Silikon karbidli keramik laganda so'rg'ichlari Silikon karbidli keramik trubka bilan ta'minlash yuqori haroratli sinterlash maxsus ishlov berish
Asosiy xususiyatlar:
1. Silikon karbidli keramik patnis
- Yuqori qattiqlik va aşınma qarshilik: qattiqlik olmosga yaqin va gofretni qayta ishlashda uzoq vaqt davomida mexanik aşınmaya bardosh bera oladi.
- Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va past issiqlik kengayish koeffitsienti: tez issiqlik tarqalishi va o'lchov barqarorligi, termal stressdan kelib chiqadigan deformatsiyadan qochish.
- Yuqori tekislik va sirt tekisligi: sirt tekisligi mikron darajasiga qadar bo'lib, gofret va disk o'rtasida to'liq aloqani ta'minlaydi, ifloslanish va shikastlanishni kamaytiradi.
Kimyoviy barqarorlik: Kuchli korroziyaga chidamlilik, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda nam tozalash va etching jarayonlari uchun javob beradi.
2. Silikon karbidli keramik trubka
- Yuqori haroratga chidamlilik: 1600 ° C dan yuqori haroratli muhitda uzoq vaqt ishlashi mumkin, yarimo'tkazgichli yuqori haroratli jarayonga mos keladi.
Zo'r korroziyaga chidamlilik: kislotalar, ishqorlar va turli xil kimyoviy erituvchilarga chidamli, og'ir jarayon muhitlari uchun javob beradi.
- Yuqori qattiqlik va aşınma qarshilik: zarrachalar eroziyasiga va mexanik aşınmaya qarshi turing, xizmat muddatini uzaytiring.
- Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va issiqlik kengayishining past koeffitsienti: issiqlikning tez o'tkazuvchanligi va o'lchov barqarorligi, termal stressdan kelib chiqadigan deformatsiya yoki yorilishni kamaytirish.
Mahsulot parametri:
Silikon karbidli keramik tovoqlar parametri:
| (moddiy mulk) | (birlik) | (ssic) | |
| (SiC tarkibi) | (Wt)% | >99 | |
| (O'rtacha don hajmi) | mikron | 4-10 | |
| (zichlik) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Ko'rinib turgan g'ovaklik) | Vo1% | <0,5 | |
| (Vikker qattiqligi) | HV 0,5 | Gpa | 28 |
| *() Bukilish kuchi* (uch ball) | 20ºC | MPa | 450 |
| (siqish kuchi) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik modul) | 20ºC | Gpa | 420 |
| (Sinish chidamliligi) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Issiqlik o'tkazuvchanligi) | 20°ºC | Vt/(m*K) | 160 |
| (qarshilik) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Issiqlik kengayish koeffitsienti) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimal ish harorati) | oºC | 1700 | |
Silikon karbid seramika trubkasi parametri:
| Elementlar | indeks |
| a-SIC | 99% min |
| Ko'rinadigan porozlik | 16% maksimal |
| Ommaviy zichlik | 2,7 g/sm3 min |
| Yuqori haroratda egilish kuchi | 100 Mpa min |
| Issiqlik kengayish koeffitsienti | K-1 4,7x10 -6 |
| Issiqlik o'tkazuvchanlik koeffitsienti (1400ºC) | 24 Vt/mk |
| Maks. Ishlash harorati | 1650ºC |
Asosiy ilovalar:
1. Silikon karbidli keramik plastinka
- Gofretni kesish va parlatish: kesish va parlatish jarayonida yuqori aniqlik va barqarorlikni ta'minlash uchun rulman platformasi bo'lib xizmat qiladi.
- Litografiya jarayoni: ta'sir qilish vaqtida yuqori aniqlikdagi joylashishni ta'minlash uchun gofret litografiya mashinasiga o'rnatiladi.
- Kimyoviy mexanik polishing (CMP): polishing prokladkalari uchun qo'llab-quvvatlovchi platforma bo'lib, bir xil bosim va issiqlik taqsimotini ta'minlaydi.
2. Silikon karbidli keramik trubka
- Yuqori haroratli pech trubkasi: yuqori haroratli ishlov berish uchun gofretlarni tashish uchun diffuziya pechi va oksidlanish pechi kabi yuqori haroratli uskunalar uchun ishlatiladi.
- CVD/PVD jarayoni: Reaksiya kamerasida rulman trubkasi sifatida, yuqori harorat va korroziy gazlarga chidamli.
- Yarimo'tkazgich uskunalari aksessuarlari: issiqlik almashinuvchilari, gaz quvurlari va boshqalar uchun, uskunaning issiqlik boshqaruvi samaradorligini oshirish uchun.
XKH kremniy karbidli keramik tovoqlar, assimilyatsiya stakanlari va kremniy karbidli keramik quvurlar uchun maxsus xizmatlarning to'liq spektrini taklif etadi. Silikon karbidli keramik tovoqlar va assimilyatsiya stakanlari, XKH turli o'lchamdagi, shakldagi va sirt pürüzlülüğündeki mijozlar talablariga muvofiq sozlanishi va maxsus qoplamali ishlov berishni qo'llab-quvvatlashi, aşınma qarshiligi va korroziyaga chidamliligini oshirish; Silikon karbidli keramik quvurlar uchun XKH turli xil ichki diametr, tashqi diametr, uzunlik va murakkab tuzilmani (masalan, shaklli quvur yoki gözenekli naycha) sozlashi va polishing, oksidlanishga qarshi qoplama va boshqa sirtni tozalash jarayonlarini ta'minlashi mumkin. XKH yarimo'tkazgichlar, LEDlar va fotovoltaiklar kabi yuqori darajadagi ishlab chiqarish sohalarining talabchan talablariga javob berish uchun mijozlar kremniy karbidli keramika mahsulotlarining ishlash afzalliklaridan to'liq foydalanishini ta'minlaydi.
Batafsil diagramma
