Silikon karbidli olmos simlarini kesish mashinasi 4/6/8/12 dyuymli SiC quyma ishlov berish

Silikon karbidli olmos simini kesish mashinasi 4/6/8/12 dyuymli SiC quyma ishlov berish Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Silikon karbidli olmos simli kesish mashinasi - bu yuqori aniqlikdagi, kam zararli gofret tayyorlashga erishish uchun olmos simli arra texnologiyasidan foydalangan holda, yuqori tezlikda harakatlanuvchi olmos sim (chiziq diametri 0,1 ~ 0,3 mm) orqali SiC quyma ko'p simli kesish orqali kremniy karbid (SiC) quyma bo'lagiga bag'ishlangan yuqori aniqlikdagi ishlov berish uskunasi. Uskunalar SiC quvvat yarimo'tkazgichlarida (MOSFET/SBD), radiochastotali qurilmada (GaN-on-SiC) va optoelektron qurilma substratini qayta ishlashda keng qo'llaniladi, SiC sanoat zanjiridagi asosiy uskunadir.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Ishlash printsipi:

1. Quyma fiksatsiyasi: SiC quymasi (4H/6H-SiC) joylashuv aniqligini (±0,02 mm) ta'minlash uchun armatura orqali kesish platformasiga o'rnatiladi.

2. Olmos chizig'ining harakati: olmos chizig'i (sirtdagi elektrokaplama olmos zarralari) yuqori tezlikda aylanish uchun yo'naltiruvchi g'ildirak tizimi tomonidan boshqariladi (chiziq tezligi 10 ~ 30m / s).

3. Kesish orqali uzatish: quyma belgilangan yo'nalish bo'ylab uzatiladi va olmos chizig'i bir nechta parallel chiziqlar (100 ~ 500 chiziq) bilan bir vaqtning o'zida kesilib, bir nechta plastinka hosil qiladi.

4. Sovutish va chiplarni olib tashlash: Issiqlik shikastlanishini kamaytirish va chiplarni olib tashlash uchun kesish joyiga sovutish suyuqligini (deionizatsiyalangan suv + qo'shimchalar) purkang.

Asosiy parametrlar:

1. Kesish tezligi: 0,2 ~ 1,0 mm / min (kristal yo'nalishi va SiC qalinligiga qarab).

2. Chiziq tarangligi: 20 ~ 50N (chiziqni uzish oson, juda past kesish aniqligiga ta'sir qiladi).

3. Plitaning qalinligi: standart 350 ~ 500 mkm, plita 100 mkm ga yetishi mumkin.

Asosiy xususiyatlar:

(1) Kesish aniqligi
Qalinligi bardoshliligi: ± 5 μm (@350 μm gofret), an'anaviy ohak kesishdan (± 20 μm) yaxshiroq.

Sirt pürüzlülüğü: Ra <0.5μm (keyingi ishlov berish miqdorini kamaytirish uchun qo'shimcha silliqlash talab qilinmaydi).

Burilish: <10μm (keyingi abrazivlash qiyinligini kamaytiradi).

(2) Qayta ishlash samaradorligi
Ko'p chiziqli kesish: bir vaqtning o'zida 100 ~ 500 dona kesish, ishlab chiqarish quvvatini 3 ~ 5 baravar oshirish (bitta chiziqli kesishga nisbatan).

Chiziqning ishlash muddati: Olmosli chiziq 100 ~ 300 km SiC ni kesishi mumkin (quyma qattiqligi va jarayonni optimallashtirishga qarab).

(3) Kam zararni qayta ishlash
Qirralarning sinishi: <15 μm (an'anaviy kesish> 50 μm), gofret hosildorligini yaxshilaydi.

Sirt osti shikastlanish qatlami: <5 μm (jilolovchi moddalarni olib tashlashni kamaytiring).

(4) Atrof-muhitni muhofaza qilish va iqtisodiyot
Ohak ifloslanishi yo'q: Ohakni kesish bilan solishtirganda chiqindi suyuqlikni yo'q qilish xarajatlari kamayadi.

Materiallardan foydalanish: Kesish yo'qotishi <100μm/ kesuvchi, SiC xom ashyosini tejash.

Kesish effekti:

1. Plitka sifati: sirtda makroskopik yoriqlar yo'q, mikroskopik nuqsonlar kam (boshqariladigan dislokatsiya kengayishi). Qo'pol abrazivlash bo'g'iniga to'g'ridan-to'g'ri kirishi, jarayon oqimini qisqartirishi mumkin.

2. Muvofiqlik: partiyadagi gofretning qalinligi og'ishi <±3%, avtomatlashtirilgan ishlab chiqarish uchun mos keladi.

3. Qo'llanilishi: Supero'tkazuvchilar/yarim izolyatsiyalangan turga mos keladigan 4H/6H-SiC quyma kesishni qo'llab-quvvatlang.

Texnik tavsif:

Texnik xususiyatlar	Tafsilotlar
Olchamlari (Uzunligi × Kengligi × Balandligi)	2500x2300x2500 yoki sozlash
Qayta ishlash materialining o'lchamlari oralig'i	4, 6, 8, 10, 12 dyuymli kremniy karbidi
Sirt pürüzlülüğü	Ra≤0.3u
O'rtacha kesish tezligi	0,3 mm/min
Og'irligi	5,5 tonna
Kesish jarayonini sozlash bosqichlari	≤30 qadam
Uskuna shovqini	≤80 dB
Po'lat simning kuchlanishi	0 ~ 110N (0,25 sim kuchlanishi 45N ga teng)
Po'lat sim tezligi	0~30m/S
Umumiy quvvat	50 kVt
Olmos simining diametri	≥0.18 mm
Tugash tekisligi	≤0.05 mm
Kesish va sindirish tezligi	≤1% (insoniy sabablar, kremniy materiali, liniya, texnik xizmat ko'rsatish va boshqa sabablar bundan mustasno)

XKH xizmatlari:

XKH mijozlarga yuqori rentabellikka (>95%), arzon narxlardagi SiC plastinkalarini ommaviy ishlab chiqarishga erishishda yordam berish uchun kremniy karbidli olmos simli kesish mashinasining butun jarayon xizmatini taqdim etadi, jumladan, uskunalarni tanlash (sim diametri/sim tezligini moslashtirish), jarayonni ishlab chiqish (kesish parametrlarini optimallashtirish), sarf materiallari yetkazib berish (olmos sim, yo'naltiruvchi g'ildirak) va sotishdan keyingi qo'llab-quvvatlash (uskunalarga texnik xizmat ko'rsatish, kesish sifatini tahlil qilish). Shuningdek, u 4-8 haftalik yetkazib berish muddati bilan moslashtirilgan yangilanishlarni (masalan, ultra yupqa kesish, avtomatlashtirilgan yuklash va tushirish) taklif etadi.