Monokristalli kremniy o'sish pechi monokristalli kremniy quyma o'sish tizimi uskunasining harorati 2100 ℃ gacha

Qisqacha tavsif:

Monokristalli kremniy o'stirish pechi yarimo'tkazgichlar va fotovoltaik sanoatida keng qo'llaniladigan yuqori tozalikdagi monokristalli kremniy tayoqchalarini ishlab chiqarish uchun asosiy uskunadir. Monokristalli kremniy integral mikrosxemalar, quyosh batareyalari va boshqa elektron qurilmalar ishlab chiqarishda asosiy materialdir. Monokristalli kremniy o'stirish pechlari polikristall xom ashyoni Czochralski (CZ) Czochralski yoki suzuvchi zona usuli (FZ) kabi usullardan foydalangan holda yuqori sifatli monokristalli kremniy tayoqchalariga aylantiradi.

Asosiy funksiya: Polisilikon xom ashyosini erigan holatga qizdirish, urug' kristallari orqali kristall o'sishini boshqarish va nazorat qilish, ma'lum bir kristall yo'nalishi va o'lchamiga ega monokristalli kremniy tayoqchalarini hosil qilish.

Asosiy komponentlar:
Isitish tizimi: Odatda grafit isitgichlar yoki yuqori chastotali induksion isitish yordamida yuqori haroratli muhitni ta'minlaydi.

Crucible: Odatda kvarts yoki grafitdan tayyorlangan eritilgan kremniyni ushlab turish uchun ishlatiladi.

Ko'tarish tizimi: kristallning bir tekis o'sishini ta'minlash uchun urug' kristalining aylanishini va ko'tarish tezligini boshqaradi.

Atmosferani boshqarish tizimi: Eritma argon kabi inert gazlar bilan ifloslanishdan himoyalangan.

Sovutish tizimi: Termal stressni kamaytirish uchun kristall sovutish tezligini boshqaring.


Xususiyatlari

Monokristalli kremniy o'sish pechining asosiy xususiyatlari

(1) Yuqori aniqlikdagi boshqaruv
Haroratni boshqarish: Eritmaning barqarorligini ta'minlash uchun isitish haroratini aniq boshqaring (kremniyning erish nuqtasi taxminan 1414 ° C).
Olib tashlash tezligini boshqarish: urug' kristalining ko'tarish tezligi aniq motor (odatda 0,5-2 mm/min) tomonidan boshqariladi, bu esa kristal diametri va sifatiga ta'sir qiladi.
Aylanish tezligini boshqarish: Kristallning bir tekis o'sishini ta'minlash uchun urug' va tigelning aylanish tezligini sozlang.

(2) yuqori sifatli kristall o'sishi
Kam nuqson zichligi: Jarayon parametrlarini optimallashtirish orqali past nuqsonli va yuqori tozalikka ega monokristalli kremniy tayoqchasini o'stirish mumkin.
Yirik kristallar: diametri 12 dyuym (300 mm) gacha bo'lgan monokristalli kremniy tayoqchalari yarimo'tkazgichlar sanoatining ehtiyojlarini qondirish uchun o'stirilishi mumkin.

(3) Samarali ishlab chiqarish
Avtomatlashtirilgan ishlash: Zamonaviy monokristalli kremniy o'stirish pechlari qo'lda aralashuvni kamaytirish va ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun avtomatlashtirilgan boshqaruv tizimlari bilan jihozlangan.
Energiya tejamkor dizayn: Energiya sarfini kamaytirish uchun samarali isitish va sovutish tizimlaridan foydalaning.

(4) Ko'p qirralilik
Turli jarayonlar uchun mos keladi: CZ usuli, FZ usuli va boshqa kristall o'sish texnologiyalarini qo'llab-quvvatlaydi.
Turli materiallar bilan mos keladi: Monokristalli kremniydan tashqari, u boshqa yarimo'tkazgich materiallarini (masalan, germaniy, galliy arsenidi) o'stirish uchun ham ishlatilishi mumkin.

Monokristalli kremniy o'sish pechining asosiy qo'llanmalari

(1) Yarimo'tkazgichlar sanoati
Integrallashgan elektron sxemalarni ishlab chiqarish: monokristalli kremniy protsessor, xotira va boshqa integral mikrosxemalarni ishlab chiqarish uchun asosiy materialdir.
Quvvat qurilmasi: MOSFET, IGBT va boshqa quvvat yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.

(2) Fotovoltaik sanoat
Quyosh batareyalari: monokristalli kremniy yuqori samarali quyosh batareyalarining asosiy materialidir va fotovoltaik energiya ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi.
Fotovoltaik modullar: Fotoelektrik konversiya samaradorligini oshirish uchun monokristalli kremniy fotovoltaik modullarini ishlab chiqarishda ishlatiladi.

(3) Ilmiy tadqiqotlar
Materiallarni tadqiq qilish: Monokristalli kremniyning fizik va kimyoviy xususiyatlarini o'rganish va yangi yarimo'tkazgich materiallarini ishlab chiqish uchun ishlatiladi.
Jarayonni optimallashtirish: Kristall o'sish jarayonini innovatsiya qilish va optimallashtirishni qo'llab-quvvatlash.

(4) Boshqa elektron qurilmalar
Sensorlar: Bosim sensorlari va harorat sensorlari kabi yuqori aniqlikdagi sensorlarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.
Optoelektron qurilmalar: lazerlar va fotodetektorlar ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.

XKH monokristalli kremniy o'stirish pechi uskunalari va xizmatlarini taqdim etadi

XKH quyidagi xizmatlarni taqdim etuvchi monokristalli kremniy o'stirish pechi uskunalarini ishlab chiqish va ishlab chiqarishga ixtisoslashgan:

Moslashtirilgan uskunalar: XKH turli xil kristall o'sish jarayonlarini qo'llab-quvvatlash uchun mijozlar talablariga muvofiq turli xil spetsifikatsiyalar va konfiguratsiyalarga ega monokristalli kremniy o'sish pechlarini taqdim etadi.

Texnik qo'llab-quvvatlash: XKH mijozlarga uskunalarni o'rnatish va jarayonlarni optimallashtirishdan tortib, kristall o'sishi bo'yicha texnik ko'rsatmalargacha bo'lgan to'liq jarayonni qo'llab-quvvatlaydi.

O'qitish xizmatlari: XKH uskunalarning samarali ishlashini ta'minlash uchun mijozlarga operatsion trening va texnik treninglarni taqdim etadi.

Sotishdan keyingi xizmat: XKH mijozlar ishlab chiqarishining uzluksizligini ta'minlash uchun tezkor javob berish va uskunalarga texnik xizmat ko'rsatishni ta'minlaydi.

Yangilash xizmatlari: XKH ishlab chiqarish samaradorligi va kristall sifatini yaxshilash uchun mijozlar talablariga muvofiq uskunalarni yangilash va o'zgartirish xizmatlarini taqdim etadi.

Monokristalli kremniy o'stirish pechlari yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoatining asosiy uskunalari bo'lib, yuqori aniqlikdagi boshqaruv, yuqori sifatli kristall o'stirish va samarali ishlab chiqarishni o'z ichiga oladi. U integral mikrosxemalar, quyosh batareyalari, ilmiy tadqiqotlar va elektron qurilmalar sohalarida keng qo'llaniladi. XKH mijozlarga yuqori sifatli monokristalli kremniy tayoqchalarini ishlab chiqarishga erishishda yordam berish va tegishli sohalarni rivojlantirishga yordam berish uchun ilg'or monokristalli kremniy o'stirish pechlari uskunalarini va to'liq xizmatlarni taqdim etadi.

Batafsil diagramma

Silikon o'sish pechi 4
Silikon o'sish pechi 5
Silikon o'sish pechi 6

  • Oldingi:
  • Keyingisi:

  • Xabaringizni shu yerga yozing va bizga yuboring