3 dyuymli yuqori toza (qo'shimchasiz) kremniy karbid gofretlari yarim izolyatsiya qiluvchi Sic substratlar (HPSl)
Xususiyatlari
1. Jismoniy va strukturaviy xossalari
●Material turi: Yuqori toza (qo‘shilmagan) kremniy karbid (SiC)
●Diametri: 3 dyuym (76,2 mm)
●Qalinligi: 0,33-0,5 mm, dastur talablari asosida sozlanishi.
●Kristal tuzilmasi: 4H-SiC politipi olti burchakli panjarali, yuqori elektron harakatchanligi va termal barqarorligi bilan mashhur.
●Orientatsiya:
oStandart: [0001] (C-tekisligi), keng doiradagi ilovalar uchun mos.
oIxtiyoriy: Qurilma qatlamlarining epitaksial o'sishini kuchaytirish uchun o'qdan tashqari (4° yoki 8° egilish).
●Teklik: Qalinligining umumiy o‘zgarishi (TTV) ●Yuzat sifati:
o Kam nuqsonli zichlikka (<10/sm² mikroquvur zichligi) silliqlangan. 2. Elektr xususiyatlari ● Qarshilik: >109^99 Ō·sm, qasddan qo'shimcha moddalarni yo'q qilish orqali saqlanadi.
●Dielektrik quvvat: minimal dielektrik yo'qotishlarga ega bo'lgan yuqori kuchlanishli chidamlilik, yuqori quvvatli ilovalar uchun ideal.
●Issiqlik o'tkazuvchanligi: 3,5-4,9 Vt/sm·K, yuqori samarali qurilmalarda samarali issiqlik tarqalishini ta'minlaydi.
3. Issiqlik va mexanik xususiyatlar
● Keng tarmoqli oralig'i: 3,26 eV, yuqori kuchlanish, yuqori harorat va yuqori radiatsiya sharoitida ishlashni qo'llab-quvvatlaydi.
●Qattiqlik: Mohs shkalasi 9, ishlov berish jarayonida mexanik aşınmaya qarshi mustahkamlikni ta'minlaydi.
●Issiqlik kengayish koeffitsienti: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, harorat oʻzgarishida oʻlchov barqarorligini taʼminlaydi.
Parametr | Ishlab chiqarish darajasi | Tadqiqot darajasi | Soxta daraja | Birlik |
Baho | Ishlab chiqarish darajasi | Tadqiqot darajasi | Soxta daraja | |
Diametri | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Qalinligi | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | mkm |
Gofret yo'nalishi | O'q bo'yicha: <0001> ± 0,5° | O'q bo'yicha: <0001> ± 2,0° | O'q bo'yicha: <0001> ± 2,0° | daraja |
Mikroquvur zichligi (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | sm−2^-2−2 |
Elektr qarshiligi | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ō·sm |
Dopant | Dorisiz | Dorisiz | Dorisiz | |
Birlamchi yassi orientatsiya | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | daraja |
Birlamchi tekis uzunlik | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Ikkilamchi tekis uzunlik | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Ikkilamchi yassi orientatsiya | Birlamchi kvartiradan 90 ° CW ± 5,0 ° | Birlamchi kvartiradan 90 ° CW ± 5,0 ° | Birlamchi kvartiradan 90 ° CW ± 5,0 ° | daraja |
Chetni istisno qilish | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Kamon/Burp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15 / ±40/45 | mkm |
Sirt pürüzlülüğü | Si-yuz: CMP, C-yuz: sayqallangan | Si-yuz: CMP, C-yuz: sayqallangan | Si-yuz: CMP, C-yuz: sayqallangan | |
Yoriqlar (yuqori zichlikdagi yorug'lik) | Yo'q | Yo'q | Yo'q | |
Olti burchakli plitalar (yuqori zichlikdagi yorug'lik) | Yo'q | Yo'q | Kümülatif maydon 10% | % |
Politipli hududlar (yuqori zichlikdagi yorug'lik) | Kümülatif maydon 5% | Umumiy maydoni 20% | Umumiy maydoni 30% | % |
Chizishlar (yuqori zichlikdagi yorug'lik) | ≤ 5 tirnalgan, umumiy uzunligi ≤ 150 | ≤ 10 tirnalgan, umumiy uzunligi ≤ 200 | ≤ 10 tirnalgan, umumiy uzunligi ≤ 200 | mm |
Edge chipping | Yo'q ≥ 0,5 mm kengligi/chuqurligi | 2 ruxsat etilgan ≤ 1 mm kengligi/chuqurligi | 5 ruxsat etilgan ≤ 5 mm kengligi/chuqurligi | mm |
Yuzaki ifloslanish | Yo'q | Yo'q | Yo'q |
Ilovalar
1. Quvvat elektronikasi
HPSI SiC substratlarining keng tarmoqli oralig'i va yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi ularni ekstremal sharoitlarda ishlaydigan quvvat qurilmalari uchun ideal qiladi, masalan:
●Yuqori kuchlanishli qurilmalar: MOSFET, IGBT va Schottky to'siq diodlari (SBD) quvvatni samarali o'zgartirish uchun.
●Qayta tiklanadigan energiya tizimlari: Quyosh invertorlari va shamol turbinasi boshqaruvchilari kabi.
●Elektr transport vositalari (EV): samaradorlikni oshirish va hajmini kamaytirish uchun invertorlar, zaryadlovchilar va quvvat uzatish tizimlarida foydalaniladi.
2. RF va mikroto'lqinli ilovalar
HPSI gofretlarining yuqori qarshiligi va past dielektrik yo'qotishlari radiochastota (RF) va mikroto'lqinli tizimlar uchun juda muhim, jumladan:
●Telekommunikatsiya infratuzilmasi: 5G tarmoqlari va sun'iy yo'ldosh aloqalari uchun baza stansiyalari.
●Aerokosmik va mudofaa: radar tizimlari, fazali qatorli antennalar va avionika komponentlari.
3. Optoelektronika
4H-SiC ning shaffofligi va keng tarmoqli oralig'i uni optoelektronik qurilmalarda qo'llash imkonini beradi, masalan:
●UV fotodetektorlari: Atrof-muhit monitoringi va tibbiy diagnostika uchun.
●Yuqori quvvatli LEDlar: qattiq holatda yoritish tizimlarini qo'llab-quvvatlash.
●Lazerli diodlar: Sanoat va tibbiy ilovalar uchun.
4. Tadqiqot va ishlanmalar
HPSI SiC substratlari ilg'or materiallar xususiyatlarini va qurilmalarni ishlab chiqarishni o'rganish uchun akademik va sanoat ilmiy-tadqiqot laboratoriyalarida keng qo'llaniladi, jumladan:
●Epitaksial qatlam o'sishi: nuqsonlarni kamaytirish va qatlamni optimallashtirish bo'yicha tadqiqotlar.
●Tashuvchining harakatchanligini o'rganish: yuqori toza materiallarda elektron va teshiklarni tashishni o'rganish.
●Prototiplash: Yangi qurilmalar va sxemalarni dastlabki ishlab chiqish.
Afzalliklar
Yuqori sifat:
Yuqori tozalik va past nuqson zichligi ilg'or ilovalar uchun ishonchli platformani ta'minlaydi.
Termal barqarorlik:
Zo'r issiqlik tarqalish xususiyatlari qurilmalarning yuqori quvvat va harorat sharoitida samarali ishlashiga imkon beradi.
Keng muvofiqlik:
Mavjud yo'nalishlar va moslashtirilgan qalinlik variantlari turli xil qurilmalar talablariga moslashishni ta'minlaydi.
Chidamlilik:
Ajoyib qattiqlik va strukturaviy barqarorlik ishlov berish va ishlatish jarayonida aşınma va deformatsiyani minimallashtiradi.
Ko'p qirralilik:
Qayta tiklanadigan energiyadan tortib aerokosmik va telekommunikatsiyalargacha bo'lgan keng doiradagi sanoat uchun javob beradi.
Xulosa
3 dyuymli yuqori toza yarim izolyatsiyalovchi silikon karbid gofreti yuqori quvvatli, yuqori chastotali va optoelektronik qurilmalar uchun substrat texnologiyasining eng yuqori cho'qqisini ifodalaydi. Uning mukammal termal, elektr va mexanik xususiyatlarining kombinatsiyasi qiyin muhitda ishonchli ishlashni ta'minlaydi. Energiya elektronikasi va RF tizimlaridan optoelektronika va ilg'or ilmiy-tadqiqot ishlariga qadar, ushbu HPSI substratlari ertangi innovatsiyalar uchun asos bo'lib xizmat qiladi.
Qo'shimcha ma'lumot olish yoki buyurtma berish uchun biz bilan bog'laning. Bizning texnik guruhimiz sizning ehtiyojlaringizga moslashtirilgan yo'l-yo'riq va sozlash variantlarini taqdim etishga tayyor.