Silikon karbidli konsolli rels (SiC konsolli rels)

Qisqacha tavsif:

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Batafsil diagramma

Mahsulotga umumiy nuqtai nazar

Yuqori samarali reaksiya bilan bog'langan kremniy karbididan (RBSiC) ishlab chiqarilgan kremniy karbidli konsolli tirgak yarimo'tkazgich va fotovoltaik dasturlar uchun plastinkalarni yuklash va qayta ishlash tizimlarida qo'llaniladigan muhim komponent hisoblanadi.
An'anaviy kvarts yoki grafitli eshkaklar bilan taqqoslaganda, SiC konsolli eshkaklar yuqori mexanik mustahkamlik, yuqori qattiqlik, past issiqlik kengayishi va ajoyib korroziyaga chidamlilikni ta'minlaydi. Ular yuqori haroratlarda ajoyib strukturaviy barqarorlikni saqlab qoladi, katta plastinka o'lchamlari, uzoq xizmat muddati va juda past ifloslanishning qat'iy talablariga javob beradi.

Yarimo'tkazgich jarayonlarining kattaroq plastinka diametrlari, yuqori o'tkazuvchanlik va toza ishlov berish muhitlariga yo'naltirilgan uzluksiz rivojlanishi bilan SiC konsolli eshkaklari asta-sekin an'anaviy materiallarni almashtirib, diffuziya pechlari, LPCVD va tegishli yuqori haroratli uskunalar uchun afzal ko'rilgan tanlovga aylandi.

Mahsulot xususiyatlari

Ajoyib yuqori harorat barqarorligi
- 1000–1300℃ haroratda deformatsiyasiz ishonchli ishlaydi.
- Maksimal xizmat ko'rsatish harorati 1380 ℃ gacha.
Yuqori yuk ko'tarish qobiliyati
- Bükme kuchi 250–280 MPa gacha, bu kvarts eshkaklariga qaraganda ancha yuqori.
- Katta diametrli (300 mm va undan yuqori) plitalarni qayta ishlashga qodir.
Xizmat muddatini uzaytirish va kam texnik xizmat ko'rsatish
- Past issiqlik kengayish koeffitsienti (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD qoplama materiallari bilan yaxshi mos keladi.
- Stress keltirib chiqaradigan yoriqlar va po'stloqlanishni kamaytiradi, tozalash va texnik xizmat ko'rsatish davrlarini sezilarli darajada uzaytiradi.
Korroziyaga chidamlilik va poklik
- Kislotalar va ishqorlarga ajoyib qarshilik.
- Ochiq g'ovakliligi <0,1% bo'lgan zich mikrotuzilma, zarrachalar hosil bo'lishini va aralashmalarning chiqishini minimallashtiradi.
Avtomatlashtirishga mos dizayn
- Yuqori o'lchovli aniqlik bilan barqaror kesma geometriyasi.
- Robotlashtirilgan gofretlarni yuklash va tushirish tizimlari bilan uzluksiz integratsiyalashadi, bu esa to'liq avtomatlashtirilgan ishlab chiqarishni ta'minlaydi.

Fizikaviy va kimyoviy xususiyatlar

Mahsulot	Birlik	Ma'lumotlar
Maksimal xizmat ko'rsatish harorati	℃	1380-yil
Zichlik	g/sm³	3.04 – 3.08
Ochiq g'ovaklilik	%	<0.1
Bükme kuchi	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Elastiklik moduli	GPA	330 (20℃), 300 (1200℃)
Issiqlik o'tkazuvchanligi	Vt/m·K	45 (1200℃)
Issiqlik kengayish koeffitsienti	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Vickers qattiqligi	HV2	≥ 2100
Kislota/ishqoriy qarshilik	-	A'lo

Standart uzunliklar:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Maxsus o'lchamlar so'rov bo'yicha mavjud

Ilovalar

Yarimo'tkazgichlar sanoati
- LPCVD (Past bosimli kimyoviy bug' cho'kmasi)
- Diffuziya jarayonlari (fosfor, bor va boshqalar)
- Termal oksidlanish
Fotovoltaik sanoat
- Polisilikon va monokristalli gofretlarning diffuziyasi va qoplamasi
- Yuqori haroratli tavlash va passivatsiya
Boshqa sohalar
- Yuqori haroratli korroziy muhitlar
- Uzoq xizmat muddati va past ifloslanishni talab qiladigan nozik gofretni qayta ishlash tizimlari

Mijozlarga beriladigan imtiyozlar

Operatsion xarajatlarning kamayishi– Kvartsli eshkaklarga nisbatan uzoqroq xizmat muddati, ishlamay qolish vaqtini va almashtirish chastotasini minimallashtiradi.
Yuqori hosil– Juda past ifloslanish plita yuzasining tozaligini ta'minlaydi va nuqsonlar darajasini pasaytiradi.
Kelajakka dalolat beruvchi– Katta o'lchamdagi plastinkalar va keyingi avlod yarimo'tkazgich jarayonlari bilan mos keladi.
Yaxshilangan samaradorlik– Robot avtomatlashtirish tizimlari bilan to'liq mos keladi, yuqori hajmli ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlaydi.

Tez-tez so'raladigan savollar – Silikon karbidli konsolli patel

1-savol: Kremniy karbidli konsolli eshkak eshish moslamasi nima?
A: Bu reaksiya bilan bog'langan kremniy karbididan (RBSiC) tayyorlangan gofretni qo'llab-quvvatlash va ishlov berish komponenti bo'lib, diffuziya pechlarida, LPCVD va boshqa yuqori haroratli yarimo'tkazgichlar va fotovoltaik jarayonlarda keng qo'llaniladi.

2-savol: Nima uchun kvarts eshkaklari o'rniga SiC ni tanlash kerak?
A: Kvarts eshkaklari bilan taqqoslaganda, SiC eshkaklari quyidagilarni taklif qiladi:

Yuqori mexanik kuch va yuk ko'tarish qobiliyati
1380 ℃ gacha bo'lgan haroratlarda yaxshiroq termal barqarorlik
Xizmat muddati ancha uzoq va texnik xizmat ko'rsatish davrlari qisqartirildi
Zarrachalar hosil bo'lishining pastligi va ifloslanish xavfi
Kattaroq o'lchamdagi gofretlar (300 mm va undan yuqori) bilan moslik

3-savol: SiC konsolli eshkak eshish moslamasi qanday o'lchamdagi plastinalarni qo'llab-quvvatlashi mumkin?
A: 2378 mm, 2550 mm va 2660 mm o'choq tizimlari uchun standart eshkaklar mavjud. 300 mm va undan yuqori o'lchamdagi plitalarni qo'llab-quvvatlash uchun moslashtirilgan o'lchamlar mavjud.

Biz haqimizda

XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.