MOS yoki SBD ishlab chiqarish tadqiqotlari va qo'g'irchoq darajasi uchun 6 dyuymli 150 mm silikon karbidli SiC vafli 4H-N turi
Qo'llash maydonlari
6 dyuymli kremniy karbidli monokristalli substrat ko'plab sohalarda muhim rol o'ynaydi. Birinchidan, u yarimo'tkazgichlar sanoatida quvvat tranzistorlari, integral mikrosxemalar va quvvat modullari kabi yuqori quvvatli elektron qurilmalarni ishlab chiqarish uchun keng qo'llaniladi. Uning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va yuqori haroratga chidamliligi issiqlikni yaxshiroq tarqatish imkonini beradi, natijada samaradorlik va ishonchlilik oshadi. Ikkinchidan, kremniy karbidli plastinkalar yangi materiallar va qurilmalarni ishlab chiqish uchun tadqiqot sohalarida juda muhimdir. Bundan tashqari, kremniy karbidli plastinka optoelektronika sohasida, jumladan, LED va lazer diodlarini ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi.
Mahsulot xususiyatlari
6 dyuymli kremniy karbidli monokristalli substratning diametri 6 dyuym (taxminan 152,4 mm). Sirt pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm va qalinligi 600 ± 25 mkm. Substrat mijozlar talablariga asoslanib, N-turdagi yoki P-turdagi o'tkazuvchanlik bilan sozlanishi mumkin. Bundan tashqari, u bosim va tebranishga bardosh bera oladigan ajoyib mexanik barqarorlikni namoyish etadi.
| Diametri | 150±2.0mm（6 dyuym） | ||||
| Qalinligi | 350 μm±25 μm | ||||
| Yo'nalish | O'q bo'ylab: <0001>±0.5° | O'qdan tashqarida: 1120±0.5° ga qarab 4.0° | |||
| Politip | 4H | ||||
| Qarshilik (Ω·sm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ō·sm/0,015~0,025ohm·sm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Birlamchi tekis yo'nalish | {10-10}±5.0° | ||||
| Birlamchi tekis uzunlik (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Chegara | Paxta | ||||
| TTV/Bow /Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM old qismi (Si-face) | Polsha Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Apelsin po'stlog'i/chuqurchalar/yoriqlar/ifloslanish/dog'lar/chiziqlar | Hech biri | Hech biri | Hech biri | ||
| chuqurchalar | Hech biri | Hech biri | Hech biri | ||
6 dyuymli kremniy karbidli monokristalli substrat yarimo'tkazgichlar, tadqiqot, optoelektronika va boshqa sohalarda keng qo'llaniladigan yuqori samarali materialdir. U ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi, mexanik barqarorlik va yuqori haroratga chidamlilikni ta'minlaydi, bu esa uni yuqori quvvatli elektron qurilmalarni ishlab chiqarish va yangi materiallarni tadqiq qilish uchun moslashtiradi. Biz mijozlarning turli talablarini qondirish uchun turli xil texnik xususiyatlar va sozlash imkoniyatlarini taqdim etamiz.Silikon karbidli gofretlar haqida batafsil ma'lumot olish uchun biz bilan bog'laning!
Batafsil diagramma
