Ti/Cu metall qoplamali kremniy plastinka (titan/mis)

Qisqacha tavsif:

BizningTi/Cu metall qoplamali kremniy plitalaribilan qoplangan yuqori sifatli kremniy (yoki ixtiyoriy shisha/kvarts) substratiga egatitan yopishqoq qatlamiva amis o'tkazuvchan qatlamfoydalanishstandart magnetronli purkashTi qatlami yopishishni va jarayon barqarorligini sezilarli darajada yaxshilaydi, Cu yuqori qatlami esa elektr interfeysi va keyingi mikrofabrika uchun ideal bo'lgan past qarshilikka ega, bir xil sirtni taqdim etadi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Batafsil diagramma

Ti/Cu metall qoplamali kremniy plastinka (titan/mis)6

Umumiy ma'lumot

Tadqiqot va tajriba miqyosidagi qo'llanmalar uchun mo'ljallangan ushbu plastinkalar turli o'lchamlarda va qarshilik diapazonlarida mavjud bo'lib, qalinligi, substrat turi va qoplama konfiguratsiyasi uchun moslashuvchan sozlash imkoniyatiga ega.

Asosiy xususiyatlar

Kuchli yopishish va ishonchlilikTi bog'lovchi qatlami Si/SiO₂ ga plyonka yopishishini oshiradi va ishlov berish mustahkamligini oshiradi
Yuqori o'tkazuvchanlik yuzasiCu qoplamasi kontaktlar va sinov tuzilmalari uchun ajoyib elektr ko'rsatkichlarini ta'minlaydi
Keng moslashtirish diapazoni: plastinaning o'lchami, qarshiligi, yo'nalishi, substrat qalinligi va plyonka qalinligi so'rov bo'yicha mavjud
Jarayonga tayyor substratlar: umumiy laboratoriya va fabrika ish oqimlari bilan mos keladi (litografiya, elektrokaplama qurilishi, metrologiya va boshqalar)
Materiallar seriyasi mavjudTi/Cu dan tashqari, biz Au, Pt, Al, Ni, Ag metall qoplamali plitalarni ham taklif etamiz

Odatdagi tuzilish va cho'kma

StekSubstrat + Ti yopishqoq qatlami + Cu qoplama qatlami
Standart jarayonMagnetronli purkash
Ixtiyoriy jarayonlarTermal bug'lanish / Elektrokaplama (qalinroq Cu talablari uchun)

Kvarts shishasining mexanik xususiyatlari

Mahsulot	Tanlovlar
Gofret hajmi	2", 4", 6", 8"; 10×10 mm; maxsus kubik o'lchamlari
O'tkazuvchanlik turi	P-turi / N-turi / Ichki yuqori qarshilik (Un)
Yo'nalish	<100>, <111> va boshqalar.
Qarshilik	<0,0015 Ō·sm; 1–10 Ō·sm; >1000–10000 Ō·sm
Qalinligi (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; maxsus
Substrat materiallari	Kremniy; ixtiyoriy kvarts, BF33 shishasi va boshqalar.
Film qalinligi	10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (sozlanishi mumkin)
Metall plyonka variantlari	Ti/Cu; shuningdek Au, Pt, Al, Ni, Ag mavjud

Ti/Cu metall qoplamali kremniy plastinka (titan/mis)4

Ilovalar

Omik kontakt va o'tkazuvchan substratlarqurilma tadqiqotlari va elektr sinovlari uchun
Elektrokaplama uchun urug' qatlamlari(RDL, MEMS tuzilmalari, qalin Cu to'planishi)
Sol-gel va nanomaterial o'sish substratlarinano va yupqa plyonkali tadqiqotlar uchun
Mikroskopiya va sirt metrologiyasi(SEM/AFM/SPM namunalarini tayyorlash va o'lchash)
Bio/kimyoviy yuzalarmasalan, hujayra kulturasi platformalari, oqsil/DNK mikroarraylari va reflektometriya substratlari

Tez-tez so'raladigan savollar (Ti/Cu metall bilan qoplangan kremniy gofretlari)

1-savol: Nima uchun Cu qoplamasi ostida Ti qatlami ishlatiladi?
A: Titanium quyidagicha ishlaydiyopishish (bog'lash) qatlami, misning substratga birikishini yaxshilash va interfeys barqarorligini oshirish, bu esa ishlov berish va qayta ishlash paytida po'stlanish yoki delaminatsiyani kamaytirishga yordam beradi.

2-savol: Ti/Cu qalinligining odatiy konfiguratsiyasi qanday?
A: Umumiy kombinatsiyalar quyidagilarni o'z ichiga oladiTi: o'nlab nm (masalan, 10–50 nm)vaCu: 50–300 nmpurkalgan plyonkalar uchun. Qalinroq Cu qatlamlari (µm-daraja) ko'pincha quyidagicha erishiladipurkalgan Cu urug' qatlamiga elektrokaplama, arizangizga qarab.

3-savol: Gofretning ikkala tomonini ham qoplashingiz mumkinmi?
A: Ha.Bir tomonlama yoki ikki tomonlama qoplamaso'rov bo'yicha mavjud. Buyurtma berishda iltimos, talabingizni ko'rsating.

Biz haqimizda

XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.