Yuqori hajmli yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun 12 dyuymli sapfirli vafli

Yuqori hajmli yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun 12 dyuymli sapfir plastinkasi Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

12 dyuymli sapfir plastinkasi katta maydonli, yuqori o'tkazuvchanlikdagi yarimo'tkazgichlar va optoelektronika ishlab chiqarishga bo'lgan ortib borayotgan talabni qondirish uchun mo'ljallangan. Qurilmalar arxitekturasi kengayishda davom etar ekan va ishlab chiqarish liniyalari kattaroq plastinka formatlariga o'tayotganligi sababli, ultra katta diametrli sapfir substratlari unumdorlik, hosilni optimallashtirish va xarajatlarni nazorat qilishda aniq afzalliklarni taqdim etadi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Xususiyatlari

Batafsil diagramma

12 dyuymli sapfir gofretining kiritilishi

Yuqori tozalikdagi monokristalli Al₂O₃ dan ishlab chiqarilgan 12 dyuymli sapfir plastinkalarimiz ajoyib mexanik mustahkamlik, termal barqarorlik va sirt sifatini birlashtiradi. Optimallashtirilgan kristall o'sishi va plastinkalarni aniq qayta ishlash orqali ushbu substratlar ilg'or LED, GaN va maxsus yarimo'tkazgichli ilovalar uchun ishonchli ishlashni ta'minlaydi.

Materiallar xususiyatlari

Safir (monokristalli alyuminiy oksidi, Al₂O₃) o'zining ajoyib fizik va kimyoviy xususiyatlari bilan mashhur. 12 dyuymli sapfir plitalari sapfir materialining barcha afzalliklarini meros qilib oladi va shu bilan birga ancha katta foydalanish mumkin bo'lgan sirt maydonini ta'minlaydi.

Asosiy material xususiyatlari quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Juda yuqori qattiqlik va aşınma qarshilik
Ajoyib termal barqarorlik va yuqori erish nuqtasi
Kislotalar va ishqorlarga yuqori kimyoviy qarshilik
UV dan IR to'lqin uzunliklariga qadar yuqori optik shaffoflik
Zo'r elektr izolyatsiya xususiyatlari

Bu xususiyatlar 12 dyuymli sapfir plitalarini qattiq ishlov berish muhitlari va yuqori haroratli yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlari uchun mos qiladi.

Ishlab chiqarish jarayoni

12 dyuymli sapfir plitalarini ishlab chiqarish ilg'or kristall o'stirish va o'ta aniqlikdagi ishlov berish texnologiyalarini talab qiladi. Odatdagi ishlab chiqarish jarayoni quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Yagona kristalli o'sish
Yuqori toza sapfir kristallari KY yoki boshqa katta diametrli kristallarni o'stirish texnologiyalari kabi ilg'or usullar yordamida yetishtiriladi, bu esa kristallarning bir xil yo'nalishini va past ichki stressni ta'minlaydi.
Kristallni shakllantirish va kesish
Safir quymasi aniq shaklga ega va yer osti shikastlanishini minimallashtirish uchun yuqori aniqlikdagi kesish uskunalari yordamida 12 dyuymli plastinkalarga kesilgan.
Yopish va abrazivlash
Sirtning a'lo darajada pürüzlülüğü, tekisligi va qalinligining bir xilligiga erishish uchun ko'p bosqichli lapping va kimyoviy mexanik abrazivlash (CMP) jarayonlari qo'llaniladi.
Tozalash va tekshirish
Har bir 12 dyuymli sapfir plastinkasi puxta tozalash va sirt sifati, TTV, kamon, burilish va nuqson tahlilini o'z ichiga olgan qat'iy tekshiruvdan o'tkaziladi.

Ilovalar

12 dyuymli sapfir plitalari ilg'or va rivojlanayotgan texnologiyalarda keng qo'llaniladi, jumladan:

Yuqori quvvatli va yuqori yorqinlikdagi LED substratlar
GaN asosidagi quvvat qurilmalari va RF qurilmalari
Yarimo'tkazgichli uskunalar tashuvchisi va izolyatsiyalovchi substratlar
Optik oynalar va keng maydonli optik komponentlar
Ilg'or yarimo'tkazgichli qadoqlash va maxsus jarayon tashuvchilari

Katta diametr ommaviy ishlab chiqarishda yuqori o'tkazuvchanlik va iqtisodiy samaradorlikni oshirish imkonini beradi.

12 dyuymli sapfir gofretlarining afzalliklari

Har bir plastinka uchun yuqori qurilma chiqishi uchun kattaroq foydalanish maydoni
Jarayonning izchilligi va bir xilligi yaxshilandi
Yuqori hajmli ishlab chiqarishda har bir qurilma uchun xarajatlarning kamayishi
Katta o'lchamli ishlov berish uchun ajoyib mexanik kuch
Turli xil ilovalar uchun moslashtiriladigan xususiyatlar

Moslashtirish imkoniyatlari

Biz 12 dyuymli sapfir gofretlari uchun moslashuvchan sozlashni taklif etamiz, jumladan:

Kristall yo'nalishi (C-tekislik, A-tekislik, R-tekislik va boshqalar)
Qalinligi va diametrga bardoshlik
Bir tomonlama yoki ikki tomonlama abrazivlash
Yon profil va paxta dizayni
Sirt pürüzlülüğü va tekislik talablari

Parametr	Texnik xususiyatlar	Izohlar
Gofret diametri	12 dyuym (300 mm)	Standart katta diametrli gofret
Materiallar	Mono-kristalli sapfir (Al₂O₃)	Yuqori tozalik, elektron/optik daraja
Kristall yo'nalishi	C-tekislik (0001), A-tekislik (11-20), R-tekislik (1-102)	Ixtiyoriy yo'nalishlar mavjud
Qalinligi	430–500 mkm	Maxsus qalinlik talab bo'yicha mavjud
Qalinlikka chidamlilik	±10 μm	Ilg'or qurilmalar uchun qattiq bardoshlik
Umumiy qalinlik o'zgarishi (TTV)	≤10 mkm	Gofret bo'ylab bir xil ishlov berishni ta'minlaydi
Kamon	≤50 mkm	Butun gofret bo'ylab o'lchangan
Deformatsiya	≤50 mkm	Butun gofret bo'ylab o'lchangan
Sirt qoplamasi	Bir tomonlama jilolangan (SSP) / Ikki tomonlama jilolangan (DSP)	Yuqori optik sifatli sirt
Sirt pürüzlülüğü (Ra)	≤0,5 nm (sayqallangan)	Epitaksial o'sish uchun atom darajasidagi silliqlik
Yon profili	Paxta / yumaloq qirra	Ishlov berish paytida chiplarning oldini olish uchun
Yo'nalish aniqligi	±0,5°	Epitaksial qatlamning to'g'ri o'sishini ta'minlaydi
Nuqson zichligi	<10 sm⁻²	Optik tekshiruv orqali o'lchanadi
Tekislik	≤2 μm / 100 mm	Litografiya va epitaksial o'sishni bir xilda ta'minlaydi
Tozalik	100-sinf – 1000-sinf	Toza xonaga mos keladi
Optik uzatish	>85% (UB–IR)	To'lqin uzunligi va qalinligiga bog'liq

12 dyuymli sapfir gofretlari haqida tez-tez so'raladigan savollar

1-savol: 12 dyuymli sapfir plastinkasining standart qalinligi qancha?
A: Standart qalinligi 430 mkm dan 500 mkm gacha. Mijoz talablariga muvofiq maxsus qalinliklar ham ishlab chiqarilishi mumkin.

2-savol: 12 dyuymli sapfir plitalari uchun qanday kristall yo'nalishlari mavjud?
A: Biz C-tekislik (0001), A-tekislik (11-20) va R-tekislik (1-102) yo'nalishlarini taklif etamiz. Boshqa yo'nalishlarni qurilmaning ma'lum talablariga muvofiq sozlash mumkin.

3-savol: Plitaning umumiy qalinlik o'zgarishi (TTV) qancha?
A: Bizning 12 dyuymli sapfir plitalarimiz odatda TTV ≤10 μm ga ega, bu esa yuqori sifatli qurilma ishlab chiqarish uchun butun plastinka yuzasida bir xillikni ta'minlaydi.

Biz haqimizda

XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.