LT Lithium Tantalate (LiTaO3) Crystal 2inch/3inch/4inch/6inch Orientaiton Y-42°/36°/108° Qalinligi 250-500um
Texnik parametrlar
| Ism | Optik darajadagi LiTaO3 | LiTaO3 ovoz balandligi jadvali |
| Eksenel | Z kesimi + / - 0,2 ° | 36 ° Y kesilgan / 42 ° Y kesilgan / X kesilgan(+ / - 0,2 °) |
| Diametri | 76.2 mm + / - 0.3 mm/100±0.2 mm | 76.2 mm + /-0.3 mm100 mm + /-0.3 mm 0r 150±0.5 mm |
| Ma'lumotlar tekisligi | 22 mm + / - 2 mm | 22 mm + /-2 mm32 mm + /-2 mm |
| Qalinligi | 500 um + /-5 mm1000um + /-5mm | 500 mkm + /-20 mm350 mkm + /-20 mm |
| TTV | ≤ 10 um | ≤ 10 um |
| Kyuri harorati | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA usuli) | 605 °C + / -3 °C (DTA usuli) |
| Sirt sifati | Ikki tomonlama abrazivlash | Ikki tomonlama abrazivlash |
| Eğimli qirralar | chekka yaxlitlash | chekka yaxlitlash |
Asosiy xususiyatlar
1. Kristall tuzilishi va elektr ishlashi
· Kristallografik barqarorlik: 100% 4H-SiC politip dominantligi, nol ko'p kristalli qo'shimchalar (masalan, 6H/15R), yarim maksimal (FWHM) ≤32,7 yoy sek da to'liq kenglikdagi XRD tebranish egri chizig'i bilan.
· Yuqori tashuvchi harakatchanligi: 5400 sm²/V·s (4H-SiC) elektron harakatchanligi va 380 sm²/V·s teshik harakatchanligi, bu esa yuqori chastotali qurilmalarni loyihalash imkonini beradi.
·Radiatsiya qattiqligi: 1 MeV neytron nurlanishiga bardosh beradi, siljish zarari chegarasi 1 × 10¹⁵ n/sm², aerokosmik va yadroviy qo'llanmalar uchun ideal.
2. Issiqlik va mexanik xususiyatlar
· Istisno issiqlik o'tkazuvchanligi: 4,9 Vt/sm·K (4H-SiC), kremniynikidan uch baravar ko'p, 200°C dan yuqori haroratda ishlashni qo'llab-quvvatlaydi.
· Past issiqlik kengayish koeffitsienti: 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, kremniy asosidagi qadoqlash bilan moslikni ta'minlaydi va issiqlik stressini minimallashtiradi.
3. Nuqsonlarni boshqarish va ishlov berish aniqligi
· Mikrotruba zichligi: <0.3 sm⁻² (8 dyuymli plastinkalar), dislokatsiya zichligi <1000 sm⁻² (KOH o'yib ishlangan holda tasdiqlangan).
· Sirt sifati: Ra <0,2 nm gacha CMP bilan sayqallangan, EUV litografiya darajasidagi tekislik talablariga javob beradi.
Asosiy ilovalar
| Domen | Qo'llash stsenariylari | Texnik afzalliklari |
| Optik aloqa | 100G/400G lazerlar, kremniy fotonika gibrid modullari | InP urug' substratlari to'g'ridan-to'g'ri tarmoqli oralig'ini (1,34 eV) va Si asosidagi heteroepitaksiyani ta'minlaydi, bu esa optik bog'lanish yo'qotilishini kamaytiradi. |
| Yangi energiya vositalari | 800V yuqori kuchlanishli invertorlar, bort zaryadlovchilari (OBC) | 4H-SiC substratlari >1200 V kuchlanishga bardosh beradi, bu esa o'tkazuvchanlik yo'qotishlarini 50% ga va tizim hajmini 40% ga kamaytiradi. |
| 5G Aloqa | Millimetr to'lqinli RF qurilmalari (PA/LNA), tayanch stansiya quvvat kuchaytirgichlari | Yarim izolyatsiyalovchi SiC substratlari (qarshilik >10⁵ Ω·cm) yuqori chastotali (60 GHz+) passiv integratsiyani ta'minlaydi. |
| Sanoat uskunalari | Yuqori harorat sensorlari, tok transformatorlari, yadroviy reaktor monitorlari | InSb urug'lik substratlari (0,17 eV tasma oralig'i) 10 T da 300% gacha magnit sezgirlikni ta'minlaydi. |
LiTaO₃ vaflilari - asosiy xususiyatlar
1. Yuqori darajadagi piezoelektrik ishlash
· Yuqori pyezoelektrik koeffitsientlar (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF filtrlari uchun qo'shish yo'qotishi <1.5dB bo'lgan yuqori chastotali SAW/BAW qurilmalarini ishga tushirish imkonini beradi.
· Ajoyib elektromexanik ulanish 6 gigagertsdan past va mm to'lqinli ilovalar uchun keng o'tkazuvchanlikdagi (≥5%) filtr dizaynlarini qo'llab-quvvatlaydi
2. Optik xususiyatlar
· 40 gigagertsli o'tkazish qobiliyatiga erishish uchun elektro-optik modulyatorlar uchun keng polosali shaffoflik (400-5000 nm dan >70% uzatish)
· Kuchli chiziqli bo'lmagan optik sezuvchanlik (χ⁽²⁾~30pm/V) lazer tizimlarida samarali ikkinchi garmonik generatsiyani (SHG) osonlashtiradi
3. Atrof-muhit barqarorligi
· Yuqori Kyuri harorati (600°C) avtomobil darajasidagi (-40°C dan 150°C gacha) muhitlarda pyezoelektrik javobni saqlab turadi
· Kislotalar/ishqorlarga nisbatan kimyoviy inertlik (pH1-13) sanoat sensorlari qo'llanmalarida ishonchlilikni ta'minlaydi
4. Moslashtirish imkoniyatlari
· Yo'nalish muhandisligi: moslashtirilgan piezoelektrik javoblar uchun X-kesish (51°), Y-kesish (0°), Z-kesish (36°)
· Doping variantlari: Mg bilan qo'shilgan (optik shikastlanishga chidamlilik), Zn bilan qo'shilgan (kuchaytirilgan d₃₃)
· Sirt qoplamalari: Epitaksial tayyor abrazivlash (Ra <0.5nm), ITO/Au metallizatsiyasi
LiTaO₃ vaflilari - asosiy qo'llanmalar
1. RF oldingi modullari
· Harorat koeffitsienti (TCF) <|-15ppm/°C bo'lgan 5G NR SAW filtrlari (band n77/n79)
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) uchun ultra keng polosali BAW rezonatorlari
2. Integratsiyalashgan fotonika
· Kogerent optik aloqa uchun yuqori tezlikdagi Mach-Zehnder modulyatorlari (>100Gbit/s)
· 3-14 mkm gacha sozlanishi mumkin bo'lgan to'lqin uzunliklariga ega QWIP infraqizil detektorlari
3. Avtomobil elektronikasi
· 200 kHz dan ortiq ish chastotasiga ega ultratovushli to'xtash sensorlari
· TPMS piezoelektrik o'tkazgichlari -40°C dan 125°C gacha bo'lgan haroratda termal siklga bardosh beradi
4. Mudofaa tizimlari
· 60dB dan ortiq diapazondan tashqari rad etishga ega EW qabul qilgich filtrlari
· 3-5 mkm MWIR nurlanishini uzatuvchi raketa qidiruvchining infraqizil oynalari
5. Rivojlanayotgan texnologiyalar
· Mikroto'lqinli-optik konvertatsiya uchun optomekanik kvant o'tkazgichlari
· Tibbiy ultratovush tekshiruvi uchun PMUT massivlari (>20 MGts aniqlikda)
LiTaO₃ vaflilari - XKH xizmatlari
1. Ta'minot zanjiri boshqaruvi
· Standart spetsifikatsiyalar uchun 4 haftalik yetkazib berish muddati bilan bule-to-wafer ishlov berish
· Xarajatlarni optimallashtirish orqali ishlab chiqarish raqobatchilarga nisbatan 10-15% narx ustunligini ta'minlaydi
2. Maxsus yechimlar
· Yo'nalishga xos plastinka: optimal ARRA ishlashi uchun 36°±0.5° Y-kesish
· Qo'shilgan tarkiblar: Optik qo'llanmalar uchun MgO (5mol%) qo'shilishi
Metallizatsiya xizmatlari: Cr/Au (100/1000Å) elektrod naqshlash
3. Texnik yordam
· Material tavsifi: XRD tebranish egri chiziqlari (FWHM <0.01°), AFM sirt tahlili
· Qurilma simulyatsiyasi: SAW filtri dizaynini optimallashtirish uchun FEM modellashtirish
Xulosa
LiTaO₃ plastinalari RF aloqasi, integratsiyalashgan fotonika va qattiq muhit sensorlaridagi texnologik yutuqlarni ta'minlashda davom etmoqda. XKH ning material bo'yicha tajribasi, ishlab chiqarish aniqligi va amaliy muhandislik yordami mijozlarga keyingi avlod elektron tizimlaridagi dizayndagi qiyinchiliklarni yengib o'tishga yordam beradi.









