Hozirgi vaqtda kompaniyamiz 8inchN tipidagi SiC gofretlarining kichik partiyasini etkazib berishni davom ettirishi mumkin, agar sizda namunaviy ehtiyojlar bo'lsa, iltimos, men bilan bog'laning.Bizda jo'natishga tayyor namunali gofretlar bor.
Yarimo'tkazgich materiallari sohasida kompaniya katta hajmdagi SiC kristallarini tadqiq qilish va ishlab chiqishda katta yutuqni qo'lga kiritdi.Diametri bir necha marta kattalashgandan so'ng, o'zining urug'lik kristallaridan foydalangan holda kompaniya 8 dyuymli N tipidagi SiC kristallarini muvaffaqiyatli o'stirdi, bu esa notekis harorat maydoni, kristall yorilishi va gaz fazasi xom ashyosining o'sish jarayonida taqsimlanishi kabi qiyin muammolarni hal qiladi. 8 dyuymli SIC kristallari va katta o'lchamli SIC kristallari va avtonom va boshqariladigan qayta ishlash texnologiyasining o'sishini tezlashtiradi.SiC monokristalli substrat sanoatida kompaniyaning asosiy raqobatbardoshligini sezilarli darajada oshiring.Shu bilan birga, kompaniya katta o'lchamli silikon karbid substratni tayyorlash tajriba liniyasi texnologiyasi va jarayonini to'plashni faol ravishda qo'llab-quvvatlaydi, yuqori va quyi oqimlarda texnik almashinuv va sanoat hamkorlikni mustahkamlaydi va mahsulot ishlashini doimiy ravishda takrorlash uchun mijozlar bilan hamkorlik qiladi va birgalikda silikon karbid materiallarini sanoatda qo'llash tezligini oshiradi.
| 8 dyuymli N-turi SiC DSP xususiyatlari | |||||
| Raqam | Element | Birlik | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| 1. Parametrlar | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | sirt yo'nalishi | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2. Elektr parametri | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n-turi azot | n-turi azot | n-turi azot |
| 2.2 | qarshilik | ohm · sm | 0,015 ~ 0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3. Mexanik parametr | |||||
| 3.1 | diametri | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | qalinligi | mkm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Teshik yo'nalishi | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Chuqurlik chuqurligi | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | mkm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | mkm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Kamon | mkm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Buzilish | mkm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Tuzilishi | |||||
| 4.1 | mikrotrubaning zichligi | e/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metall tarkibi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | e/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | e/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | e/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Ijobiy sifat | |||||
| 5.1 | old | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | sirt qoplamasi | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | zarracha | ea / gofret | ≤100(hajmi≥0,3 mkm) | NA | NA |
| 5.4 | tirnash | ea / gofret | ≤5, Umumiy uzunlik≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Chet chiplar / chuqurliklar / yoriqlar / dog'lar / ifloslanish | -- | Yo'q | Yo'q | NA |
| 5.6 | Politipli hududlar | -- | Yo'q | Maydoni ≤10% | Maydoni ≤30% |
| 5.7 | oldingi belgi | -- | Yo'q | Yo'q | Yo'q |
| 6. Orqa sifat | |||||
| 6.1 | orqa tugatish | -- | C-yuzli deputat | C-yuzli deputat | C-yuzli deputat |
| 6.2 | tirnash | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Orqa tarafdagi nuqsonlar chiplar/chiziqlar | -- | Yo'q | Yo'q | NA |
| 6.4 | Orqa pürüzlülük | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Orqa belgi | -- | Teshik | Teshik | Teshik |
| 7. Chet | |||||
| 7.1 | chekka | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. Paket | |||||
| 8.1 | qadoqlash | -- | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash | Vakuum bilan epi-tayyor qadoqlash |
| 8.2 | qadoqlash | -- | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | Ko'p gofretli kassetali qadoqlash |
Xabar vaqti: 2023 yil 18 aprel