalar va jarayon talablariga javob beradigan keng qamrovli sozlashni taklif qilamiz:

Vilkalar dizayni: Ikki burchakli, ko'p barmoqli yoki bo'lingan darajali tartiblar.
Gofret hajmining mosligi: 2" dan 12" gacha bo'lgan gofretlar.
O'rnatish interfeyslari: OEM robot qo'llari bilan mos keladi.
Qalinligi va sirt bardoshliklari: Mikron darajasidagi tekislik va chekka yaxlitlash mavjud.
Siljishga qarshi xususiyatlar: Gofretni ishonchli tutish uchun ixtiyoriy sirt teksturalari yoki qoplamalar.

Har birisopol oxirgi effektorMinimal asboblarni o'zgartirish bilan aniq o'rnatishni ta'minlash uchun mijozlar bilan birgalikda ishlab chiqilgan.

Tez-tez so'raladigan savollar (FAQ)

1-savol: Qanday qilib SiC oxirgi effektorni qo'llash uchun kvartsdan yaxshiroq?
A1:Kvars odatda tozaligi uchun ishlatilsa-da, u mexanik mustahkamlikka ega emas va yuk yoki harorat zarbasi ostida sindirishga moyil. SiC yuqori quvvat, aşınma qarshilik va termal barqarorlikni taklif etadi, bu esa ishlamay qolish va gofretning shikastlanish xavfini sezilarli darajada kamaytiradi.

2-savol: Ushbu keramik vilkalar qo'li barcha robotli gofret ishlov beruvchilariga mos keladimi?
A2:Ha, bizning sopol so'nggi effektorlarimiz gofret bilan ishlashning ko'pgina asosiy tizimlariga mos keladi va aniq muhandislik chizmalariga ega bo'lgan maxsus robot modellaringizga moslashtirilishi mumkin.

3-savol: U 300 mm gofretlarni buzilmasdan ishlay oladimi?
A3:Mutlaqo. SiC ning yuqori qat'iyligi hatto ingichka, uzun vilkalar qo'llariga ham harakat paytida 300 mm gofretlarni sarkma yoki egilishsiz ishonchli ushlab turishga imkon beradi.

4-savol: SiC seramika so'nggi effektorining odatdagi xizmat muddati qanday?
A4:To'g'ri foydalanish bilan SiC so'nggi effektori termal va mexanik stressga mukammal qarshilik tufayli an'anaviy kvarts yoki alyuminiy modellarga qaraganda 5-10 baravar ko'proq xizmat qilishi mumkin.

5-savol: Siz almashtirish yoki tezkor prototiplash xizmatlarini taklif qilasizmi?
A5:Ha, biz tezkor namuna ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlaymiz va mavjud uskunaning SAPR chizmalariga yoki teskari muhandislik qismlariga asoslangan almashtirish xizmatlarini taklif qilamiz.

Biz haqimizda

XKH yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va armiyaga xizmat qiladi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Kvars va yarimo'tkazgichli kristall gofretlarni taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy asbob-uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlash bo'yicha etakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishni maqsad qilganmiz.