Silikon karbid olmosli simni kesish mashinasi 4/6/8/12 dyuymli SiC ingotini qayta ishlash

Silikon karbidli olmosli simni kesish mashinasi 4/6/8/12 dyuymli SiC ingotini qayta ishlash Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Silikon karbid Diamond Wire kesish mashinasi - bu silikon karbid (SiC) ingot tilimga bag'ishlangan yuqori aniqlikdagi ishlov berish uskunasi bo'lib, Diamond Wire Saw texnologiyasidan foydalangan holda, yuqori tezlikda harakatlanuvchi olmos sim (chiziq diametri 0,1 ~ 0,3 mm) orqali SiC ingot ko'p simli kesish, yuqori aniqlikka erishish uchun. Uskunalar SiC quvvat yarimo'tkazgichlari (MOSFET / SBD), radio chastotali qurilma (GaN-on-SiC) va optoelektronik qurilma substratini qayta ishlashda keng qo'llaniladi, SiC sanoat zanjirida asosiy uskuna hisoblanadi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Ish printsipi:

1. Ingot fiksatsiyasi: SiC ingot (4H/6H-SiC) joylashishning aniqligini (± 0,02 mm) ta'minlash uchun armatura orqali kesish platformasiga o'rnatiladi.

2. Olmos chizig'i harakati: olmos chizig'i (sirtdagi elektrolizlangan olmos zarralari) yuqori tezlikda aylanish uchun hidoyat g'ildiragi tizimi tomonidan boshqariladi (chiziq tezligi 10 ~ 30 m / s).

3. Kesish yemi: ingot belgilangan yo'nalish bo'ylab oziqlanadi va olmos chizig'i bir nechta parallel chiziqlar (100 ~ 500 chiziq) bilan bir vaqtning o'zida bir nechta gofret hosil qilish uchun kesiladi.

4. Sovutish va chiplarni olib tashlash: issiqlik shikastlanishini kamaytirish va chiplarni olib tashlash uchun kesish joyiga sovutish suvi (deionizatsiyalangan suv + qo'shimchalar) püskürtün.

Asosiy parametrlar:

1. Kesish tezligi: 0,2 ~ 1,0 mm / min (SiC ning kristall yo'nalishi va qalinligiga qarab).

2. Chiziq kuchlanishi: 20 ~ 50N (chiziqni buzish juda yuqori, kesish aniqligiga juda past ta'sir qiladi).

3.Wafer qalinligi: standart 350 ~ 500 mkm, gofret 100 mm ga yetishi mumkin.

Asosiy xususiyatlar:

(1) Kesish aniqligi
Qalinligi bardoshliligi: ± 5 mkm (@ 350 mkm gofret), an'anaviy ohakni kesishdan (± 20 mkm) yaxshiroq.

Yuzaki pürüzlülük: Ra<0,5μm (keyingi ishlov berish miqdorini kamaytirish uchun qo'shimcha silliqlash talab qilinmaydi).

Buzilish: <10 mkm (keyingi silliqlash qiyinligini kamaytiradi).

(2) Qayta ishlash samaradorligi
Ko'p chiziqli kesish: bir vaqtning o'zida 100 ~ 500 dona kesish, ishlab chiqarish quvvatini 3 ~ 5 marta oshirish (Yagona chiziqli kesishga nisbatan).

Chiziq muddati: olmos chizig'i 100 ~ 300 km SiC ni kesishi mumkin (ingotning qattiqligi va jarayonni optimallashtirishga qarab).

(3) Kam zararni qayta ishlash
Chetning sinishi: <15 mkm (an'anaviy kesish > 50 mkm), gofret hosilini yaxshilang.

Er osti shikastlanish qatlami: <5 mkm (polishingni olib tashlashni kamaytiring).

(4) Atrof-muhitni muhofaza qilish va iqtisodiyot
Ohak bilan ifloslanish yo'q: ohak kesish bilan solishtirganda chiqindi suyuqlikni yo'q qilish xarajatlari kamayadi.

Materiallardan foydalanish: Kesish yo'qotilishi <100 mkm / to'sar, SiC xom ashyosini tejash.

Kesish effekti:

1. Gofret sifati: sirtda makroskopik yoriqlar yo'q, bir nechta mikroskopik nuqsonlar (boshqariladigan dislokatsiya kengaytmasi). To'g'ridan-to'g'ri qo'pol polishing havolasiga kirishi mumkin, jarayon oqimini qisqartiradi.

2. Mustahkamlik: partiyadagi gofretning qalinligi og'ishi <±3%, avtomatlashtirilgan ishlab chiqarish uchun mos keladi.

3.Qo'llanilishi: Supero'tkazuvchilar / yarim izolyatsiyalangan turga mos keladigan 4H / 6H-SiC ingot kesishni qo'llab-quvvatlash.

Texnik spetsifikatsiya:

Spetsifikatsiya	Tafsilotlar
Olchamlari (U × G × Y)	2500x2300x2500 yoki sozlang
Materialni qayta ishlash hajmi oralig'i	4, 6, 8, 10, 12 dyuymli silikon karbid
Sirt pürüzlülüğü	Ra≤0,3u
O'rtacha kesish tezligi	0,3 mm/min
Og'irligi	5,5 t
Kesish jarayonini sozlash bosqichlari	≤30 qadam
Uskunaning shovqini	≤80 dB
Chelik simning kuchlanishi	0~110N (0,25 sim kuchlanishi 45N)
Chelik sim tezligi	0~30m/S
Umumiy quvvat	50 kVt
Olmos sim diametri	≥0,18 mm
Yakuniy tekislik	≤0,05 mm
Kesish va sindirish tezligi	≤1% (inson sabablari, silikon material, chiziq, texnik xizmat ko'rsatish va boshqa sabablar bundan mustasno)

XKH xizmatlari:

XKH kremniy karbidli olmosli simni kesish mashinasining butun texnologik xizmatini taqdim etadi, jumladan uskunalar tanlash (sim diametri / sim tezligini moslashtirish), jarayonni ishlab chiqish (kesish parametrlarini optimallashtirish), sarf materiallarini etkazib berish (olmos sim, hidoyat g'ildiragi) va sotishdan keyingi yordam (uskunaga texnik xizmat ko'rsatish, kesish sifatini tahlil qilish), mijozlarga yuqori rentabellikga (> 95%), arzon SiC vafer ishlab chiqarishga yordam beradi. Shuningdek, u 4-8 haftalik yetkazib berish muddati bilan moslashtirilgan yangilanishlarni (masalan, ultra yupqa kesish, avtomatlashtirilgan yuklash va tushirish) taklif qiladi.