SiC sapfir Si GAAs gofret uchun silikon karbidli keramik chuck
Batafsil diagramma
Silikon karbid (SiC) keramik chuckga umumiy nuqtai nazar
TheSilikon karbidli keramik chuckyarimo'tkazgichlarni tekshirish, plastinka ishlab chiqarish va bog'lash uchun mo'ljallangan yuqori samarali platformadir. Ilg'or keramik materiallardan, jumladan,sinterlangan SiC (SSiC), reaksiya bilan bog'langan SiC (RSiC), kremniy nitridivaalyuminiy nitridi— taklif qiladiyuqori qattiqlik, past issiqlik kengayishi, mukammal aşınma qarshilik va uzoq xizmat muddati.
Aniq muhandislik va eng zamonaviy abrazivlash bilan patron natija beradisubmikronli tekislik, oyna sifatidagi sirtlar va uzoq muddatli o'lchovli barqarorlik, bu uni muhim yarimo'tkazgich jarayonlari uchun ideal yechimga aylantiradi.
Asosiy afzalliklar
-
Yuqori aniqlik
Tekislik ichida boshqariladi0,3–0,5 mkm, plastinka barqarorligini va jarayonning izchil aniqligini ta'minlash. -
Ko'zgularni sayqallash
YutuqlarRa 0,02 mkmsirt pürüzlülüğü, gofret tirnalishlari va ifloslanishni minimallashtirish - juda toza muhit uchun juda mos keladi. -
Ultra yengil
Kvarts yoki metall substratlarga qaraganda kuchliroq, ammo yengilroq, bu harakatni boshqarish, sezgirlik va joylashishni aniqlash aniqligini yaxshilaydi. -
Yuqori qattiqlik
Istisno Young moduli og'ir yuk ostida o'lchovli barqarorlikni va yuqori tezlikda ishlashni ta'minlaydi. -
Past issiqlik kengayishi
CTE kremniy plitalariga juda mos keladi, bu esa termal stressni kamaytiradi va jarayonning ishonchliligini oshiradi. -
Ajoyib aşınma qarshiligi
Haddan tashqari qattiqlik uzoq muddatli, yuqori chastotali foydalanishda ham tekislik va aniqlikni saqlaydi.
Ishlab chiqarish jarayoni
-
Xom ashyo tayyorlash
Nazorat ostidagi zarrachalar hajmi va juda past aralashmalarga ega yuqori tozalikdagi SiC kukunlari. -
Formalash va sinterlash
Kabi texnikalarBosimsiz sinterlash (SSiC) or reaksiya bog'lanishi (RSiC)zich, bir xil keramik substratlar hosil qiladi. -
Aniq ishlov berish
CNC silliqlash, lazer bilan kesish va o'ta aniq ishlov berish ±0,01 mm bardoshlik va ≤3 μm parallellikka erishadi. -
Yuzaki ishlov berish
Ra 0.02 μm gacha ko'p bosqichli silliqlash va abrazivlash; korroziyaga chidamlilik yoki moslashtirilgan ishqalanish xususiyatlari uchun ixtiyoriy qoplamalar mavjud. -
Tekshirish va sifat nazorati
Interferometrlar va pürüzlülük sinov qurilmalari yarimo'tkazgich darajasidagi texnik xususiyatlarga muvofiqligini tekshiradi.
Texnik xususiyatlar
| Parametr | Qiymat | Birlik |
|---|---|---|
| Tekislik | ≤0.5 | mkm |
| Gofret o'lchamlari | 6'', 8'', 12'' (buyurtma asosida mavjud) | — |
| Sirt turi | Pin turi / Uzuk turi | — |
| Pin balandligi | 0,05–0,2 | mm |
| Minimal igna diametri | ϕ0.2 | mm |
| Minimal pin oralig'i | 3 | mm |
| Minimal muhr halqasining kengligi | 0.7 | mm |
| Sirt pürüzlülüğü | Ra 0.02 | mkm |
| Qalinlik bardoshliligi | ±0.01 | mm |
| Diametrga bardoshlik | ±0.01 | mm |
| Parallelizmga bardoshlilik | ≤3 | mkm |
Asosiy ilovalar
-
Yarimo'tkazgichli plastinkalarni tekshirish uskunalari
-
Plitalar ishlab chiqarish va uzatish tizimlari
-
Gofret yopishtirish va qadoqlash vositalari
-
Ilg'or optoelektronik qurilmalar ishlab chiqarish
-
Ultra tekis, ultra toza sirtlarni talab qiladigan aniq asboblar
Savol-javob – Silikon karbidli keramik patron
1-savol: SiC keramik patronlari kvarts yoki metall patronlar bilan qanday taqqoslanadi?
A1: SiC patronlari yengilroq, qattiqroq va kremniy plastinkalariga yaqin CTE ga ega, bu esa termal deformatsiyani minimallashtiradi. Ular, shuningdek, yuqori aşınma qarshiligi va uzoqroq xizmat muddatini ta'minlaydi.
2-savol: Qanday tekislikka erishish mumkin?
A2: Ichkarida boshqariladi0,3–0,5 mkm, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning qat'iy talablariga javob beradi.
3-savol: Sirt gofretlarni tirnaydimi?
A3: Yo'q — oyna bilan jilolanganRa 0,02 mkm, tirnalishsiz ishlov berishni va zarrachalar hosil bo'lishini kamaytirishni ta'minlaydi.
4-savol: Qanday gofret o'lchamlari qo'llab-quvvatlanadi?
A4: Standart o'lchamlar6 '', 8 '' va 12 '', moslashtirish imkoniyati bilan.
5-savol: Termal qarshilik qanday?
A5: SiC keramikasi termal sikl ostida minimal deformatsiya bilan ajoyib yuqori haroratli ishlashni ta'minlaydi.
Biz haqimizda
XKH maxsus optik shisha va yangi kristall materiallarni yuqori texnologiyali ishlab chiqish, ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan. Mahsulotlarimiz optik elektronika, maishiy elektronika va harbiy sohalarga xizmat ko'rsatadi. Biz Sapphire optik komponentlari, mobil telefon linzalari qopqoqlari, keramika, LT, kremniy karbid SIC, kvarts va yarimo'tkazgichli kristall plitalarini taklif etamiz. Malakali tajriba va zamonaviy uskunalar bilan biz nostandart mahsulotlarni qayta ishlashda muvaffaqiyatga erishamiz va yetakchi optoelektron materiallar yuqori texnologiyali korxona bo'lishga intilamiz.
