12 dyuymli SIC substrat kremniy karbid asosiy navli diametri 300 mm katta o'lchamli 4H-N Yuqori quvvatli qurilma issiqlik tarqalishi uchun mos keladi
Mahsulot xususiyatlari
1. Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: kremniy karbidining issiqlik o'tkazuvchanligi kremniynikidan 3 baravar ko'p, bu yuqori quvvatli qurilma issiqlik tarqalishi uchun mos keladi.
2. Yuqori parchalanish maydonining kuchi: Parchalanish maydonining kuchi kremniynikidan 10 baravar yuqori, yuqori bosimli dasturlar uchun mos keladi.
3. Keng tarmoqli oralig'i: Tarmoqli oralig'i 3.26eV (4H-SiC) bo'lib, yuqori harorat va yuqori chastotali dasturlar uchun mos keladi.
4. Yuqori qattiqlik: Mohs qattiqligi 9,2 ga teng, olmosdan keyin ikkinchi o'rinda turadi, a'lo aşınma qarshiligi va mexanik mustahkamlik.
5. Kimyoviy barqarorlik: kuchli korroziyaga chidamlilik, yuqori harorat va qattiq muhitda barqaror ishlash.
6. Katta o'lcham: 12 dyuym (300 mm) substrat, ishlab chiqarish samaradorligini oshiradi, birlik narxini pasaytiradi.
7. Kam nuqsonli zichlik: past nuqsonli zichlik va yuqori mustahkamlikni ta'minlash uchun yuqori sifatli monokristalli o'sish texnologiyasi.
Mahsulotning asosiy qo'llanilish yo'nalishi
1. Quvvatli elektronika:
Mosfetlar: Elektr transport vositalarida, sanoat motorli drayverlarda va quvvat konvertorlarida qo'llaniladi.
Diodlar: masalan, Shottki diodlari (SBD), samarali rektifikatsiya va kommutatsiya quvvat manbalari uchun ishlatiladi.
2. Rf qurilmalari:
Rf quvvat kuchaytirgichi: 5G aloqa bazaviy stansiyalarida va sun'iy yo'ldosh aloqalarida ishlatiladi.
Mikroto'lqinli qurilmalar: Radar va simsiz aloqa tizimlari uchun mos keladi.
3. Yangi energiya vositalari:
Elektr haydovchi tizimlari: elektr transport vositalari uchun motor kontrollerlari va invertorlar.
Zaryadlash qozig'i: Tez zaryadlash uskunalari uchun quvvat moduli.
4. Sanoat qo'llanmalari:
Yuqori kuchlanishli inverter: sanoat motorini boshqarish va energiyani boshqarish uchun.
Aqlli tarmoq: HVDC uzatish va quvvat elektronikasi transformatorlari uchun.
5. Aerokosmik:
Yuqori haroratli elektronika: aerokosmik uskunalarning yuqori haroratli muhitlari uchun mos.
6. Tadqiqot sohasi:
Keng tarmoqli yarimo'tkazgich tadqiqotlari: yangi yarimo'tkazgich materiallari va qurilmalarini ishlab chiqish uchun.
12 dyuymli kremniy karbid substrati yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori parchalanish maydonining kuchliligi va keng polosali bo'shliq kabi ajoyib xususiyatlarga ega bo'lgan yuqori samarali yarimo'tkazgich material substratining bir turi bo'lib, u elektr elektronikasi, radiochastotali qurilmalar, yangi energiya vositalari, sanoat boshqaruvi va aerokosmik sohalarda keng qo'llaniladi va keyingi avlod samarali va yuqori quvvatli elektron qurilmalarni ishlab chiqishni rag'batlantirish uchun asosiy materialdir.
Silikon karbid substratlari hozirda AR ko'zoynaklari kabi iste'molchi elektronikasida kamroq qo'llanilsa-da, ularning samarali quvvatni boshqarish va miniatyuralangan elektronikadagi salohiyati kelajakdagi AR/VR qurilmalari uchun yengil, yuqori samarali quvvat ta'minoti yechimlarini qo'llab-quvvatlashi mumkin. Hozirgi vaqtda kremniy karbid substratining asosiy rivojlanishi yangi energiya vositalari, aloqa infratuzilmasi va sanoat avtomatlashtirish kabi sanoat sohalariga qaratilgan bo'lib, yarimo'tkazgichlar sanoatini yanada samarali va ishonchli yo'nalishda rivojlanishiga yordam beradi.
XKH yuqori sifatli 12 dyuymli SIC substratlarini keng qamrovli texnik yordam va xizmatlar bilan ta'minlashga sodiqdir, jumladan:
1. Maxsus ishlab chiqarish: Mijozning ehtiyojlariga ko'ra turli xil qarshilik, kristall yo'nalishi va sirtni qayta ishlash substratini taqdim etish kerak.
2. Jarayonni optimallashtirish: Mahsulot samaradorligini oshirish uchun mijozlarga epitaksial o'sish, qurilma ishlab chiqarish va boshqa jarayonlarni texnik qo'llab-quvvatlash.
3. Sinov va sertifikatlash: Substratning sanoat standartlariga javob berishini ta'minlash uchun qat'iy nuqsonlarni aniqlash va sifat sertifikatini taqdim eting.
4. Ar-ge hamkorligi: Texnologik innovatsiyalarni ilgari surish uchun mijozlar bilan birgalikda yangi kremniy karbid qurilmalarini ishlab chiqish.
Ma'lumotlar jadvali
| 1,2 dyuymli kremniy karbid (SiC) substratining texnik tavsifi | |||||
| Baho | ZeroMPD ishlab chiqarish Daraja (Z daraja) | Standart ishlab chiqarish Daraja (P daraja) | Soxta daraja (D daraja) | ||
| Diametri | 3 0 0 mm ~ 305 mm | ||||
| Qalinligi | 4H-N | 750 μm±15 μm | 750 μm±25 μm | ||
| 4H-SI | 750 μm±15 μm | 750 μm±25 μm | |||
| Gofret yo'nalishi | O'qdan tashqarida: 4H-N uchun <1120 >±0.5° ga 4.0°, o'qda: 4H-SI uchun <0001>±0.5° | ||||
| Mikro quvur zichligi | 4H-N | ≤0.4 sm-2 | ≤4 sm-2 | ≤25 sm-2 | |
| 4H-SI | ≤5 sm-2 | ≤10 sm-2 | ≤25 sm-2 | ||
| Qarshilik | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·sm | 0,015~0,028 Ω·sm | ||
| 4H-SI | ≥1E10 Ω·sm | ≥1E5 Ω·sm | |||
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | {10-10} ±5.0° | ||||
| Birlamchi tekis uzunlik | 4H-N | Yo'q | |||
| 4H-SI | Notch | ||||
| Chegara istisnosi | 3 mm | ||||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤5mm/≤15mm/≤35 mkm/≤55 mkm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ mkm/≤55 □ mkm | |||
| Qo'pollik | Polsha Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Yuqori intensivlikdagi yorug'lik bilan chekka yoriqlari Yuqori intensivlikdagi yorug'lik bilan olti burchakli plitalar Yuqori intensivlikdagi yorug'lik yordamida politipli hududlar Vizual uglerod qo'shimchalari Yuqori intensivlikdagi yorug'lik bilan kremniy yuzasida tirnalishlar | Hech biri Kümülatif maydon ≤0,05% Hech biri Kümülatif maydon ≤0,05% Hech biri | Umumiy uzunlik ≤ 20 mm, bitta uzunlik ≤ 2 mm Kümülatif maydon ≤0.1% Kümülatif maydon ≤3% Kümülatif maydon ≤3% Kümülatif uzunlik ≤1 × gofret diametri | |||
| Yuqori intensivlikdagi yorug'lik bilan qirrali chiplar | Kengligi va chuqurligi ≥0,2 mm dan oshmasligi kerak | 7 ta ruxsat berilgan, har biri ≤1 mm | |||
| (TSD) Burama vintni chiqarish | ≤500 sm-2 | Yo'q | |||
| (BPD) Asosiy tekislikning dislokatsiyasi | ≤1000 sm-2 | Yo'q | |||
| Yuqori intensivlikdagi yorug'lik bilan kremniy yuzasining ifloslanishi | Hech biri | ||||
| Qadoqlash | Ko'p vafli kassetali yoki bitta vafli idish | ||||
| Izohlar: | |||||
| 1. Kamchiliklar chegaralari chekka chetidan tashqari butun plastinka yuzasiga qo'llaniladi. 2Tirnalishlar faqat Si yuzida tekshirilishi kerak. 3 Dislokatsiya ma'lumotlari faqat KOH bilan o'yilgan plastinkalardan olingan. | |||||
XKH 12 dyuymli katta o'lchamli, past nuqsonli va yuqori mustahkamlikdagi kremniy karbid substratlarini yaratishda katta yutuqlarga erishish uchun tadqiqot va ishlanmalarga investitsiyalarni davom ettiradi, XKH esa o'zining iste'molchi elektronikasi (masalan, AR/VR qurilmalari uchun quvvat modullari) va kvant hisoblash kabi rivojlanayotgan sohalarda qo'llanilishini o'rganadi. XKH xarajatlarni kamaytirish va quvvatni oshirish orqali yarimo'tkazgichlar sanoatiga farovonlik keltiradi.
Batafsil diagramma









