Silikon karbidli keramik patnis so'rg'ichi Silikon karbidli keramik naycha yuqori haroratli sinterlash maxsus ishlov berishni ta'minlaydi
Asosiy xususiyatlar:
1. Silikon karbidli keramik patnis
- Yuqori qattiqlik va aşınma qarshilik: qattiqlik olmosga yaqin va gofretni qayta ishlashda uzoq vaqt mexanik aşınmaya bardosh bera oladi.
- Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va past issiqlik kengayish koeffitsienti: tez issiqlik tarqalishi va o'lchovli barqarorlik, termal stress tufayli kelib chiqadigan deformatsiyadan qochish.
- Yuqori tekislik va sirt qoplamasi: Sirt tekisligi mikron darajasigacha, bu plastinka va disk o'rtasida to'liq aloqani ta'minlaydi, ifloslanish va shikastlanishni kamaytiradi.
Kimyoviy barqarorlik: Kuchli korroziyaga chidamlilik, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda nam tozalash va o'yish jarayonlari uchun mos.
2. Silikon karbidli keramik naycha
- Yuqori haroratga chidamlilik: 1600 ° C dan yuqori yuqori haroratli muhitda uzoq vaqt ishlashi mumkin, yarimo'tkazgichli yuqori haroratli jarayonlar uchun mos keladi.
Zo'r korroziyaga chidamlilik: kislotalar, ishqorlar va turli xil kimyoviy erituvchilarga chidamli, qattiq texnologik muhitlarga mos keladi.
- Yuqori qattiqlik va aşınma qarshilik: zarrachalar eroziyasiga va mexanik aşınmaya qarshi turing, xizmat muddatini uzaytiring.
- Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va past issiqlik kengayish koeffitsienti: issiqlikning tez o'tkazilishi va o'lchovli barqarorlik, termal stress tufayli yuzaga keladigan deformatsiya yoki yorilishni kamaytirish.
Mahsulot parametrlari:
Silikon karbidli keramik patnis parametri:
| (Moddiy mulk) | (Birlik) | (ssic) | |
| (SiC tarkibi) | (Vt)% | >99 | |
| (O'rtacha don hajmi) | mikron | 4-10 | |
| (Zichlik) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Ko'rinib turgan g'ovaklik) | Vo1% | <0.5 | |
| (Vickers qattiqligi) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Bükülme kuchi* (uch ball) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Siqish kuchi) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik modul) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Sinishga chidamlilik) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Issiqlik o'tkazuvchanligi) | 20°C | Vt/(m*K) | 160 ta |
| (Qarshilik) | 20°C | Ohm.sm | 106-108 |
(Issiqlik kengayish koeffitsienti) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimal ish harorati) | oºC | 1700-yil | |
Silikon karbidli keramik naycha parametri:
| Elementlar | Indeks |
| α-SIC | 99% min |
| Ko'rinib turgan g'ovaklik | Maksimal 16% |
| Ommaviy zichlik | 2,7 g/sm3 daqiqa |
| Yuqori haroratda egilish kuchi | 100 Mpa min |
| Issiqlik kengayish koeffitsienti | K-1 4.7x10 -6 |
| Issiqlik o'tkazuvchanlik koeffitsienti (1400ºC) | 24 Vt/mk |
| Maksimal ish harorati | 1650ºC |
Asosiy ilovalar:
1. Silikon karbidli keramik plastinka
- Plitalarni kesish va abrazivlash: kesish va abrazivlash paytida yuqori aniqlik va barqarorlikni ta'minlash uchun rulman platformasi bo'lib xizmat qiladi.
- Litografiya jarayoni: Ta'sir qilish paytida yuqori aniqlikdagi joylashishni ta'minlash uchun plastinka litografiya mashinasiga o'rnatiladi.
- Kimyoviy mexanik abrazivlash (KMJ): abrazivlash prokladkalari uchun tayanch platforma vazifasini bajaradi, bosim va issiqlikning bir xil taqsimlanishini ta'minlaydi.
2. Silikon karbidli keramik naycha
- Yuqori haroratli pech trubkasi: yuqori haroratli jarayonlarni qayta ishlash uchun gofretlarni tashish uchun diffuziya pechi va oksidlanish pechi kabi yuqori haroratli uskunalar uchun ishlatiladi.
- CVD/PVD jarayoni: Reaksiya kamerasida rulman naychasi sifatida, yuqori harorat va korroziyali gazlarga chidamli.
- Yarimo'tkazgich uskunalari aksessuarlari: issiqlik almashinuvchilari, gaz quvurlari va boshqalar uchun, uskunalarning issiqlik boshqaruv samaradorligini oshirish uchun.
XKH kremniy karbidli keramik laganda, so'rg'ich va kremniy karbidli keramik naychalar uchun to'liq maxsus xizmatlarni taklif etadi. XKH kremniy karbidli keramik laganda va so'rg'ichlari mijozlarning turli o'lchamlari, shakllari va sirt pürüzlülüğü talablariga muvofiq sozlanishi mumkin va maxsus qoplama ishlov berishni qo'llab-quvvatlaydi, aşınmaya bardoshliligi va korroziyaga chidamliligini oshiradi; Kremniy karbidli keramik naychalar uchun XKH turli xil ichki diametr, tashqi diametr, uzunlik va murakkab tuzilishni (masalan, shaklli naycha yoki g'ovak naycha) sozlashi va abrazivlash, antioksidlanish qoplamasi va boshqa sirt ishlov berish jarayonlarini ta'minlashi mumkin. XKH mijozlarga yarimo'tkazgichlar, LEDlar va fotovoltaiklar kabi yuqori darajadagi ishlab chiqarish sohalarining talabchan talablarini qondirish uchun kremniy karbidli keramika mahsulotlarining ishlash afzalliklaridan to'liq foydalanish imkonini beradi.
Batafsil diagramma
