SiO2 yupqa plyonkali termal oksidli kremniy gofreti 4 dyuym 6 dyuym 8 dyuym 12 dyuym
Gofret qutisi bilan tanishtirish
Oksidlangan kremniy gofretlarini ishlab chiqarishning asosiy jarayoni odatda quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi: monokristalli kremniy o'sishi, gofretlarga kesish, parlatish, tozalash va oksidlanish.
Monokristalli kremniy o'sishi: Birinchidan, monokristalli kremniy Czochralski usuli yoki Float-zone usuli kabi usullar bilan yuqori haroratlarda o'stiriladi. Bu usul yuqori tozalik va panjara yaxlitligi bilan kremniy monokristallarini tayyorlash imkonini beradi.
Dicing: O'stirilgan monokristalli kremniy odatda silindrsimon shaklda bo'ladi va gofret substrati sifatida foydalanish uchun ingichka gofretlarga kesilishi kerak. Kesish odatda olmos to'sar bilan amalga oshiriladi.
Cilalanish: Kesilgan gofret yuzasi notekis bo'lishi mumkin va silliq sirt olish uchun kimyoviy-mexanik jilo talab qiladi.
Tozalash: jilolangan gofret iflosliklar va changni tozalash uchun tozalanadi.
Oksidlanish: Nihoyat, kremniy gofretlari silikon dioksidning elektr xususiyatlarini va mexanik kuchini yaxshilash uchun himoya qatlamini hosil qilish uchun oksidlovchi ishlov berish uchun yuqori haroratli pechga qo'yiladi, shuningdek, integral mikrosxemalar izolyatsion qatlam sifatida xizmat qiladi.
Oksidlangan kremniy gofretlarining asosiy qo'llanilishi integral mikrosxemalar ishlab chiqarish, quyosh batareyalarini ishlab chiqarish va boshqa elektron qurilmalarni ishlab chiqarishni o'z ichiga oladi. Silikon oksidli gofretlar mukammal mexanik xususiyatlari, o'lchovli va kimyoviy barqarorligi, yuqori harorat va yuqori bosimlarda ishlash qobiliyati, shuningdek, yaxshi izolyatsion va optik xususiyatlar tufayli yarimo'tkazgich materiallari sohasida keng qo'llaniladi.
Uning afzalliklari to‘liq kristall strukturasi, sof kimyoviy tarkibi, aniq o‘lchamlari, yaxshi mexanik xossalari va boshqalarni o‘z ichiga oladi. Bu xususiyatlar kremniy oksidli gofretlarni, ayniqsa, yuqori samarali integral mikrosxemalar va boshqa mikroelektron qurilmalarni ishlab chiqarish uchun qulay qiladi.