Yuqori haroratga chidamli gofret tashuvchisi uchun SiC seramika patnis
Silikon karbidli keramik tovoqlar (SiC tray).
Silikon karbid (SiC) materialiga asoslangan yuqori samarali keramika komponenti, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va LED ishlab chiqarish kabi ilg'or sanoat ilovalari uchun mo'ljallangan. Uning asosiy vazifalari gofret tashuvchisi, ishlov berish jarayoni platformasi yoki yuqori haroratli jarayonni qo'llab-quvvatlash, jarayonning bir xilligi va mahsulot rentabelligini ta'minlash uchun ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori haroratga chidamlilik va kimyoviy barqarorlikdan foydalanishni o'z ichiga oladi.
Asosiy xususiyatlar
1. Issiqlik samaradorligi
- Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: 140-300 Vt / m · K, an'anaviy grafitdan (85 Vt / m · K) sezilarli darajada oshib ketadi, bu tez issiqlik tarqalishini ta'minlaydi va issiqlik stressini kamaytiradi.
- Past issiqlik kengayish koeffitsienti: 4,0 × 10⁻⁶/℃ (25-1000 ℃), yaqindan mos keladigan kremniy (2,6 × 10⁻⁶/℃), termal deformatsiya xavfini kamaytiradi.
2. Mexanik xususiyatlar
- Yuqori quvvat: egilish kuchi ≥320 MPa (20 ℃), siqilish va ta'sirga chidamli.
- Yuqori qattiqlik: Mohs qattiqligi 9,5, faqat olmosdan keyin ikkinchi o'rinda turadi, yuqori aşınma qarshiligini ta'minlaydi.
3. Kimyoviy barqarorlik
- Korroziyaga chidamlilik: Kuchli kislotalarga (masalan, HF, H₂SO₄) chidamli, ishlov berish muhiti uchun mos.
- Magnit bo'lmagan: o'ziga xos magnit sezuvchanlik <1×10⁻⁶ emu/g, nozik asboblar bilan shovqinni oldini oladi.
4. Ekstremal muhitga chidamlilik
- Yuqori haroratga chidamlilik: 1600-1900 ℃ gacha bo'lgan uzoq muddatli ish harorati; 2200 ℃ gacha qisqa muddatli qarshilik (kislorodsiz muhit).
- Termal zarba qarshiligi: haroratning keskin o'zgarishiga (DT > 1000 ℃) yorilishsiz bardosh beradi.
Ilovalar
Ilova maydoni | Maxsus stsenariylar | Texnik qiymati |
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish | Gofret bilan ishlov berish (ICP), yupqa qatlamli cho'kma (MOCVD), CMP polishing | Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi bir xil haroratli maydonlarni ta'minlaydi; past termal kengayish gofretning burilishini kamaytiradi. |
LED ishlab chiqarish | Epitaksial o'sish (masalan, GaN), gofretni kesish, qadoqlash | Ko'p turdagi nuqsonlarni bostiradi, LED yorug'lik samaradorligini va ishlash muddatini oshiradi. |
Fotovoltaik sanoat | Silikon gofretli sinterlash pechlari, PECVD uskunalarini qo'llab-quvvatlaydi | Yuqori harorat va termal zarba qarshiligi uskunaning ishlash muddatini uzaytiradi. |
Lazer va optika | Yuqori quvvatli lazerli sovutish substratlari, optik tizimni qo'llab-quvvatlaydi | Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi tez issiqlik tarqalishini ta'minlaydi, optik komponentlarni barqarorlashtiradi. |
Analitik asboblar | TGA/DSC namuna egalari | Kam issiqlik sig'imi va tez termal javob o'lchov aniqligini yaxshilaydi. |
Mahsulot afzalliklari
- Keng qamrovli ishlash: Issiqlik o'tkazuvchanligi, mustahkamligi va korroziyaga chidamliligi alumina va silikon nitridli keramikadan ancha yuqori bo'lib, ekstremal operatsion talablarga javob beradi.
- Engil dizayn: zichligi 3,1-3,2 g/sm³ (po'latning 40%), inertial yukni kamaytiradi va harakat aniqligini oshiradi.
- Uzoq umr va ishonchlilik: Xizmat muddati 1600 ℃ da 5 yildan oshadi, ishlamay qolish vaqtini qisqartiradi va operatsion xarajatlarni 30% ga kamaytiradi.
- Moslashtirish: Aniq ilovalar uchun tekislik xatosi <15 mkm bo'lgan murakkab geometriyalarni (masalan, g'ovakli so'rg'ichlar, ko'p qatlamli tovoqlar) qo'llab-quvvatlaydi.
Texnik spetsifikatsiyalar
Parametr toifasi | ko'rsatkich |
Jismoniy xususiyatlar | |
Zichlik | ≥3,10 g/sm³ |
Bukilish kuchi (20 ℃) | 320–410 MPa |
Issiqlik o'tkazuvchanligi (20 ℃) | 140–300 Vt/(m·K) |
Issiqlik kengayish koeffitsienti (25-1000 ℃) | 4,0×10⁻⁶/℃ |
Kimyoviy xossalari | |
Kislota qarshiligi (HF/H₂SO₄) | 24 soat suvga cho'mishdan keyin korroziya yo'q |
Ishlov berishning aniqligi | |
Yassilik | ≤15 mkm (300×300 mm) |
Sirt pürüzlülüğü (Ra) | ≤0,4 mkm |
XKH xizmatlari
XKH maxsus ishlab chiqish, nozik ishlov berish va qat'iy sifat nazoratini o'z ichiga olgan keng qamrovli sanoat echimlarini taqdim etadi. Maxsus ishlab chiqish uchun u yarimo'tkazgichlar va aerokosmik ilovalar uchun murakkab geometriyalarni optimallashtirish uchun 3D modellashtirish va simulyatsiya bilan birlashtirilgan yuqori toza (>99,999%) va g'ovakli (30-50% g'ovaklilik) materiallar echimlarini taklif qiladi. Nozik ishlov berish soddalashtirilgan jarayonga amal qiladi: changni qayta ishlash → izostatik/quruq presslash → 2200°C sinterlash → CNC/olmosni silliqlash → tekshirish, nanometr darajasida silliqlash va ± 0,01 mm o'lchamli bardoshlikni ta'minlash. Sifat nazorati to'liq jarayonni sinovdan o'tkazish (XRD tarkibi, SEM mikrotuzilmasi, 3 nuqtali bükme) va texnik yordamni (jarayonni optimallashtirish, 24/7 maslahat, 48 soatlik namunani yetkazib berish), ilg'or sanoat ehtiyojlari uchun ishonchli, yuqori samarali komponentlarni etkazib berishni o'z ichiga oladi.
Tez-tez so'raladigan savollar (FAQ)
1. Savol: Kremniy karbidli keramik tovoqlar qaysi sohalarda qo'llaniladi?
Javob: Haddan tashqari issiqlikka chidamliligi va kimyoviy barqarorligi tufayli yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda (gofret bilan ishlash), quyosh energiyasida (PECVD jarayonlari), tibbiy asbob-uskunalar (MRI komponentlari) va aerokosmik (yuqori haroratli qismlar) keng qo'llaniladi.
2. Savol: Kremniy karbid qanday qilib kvarts/shisha tovoqlardan ustun turadi?
Javob: Yuqori termal zarba qarshiligi (kvars 1100 °C ga nisbatan 1800 ° C gacha), magnit shovqin nolga teng va uzoqroq ishlash muddati (5+ yil va kvarts 6-12 oy).
3. Savol: Kremniy karbidli tovoqlar kislotali muhitga bardosh bera oladimi?
Javob: Ha. Yiliga <0,01 mm korroziyaga ega bo'lgan HF, H2SO4 va NaOH ga chidamli bo'lib, ularni kimyoviy qirqish va gofretni tozalash uchun ideal qiladi.
4. Savol: Silikon karbid tovoqlar avtomatlashtirishga mos keladimi?
Javob: Ha. Avtomatlashtirilgan fabrikalarda zarrachalar ifloslanishini oldini olish uchun sirt tekisligi <0,01 mm bo'lgan vakuumli pikap va robotli ishlov berish uchun mo'ljallangan.
5. Savol: Narxlar va an'anaviy materiallar qanday taqqoslanadi?
Javob: Oldindan yuqori narx (3-5x kvarts), lekin xizmat muddatini uzaytirish, ishlamay qolish vaqtini qisqartirish va yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi tufayli energiyani tejash tufayli TCO 30-50% past.