Uskunalar uchun CVD SiC qoplamali SiC keramik laganda plastinka grafit

Qisqacha tavsif:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd kompaniyasi PH380mm–PH600mm yarimo'tkazgichli qirqish diskini, gofret yotqizish diskini, kremniy karbid patnisini, SIC patnisini, kremniy karbid patnisini, ICP tepsisini, silliqlash patnisini, kremniy karbidining tozaligi > 99% xizmat muddatini ishlab chiqaradi. grafit asosidagidan to'rt baravar ko'p CVD tepsisi, deformatsiyasiz uzoq muddatli foydalanish, FH kislotasiga chidamli, konsentrlangan H2So4 korroziyasi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Silikon karbidli keramika nafaqat epitaksiya yoki MOCVD kabi yupqa plyonkali cho'kma bosqichida yoki gofretni qayta ishlashda qo'llanilmaydi, uning markazida MOCVD uchun gofret tashuvchi tovoqlar birinchi navbatda cho'kma muhitiga duchor bo'ladi va shuning uchun yuqori darajada chidamli. issiqlik va korroziya.SiC bilan qoplangan tashuvchilar ham yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va mukammal issiqlik taqsimlash xususiyatlariga ega.

Yuqori haroratli metall organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) ni qayta ishlash uchun sof kimyoviy bug'larni cho'ktirish kremniy karbid (CVD SiC) gofret tashuvchilar.

Sof CVD SiC gofret tashuvchilari ushbu jarayonda ishlatiladigan grafit bo'lgan va CVD SiC qatlami bilan qoplangan an'anaviy gofret tashuvchilardan sezilarli darajada ustundir. bu qoplangan grafit asosidagi tashuvchilar bugungi yuqori yorqinlikdagi ko'k va oq ledning GaN cho'kishi uchun zarur bo'lgan yuqori haroratlarga (1100 dan 1200 daraja Selsiygacha) bardosh bera olmaydi. Yuqori haroratlar qoplamada mayda teshiklar paydo bo'lishiga olib keladi, ular orqali kimyoviy moddalar ostidagi grafitni yemiradi. Keyin grafit zarralari parchalanib, GaN ni ifloslantiradi, bu esa qoplangan gofret tashuvchining almashtirilishiga olib keladi.

CVD SiC 99,999% yoki undan ortiq tozalikka ega va yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va termal zarba qarshiligiga ega. Shuning uchun u yuqori yorqinlikdagi LED ishlab chiqarishning yuqori haroratlari va qattiq muhitlariga bardosh bera oladi. Bu nazariy zichlikka erishadigan, minimal zarrachalarni ishlab chiqaradigan va juda yuqori korroziya va eroziyaga chidamliligini ko'rsatadigan qattiq monolitik materialdir. Material metall aralashmalarni kiritmasdan shaffoflik va o'tkazuvchanlikni o'zgartirishi mumkin. Gofret tashuvchilar odatda 17 dyuym diametrga ega va 40 ta 2-4 dyuymli gofretni ushlab turishi mumkin.