Sarlavha: Chip ishlab chiqarishda FOUP nima?

Mundarija

1. FOUPning umumiy ko'rinishi va asosiy funktsiyalari

2. FOUP ning tuzilishi va dizayn xususiyatlari

3. FOUPni tasniflash va qo'llash bo'yicha ko'rsatmalar

4.Yarim o'tkazgichlar ishlab chiqarishda FOUP operatsiyalari va ahamiyati

5. Texnik muammolar va kelajakdagi rivojlanish tendentsiyalari

6.XKH ning moslashtirilgan yechimlari va xizmat ko'rsatishni qo'llab-quvvatlash

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida, Front Opening Unified Pod (FOUP) gofretlarni himoya qilish, tashish va saqlash uchun ishlatiladigan muhim konteynerdir. Uning ichki qismiga 25 dona 300 mm gofret joylashtirilishi mumkin va uning asosiy komponentlariga old tomondan ochiladigan idish va ochish va yopish uchun maxsus eshik ramkasi kiradi. FOUP 12 dyuymli gofret fablari ichida avtomatlashtirilgan transport tizimining asosiy tashuvchisidir. U odatda yopiq holatda tashiladi va faqat uskunani yuklash portiga surilganda ochiladi, bu esa gofretlarni uskunaning yuklash/tushirish portiga o'tkazish imkonini beradi.

FOUP dizayni mikro-muhit talablariga moslashtirilgan. Uning orqa tomonida gofret qo'yish uchun teshiklar mavjud va qopqoq ochgichning qisqichiga mos kelish uchun maxsus mo'ljallangan. Gofret bilan ishlaydigan robotlar 1-sinf toza havo muhitida ishlaydi, bu esa gofretlarni uzatish paytida ifloslanmasligini ta'minlaydi. Bundan tashqari, FOUP avtomatlashtirilgan materiallarga ishlov berish tizimi (AMHS) orqali texnologik asboblar o'rtasida o'tkaziladi. Zamonaviy gofret ishlab chiqaruvchilari asosan yuk tashish uchun temir yo'l tizimlaridan foydalanadilar, ba'zi eski fabrikalarda esa yerga asoslangan avtomatlashtirilgan boshqariladigan transport vositalaridan (AGV) foydalanish mumkin.

FOUP nafaqat avtomatlashtirilgan gofret uzatishni ta'minlaydi, balki saqlash funktsiyasini ham bajaradi. Ko'p sonli ishlab chiqarish bosqichlari tufayli gofretlar butun jarayon oqimini yakunlash uchun bir necha oy vaqt olishi mumkin. Oylik ishlab chiqarishning yuqori hajmlari bilan birgalikda, bu fabrika ichidagi o'n minglab gofretlar doimiy ravishda tranzitda yoki istalgan vaqtda vaqtinchalik saqlashda bo'lishini anglatadi. Saqlash vaqtida FOUPlar vaqti-vaqti bilan azot bilan tozalanadi va ifloslantiruvchi moddalar gofretlarga tegmasligi uchun toza va ishonchli ishlab chiqarish jarayonini ta'minlaydi.

1. FOUPning vazifalari va ahamiyati

FOUP ning asosiy vazifasi gofretlarni tashqi zarba va ifloslanishdan himoya qilish, ayniqsa ko'chirish paytida hosilga ta'sir qilishdan qochishdir. Bu gazni tozalash va mahalliy atmosferani boshqarish (LAC) kabi usullar orqali namlikni samarali ravishda oldini oladi va keyingi ishlab chiqarish bosqichini kutayotganda gofretlarning xavfsiz holatda qolishini ta'minlaydi. Uning muhrlangan va boshqariladigan tizimi faqat kerakli birikmalar va elementlarning kirishiga imkon beradi, bu esa VOCs, kislorod va namlikning gofretlarga salbiy ta'sirini sezilarli darajada kamaytiradi.

25 ta gofret bilan to'liq yuklangan FOUPning og'irligi 9 kilogrammgacha bo'lishi mumkinligi sababli, uni tashish Avtomatlashtirilgan materiallarga ishlov berish tizimiga (AMHS) tayanishi kerak. Buni osonlashtirish uchun FOUP turli xil birikma plitalari, pinlar va teshiklar bilan ishlab chiqilgan va oson aniqlash va tasniflash uchun RFID elektron teglar bilan jihozlangan. Ushbu avtomatlashtirilgan ishlov berish deyarli qo'lda ishlashni talab qilmaydi, bu xatolik darajasini sezilarli darajada kamaytiradi va ishlab chiqarish jarayonining xavfsizligi va aniqligini oshiradi.

2. FOUP ning tuzilishi va tasnifi

FOUPning odatiy o'lchamlari taxminan 420 mm kengligida, 335 mm chuqurlikda va 335 mm balandlikda. Uning asosiy tarkibiy qismlariga quyidagilar kiradi: yuk ko'targichni tashish uchun yuqori OHT (qo'ziqorin boshi); uskuna gofretga kirish uchun old eshik; yon Tutqichlar, ko'pincha turli xil ifloslanish darajasiga ega bo'lgan texnologik maydonlarni ajratish uchun rang bilan belgilanadi; xabar kartalarini joylashtirish uchun karta maydoni; va FOUP uchun noyob identifikator bo'lib xizmat qiluvchi pastki RFID yorlig'i, asboblar va yuk ko'taruvchilar uni tanib olish imkonini beradi. Baza shuningdek, asboblar bilan moslashish va jarayon maydonlarini ajratish uchun to'rtta identifikatsiya va joylashishni aniqlash teshiklari bilan jihozlangan.

Foydalanishga ko'ra, FOUPlar uch turga bo'linadi: PRD (ishlab chiqarish uchun), ENG (muhandislik gofretlari uchun) va MON (monitör gofretlari uchun). PRD FOUPlar mahsulot ishlab chiqarish uchun ishlatilishi mumkin, ENG turlari R&D yoki tajribalar uchun mos keladi va MON turlari CMP va DIFF kabi bosqichlar uchun jarayon monitoringiga bag'ishlangan. Shuni ta'kidlash kerakki, PRD FOUPlar ham ENG, ham MON maqsadlarida, ENG turlari esa MON uchun ishlatilishi mumkin, ammo teskari operatsiya sifat xavflarini keltirib chiqaradi.

Kontaminatsiya darajasi bo'yicha tasniflangan FOUPlarni FE FOUP (oldingi jarayon, metallsiz), BE FOUP (orqa tomonda metall mavjud) va NI FOUP, CU FOUP va CO FOUP kabi maxsus metall jarayonlariga ixtisoslashganlarga bo'lish mumkin. Turli jarayonlar uchun FOUPlar odatda yon tutqichlar yoki eshik panellarining rangi bilan ajralib turadi. Front-end jarayonlaridagi FOUP-lar orqa-end jarayonlarda ishlatilishi mumkin, ammo orqa-end FOUP-lar hech qachon front-end jarayonlarida ishlatilmasligi kerak, chunki bu ifloslanish xavfini keltirib chiqarishi mumkin.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda asosiy tashuvchi sifatida FOUP yuqori avtomatlashtirish va ifloslanishni qat'iy nazorat qilish orqali ishlab chiqarish jarayonida gofretlarning xavfsizligi va tozaligini ta'minlaydi va uni zamonaviy gofret fabrikalarida ajralmas infratuzilmaga aylantiradi.

Xulosa

XKH mijozlarga yuqori darajada moslashtirilgan Front-Opening Unified Pod (FOUP) yechimlarini taqdim etishga sodiqdir, bunda sizning maxsus texnologik talablaringizga va uskuna interfeysi spetsifikatsiyalariga qat'iy rioya qiladi. Ilg'or material texnologiyasi va nozik ishlab chiqarish jarayonlaridan foydalangan holda, biz har bir FOUP mahsuloti ajoyib havo o'tkazmasligi, tozaligi va mexanik barqarorligini ta'minlashini ta'minlaymiz. Bizning texnik guruhimiz chuqur sanoat tajribasiga ega bo'lib, FOUP va materiallarga ishlov berishning avtomatlashtirilgan tizimi (AMHS) hamda qayta ishlash uskunalari o'rtasida uzluksiz integratsiya va samarali hamkorlikni ta'minlaydigan, tanlash bo'yicha maslahat va tizimli optimallashtirishdan tozalash va texnik xizmat ko'rsatishgacha bo'lgan har tomonlama qo'llab-quvvatlashni taklif qiladi. Biz doimiy ravishda gofret xavfsizligini va ishlab chiqarish rentabelligini oshirishni asosiy maqsadlarimiz sifatida birinchi o'ringa qo'yamiz. Innovatsion mahsulotlar va har tomonlama texnik xizmatlar orqali biz yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlari uchun mustahkam kafolatni taqdim etamiz, natijada ishlab chiqarish samaradorligi va mahsulot rentabelligini oshiramiz.