3 dyuymli yuqori tozalikdagi (qo'shilmagan) kremniy karbidli plastinkalar yarim izolyatsiyalovchi silikon substratlar (HPSl)
Mulklar
1. Fizik va strukturaviy xususiyatlar
● Material turi: Yuqori tozalik (qo'shilmagan) kremniy karbid (SiC)
● Diametri: 3 dyuym (76,2 mm)
● Qalinligi: 0,33-0,5 mm, qo'llash talablariga qarab sozlanishi mumkin.
●Kristall tuzilishi: Olti burchakli panjarali 4H-SiC politipi, yuqori elektron harakatchanligi va termal barqarorligi bilan mashhur.
●Yo'nalish:
oStandart: [0001] (C-tekislik), keng ko'lamli dasturlar uchun mos.
oIxtiyoriy: Qurilma qatlamlarining epitaksial o'sishini kuchaytirish uchun o'qdan tashqarida (4° yoki 8° qiyalik).
● Tekislik: Umumiy qalinlik o'zgarishi (TTV) ● Sirt sifati:
oPast nuqsonli zichlikka (<10/sm² mikroquvur zichligi) qadar sayqallangan. 2. Elektr xususiyatlari ●Qarshilik: >109^99 Ω·sm, qasddan qo'shilgan qo'shimchalarni yo'q qilish orqali saqlanadi.
●Dielektrik mustahkamlik: Yuqori kuchlanishga chidamlilik, minimal dielektrik yo'qotishlar bilan, yuqori quvvatli dasturlar uchun ideal.
● Issiqlik o'tkazuvchanligi: 3,5-4,9 Vt/sm·K, bu yuqori samarali qurilmalarda samarali issiqlik tarqalishini ta'minlaydi.
3. Issiqlik va mexanik xususiyatlar
● Keng o'tkazuvchanlik diapazoni: 3.26 eV, yuqori kuchlanish, yuqori harorat va yuqori nurlanish sharoitida ishlashni qo'llab-quvvatlaydi.
●Qattiqlik: Mohs shkalasi 9, ishlov berish paytida mexanik aşınmaya qarshi mustahkamlikni ta'minlaydi.
● Issiqlik kengayish koeffitsienti: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, bu harorat o'zgarishi ostida o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi.
| Parametr | Ishlab chiqarish darajasi | Tadqiqot darajasi | Soxta daraja | Birlik |
| Baho | Ishlab chiqarish darajasi | Tadqiqot darajasi | Soxta daraja | |
| Diametri | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
| Qalinligi | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Gofret yo'nalishi | O'q bo'ylab: <0001> ± 0,5° | O'qda: <0001> ± 2.0° | O'qda: <0001> ± 2.0° | daraja |
| Mikro quvur zichligi (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | sm−2^-2−2 |
| Elektr qarshiligi | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·sm |
| Qo'shimcha | Qo'shilmagan | Qo'shilmagan | Qo'shilmagan | |
| Birlamchi tekislik yo'nalishi | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | daraja |
| Birlamchi tekis uzunlik | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
| Ikkilamchi tekis uzunlik | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Ikkilamchi tekislik yo'nalishi | Birlamchi tekislikdan 90° CW ± 5.0° | Birlamchi tekislikdan 90° CW ± 5.0° | Birlamchi tekislikdan 90° CW ± 5.0° | daraja |
| Chegara istisnosi | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Bow/Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5/15 / ±40 / 45 | µm |
| Sirt pürüzlülüğü | Si-yuz: CMP, C-yuz: Jilolangan | Si-yuz: CMP, C-yuz: Jilolangan | Si-yuz: CMP, C-yuz: Jilolangan | |
| Yoriqlar (Yuqori intensivlikdagi yorug'lik) | Hech biri | Hech biri | Hech biri | |
| Olti burchakli plitalar (Yuqori intensivlikdagi yorug'lik) | Hech biri | Hech biri | Kümülatif maydon 10% | % |
| Politipli hududlar (Yuqori intensivlikdagi yorug'lik) | Kümülatif maydon 5% | Umumiy maydon 20% | Umumiy maydon 30% | % |
| Chiziqlar (Yuqori intensivlikdagi yorug'lik) | ≤ 5 ta tirnalish, umumiy uzunlik ≤ 150 | ≤ 10 ta tirnalish, umumiy uzunlik ≤ 200 | ≤ 10 ta tirnalish, umumiy uzunlik ≤ 200 | mm |
| Qirralarni qirqish | Yo'q ≥ 0,5 mm kenglik/chuqurlik | 2 ta ruxsat berilgan ≤ 1 mm kenglik/chuqurlik | 5 ga ruxsat berilgan ≤ 5 mm kenglik/chuqurlik | mm |
| Yuzaki ifloslanish | Hech biri | Hech biri | Hech biri |
Ilovalar
1. Quvvatli elektronika
HPSI SiC substratlarining keng tarmoqli oralig'i va yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi ularni quyidagi kabi ekstremal sharoitlarda ishlaydigan quvvat qurilmalari uchun ideal qiladi:
●Yuqori kuchlanishli qurilmalar: Samarali quvvatni o'zgartirish uchun MOSFETlar, IGBTlar va Schottky to'siq diodlari (SBD) ni o'z ichiga oladi.
● Qayta tiklanadigan energiya tizimlari: masalan, quyosh invertorlari va shamol turbinalari kontrollerlari.
●Elektr transport vositalari (EV): Samaradorlikni oshirish va o'lchamlarni kamaytirish uchun invertorlarda, zaryadlovchi qurilmalarda va quvvat uzatish tizimlarida qo'llaniladi.
2. RF va mikroto'lqinli dasturlar
HPSI plastinkalarining yuqori qarshiligi va past dielektrik yo'qotishlari radiochastotali (RF) va mikroto'lqinli tizimlar uchun juda muhimdir, jumladan:
●Telekommunikatsiya infratuzilmasi: 5G tarmoqlari va sun'iy yo'ldosh aloqasi uchun baza stansiyalari.
●Aerokosmik va mudofaa: Radar tizimlari, fazali antennalar va avionika komponentlari.
3. Optoelektronika
4H-SiC ning shaffofligi va keng o'tkazuvchanlik diapazoni uni optoelektron qurilmalarda, masalan:
●UV fotodetektorlari: Atrof-muhit monitoringi va tibbiy diagnostika uchun.
●Yuqori quvvatli LEDlar: Qattiq holatdagi yoritish tizimlarini qo'llab-quvvatlaydi.
●Lazer diodlari: Sanoat va tibbiy maqsadlarda qo'llaniladi.
4. Tadqiqot va ishlanmalar
HPSI SiC substratlari akademik va sanoat ilmiy-tadqiqot laboratoriyalarida ilg'or material xususiyatlarini va qurilmalarni ishlab chiqarishni o'rganish uchun keng qo'llaniladi, jumladan:
●Epitaksial qatlam o'sishi: nuqsonlarni kamaytirish va qatlamlarni optimallashtirish bo'yicha tadqiqotlar.
● Tashuvchining harakatchanligini o'rganish: Yuqori tozalikdagi materiallarda elektron va teshiklarning tashishini o'rganish.
●Prototiplash: Yangi qurilmalar va sxemalarning dastlabki ishlab chiqilishi.
Afzalliklari
Yuqori sifat:
Yuqori soflik va past nuqson zichligi ilg'or ilovalar uchun ishonchli platformani ta'minlaydi.
Termal barqarorlik:
Ajoyib issiqlik tarqalish xususiyatlari qurilmalarga yuqori quvvat va harorat sharoitida samarali ishlash imkonini beradi.
Keng muvofiqlik:
Mavjud yo'nalishlar va maxsus qalinlik variantlari turli xil qurilma talablariga moslashishni ta'minlaydi.
Chidamlilik:
Istisno qattiqlik va strukturaviy barqarorlik ishlov berish va ishlatish paytida aşınma va deformatsiyani minimallashtiradi.
Ko'p qirralilik:
Qayta tiklanadigan energiyadan tortib, aerokosmik va telekommunikatsiyagacha bo'lgan turli sohalar uchun mos keladi.
Xulosa
3 dyuymli yuqori tozalikdagi yarim izolyatsiyalovchi kremniy karbid plastinkasi yuqori quvvatli, yuqori chastotali va optoelektron qurilmalar uchun substrat texnologiyasining cho'qqisini ifodalaydi. Uning ajoyib issiqlik, elektr va mexanik xususiyatlarining kombinatsiyasi qiyin muhitlarda ishonchli ishlashni ta'minlaydi. Quvvat elektronikasi va RF tizimlaridan tortib optoelektronika va ilg'or ilmiy-tadqiqot ishlarigacha, ushbu HPSI substratlari ertangi kun innovatsiyalari uchun poydevor yaratadi.
Qo'shimcha ma'lumot olish yoki buyurtma berish uchun biz bilan bog'laning. Bizning texnik guruhimiz sizning ehtiyojlaringizga moslashtirilgan ko'rsatmalar va sozlash imkoniyatlarini taqdim etishga tayyor.
Batafsil diagramma















