Ultra aniqlikdagi SiC havo o'tkazuvchanlik bosqichi

Ultra aniqlikdagi SiC havo o'tkazmaydigan bosqichi Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Yarimo'tkazgichlar sanoatining uzluksiz rivojlanishi bilan ishlov berish va tekshirish uskunalari tobora yuqori samaradorlikni talab qiladi. Harakatni boshqarish va nanometr darajasida joylashishni aniqlash bo'yicha keng tajribaga tayanib, biz tekis H tipidagi ikki o'qli ultra aniq havo o'tkazadigan bosqichni ishlab chiqdik.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Batafsil diagramma

Umumiy ma'lumot

Cheklangan elementlarga optimallashtirilgan kremniy karbid (SiC) keramik tuzilishi va kompensatsiyalangan havo o'tkazuvchanlik texnologiyasi bilan ishlab chiqilgan ushbu sahna ajoyib aniqlik, qattiqlik va dinamik javobni ta'minlaydi. U quyidagilar uchun ideal tarzda mos keladi:

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash va tekshirish
Mikro/nano ishlab chiqarish va metrologiya
Nanometr o'lchamidagi chivinli kesish va abrazivlash
Yuqori tezlikdagi aniqlikdagi skanerlash

Asosiy xususiyatlar

SiC havo o'tkazmaydigan yo'riqnomaultra yuqori qattiqlik va aniqlik uchun
Yuqori dinamika: tezlik 1 m/s gacha, tezlanish 4 g gacha, tez cho'kish
Ikkita qo'zg'aluvchan Y o'qi portaliyuqori yuk ko'tarish qobiliyati va barqarorligini ta'minlaydi
Enkoder parametrlarioptik panjara yoki lazer interferometri
Joylashuv aniqligi: ±0,15 μm;takrorlanuvchanlik: ±75 nm
Optimallashtirilgan kabel yo'nalishitoza dizayn va uzoq muddatli ishonchlilik uchun
Moslashtiriladigan konfiguratsiyalardasturga xos ehtiyojlar uchun

Ultra aniq dizayn va to'g'ridan-to'g'ri haydovchi, kontaktsiz arxitektura

SiC keramik ramkaAlyuminiy qotishmasining qattiqligi ~5 × va issiqlik kengayishi ~5 × pastroq, bu yuqori tezlikda barqarorlik va issiqlikka chidamlilikni ta'minlaydi.
Kompensatsiyalangan havo rulmaniXususiy dizayn qattiqlikni, yuk ko'tarish qobiliyatini va harakat barqarorligini oshiradi.
Dinamik ishlash: Yuqori o'tkazuvchanlikdagi jarayonlar uchun ideal bo'lgan 1 m/s tezlik va 4 g tezlanishni qo'llab-quvvatlaydi.
Uzluksiz integratsiyaVibratsiyali izolyatsiya tizimlari, aylanma bosqichlar, egilish modullari va gofretni boshqarish platformalari bilan mos keladi.
Kabel boshqaruvi: Boshqariladigan egilish radiusi xizmat muddatini uzaytirish uchun stressni minimallashtiradi.

Yadrosiz chiziqli motor: Nol tishli kuch bilan silliq harakat.
Ko'p motorli haydovchiYuk tekisligidagi dvigatelning joylashuvi tekislik, tekislik va burchak aniqligini yaxshilaydi.
Issiqlik izolyatsiyasiMotorlar sahna konstruktsiyasidan ajratilgan; yuqori ish sikllari uchun ixtiyoriy havo yoki suv bilan sovutish.

Texnik xususiyatlar

Model	400-400	500-500	600-600
Boltalar	X (skanerlash) / Y (bosqich)	X (skanerlash) / Y (bosqich)	X (skanerlash) / Y (bosqich)
Sayohat (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Aniqlik (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Takrorlanish (nm)	±75	±100	±100
Ruxsat (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimal tezlik (m/s)	1	1	1
Tezlanish (g)	4	4	4
To'g'rilik (mkm)	±0.2	±0.3	±0.4
Barqarorlik (nm)	±5	±5	±5
Maksimal yuk (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (yoy-soniya)	±1	±1	±1

Sinov shartlari:

Havo ta'minoti: toza, quruq; shudring nuqtasi ≤ 0°F; zarrachalar filtratsiyasi ≤ 0,25 mkm; yoki 99,99% azot.
Aniqlik sahna markazidan 25 mm yuqorida, 20±1 °C haroratda, 40–60% nisbiy namlikda o'lchandi.

Ilovalar

Yarimo'tkazgichli litografiya, tekshirish va plastinka bilan ishlash
Mikro/nano ishlab chiqarish va aniq metrologiya
Yuqori darajadagi optika ishlab chiqarish va interferometriya
Aerokosmik va ilg'or ilmiy tadqiqotlar

Tez-tez so'raladigan savollar – Silikon karbidli havo o'tkazgich bosqichi

1. Havo ko'taruvchi bosqich nima?

Havo o'tkazadigan bosqich bosqich va yo'naltiruvchi yo'l o'rtasida bosimli havoning yupqa plyonkasidan foydalanadiishqalanishsiz, aşınmaya bardoshli va juda silliq harakatAn'anaviy mexanik podshipniklardan farqli o'laroq, u tayoqchaning sirpanishini yo'q qiladi, nanometr darajasidagi aniqlikni ta'minlaydi va uzoq muddatli ishonchlilikni qo'llab-quvvatlaydi.

2. Nima uchun sahna tuzilishi uchun kremniy karbididan (SiC) foydalanish kerak?

Yuqori qattiqlik: Dinamik harakat paytida deformatsiyani minimallashtirish uchun alyuminiy qotishmasidan ~5 baravar ko'p.
Kam issiqlik kengayishi: Alyuminiydan ~5 marta pastroq, harorat o'zgarishi ostida aniqlikni saqlaydi.
YengilPo'latga nisbatan pastroq zichlik, bu yuqori tezlikda va yuqori tezlanishda ishlash imkonini beradi.
Ajoyib barqarorlik: Ultra aniq joylashishni aniqlash uchun yuqori darajadagi amortizatsiya va qattiqlik.

3. Sahna moylash yoki texnik xizmat ko'rsatishni talab qiladimi?

An'anaviy moylash kerak emas, chunki u yerda mavjudmexanik aloqa yo'qTavsiya etilgan texnik xizmat ko'rsatish quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Ta'minottoza, quruq siqilgan havo yoki azot
Filtrlar va quritgichlarni davriy tekshirish
Kabellar va sovutish tizimlarini kuzatish

4. Havo ta'minoti talablari qanday?

Shudring nuqtasi: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Zarrachalar filtratsiyasi: ≤ 0,25 mkm
Toza, quruq havo yoki 99,99% sof azot
Minimal tebranish bilan barqaror bosim

Biz haqimizda

XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.