SiO2 yupqa plyonkali termal oksidli kremniy plastinka 4 dyuym 6 dyuym 8 dyuym 12 dyuym

Oksidlangan kremniy plitalarini ishlab chiqarishning asosiy jarayoni odatda quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi: monokristalli kremniyni o'stirish, plitalarga kesish, abrazivlash, tozalash va oksidlanish.

Monokristalli kremniy o'sishi: Birinchidan, monokristalli kremniy yuqori haroratlarda Czochralski usuli yoki Float-zone usuli kabi usullar bilan o'stiriladi. Bu usul yuqori tozalik va panjara yaxlitligiga ega kremniy monokristallarini tayyorlash imkonini beradi.

To'g'ralish: Yetishtirilgan monokristalli kremniy odatda silindrsimon shaklda bo'ladi va to'g'ralish substrati sifatida foydalanish uchun yupqa plastinalarga kesilishi kerak. Kesish odatda olmosli kesgich yordamida amalga oshiriladi.

Jilo berish: Kesilgan plastinka yuzasi notekis bo'lishi mumkin va silliq sirt olish uchun kimyoviy-mexanik jilo berish talab etiladi.

Tozalash: Jilolangan plastinka iflosliklar va changni tozalash uchun tozalanadi.

Oksidlanish: Nihoyat, kremniy plitalari yuqori haroratli pechga oksidlanish uchun qo'yiladi, bu esa kremniy dioksidining himoya qatlamini hosil qiladi, bu uning elektr xususiyatlarini va mexanik kuchini yaxshilaydi, shuningdek, integral mikrosxemalarda izolyatsion qatlam bo'lib xizmat qiladi.

Oksidlangan kremniy plitalarining asosiy qo'llanilishi integral mikrosxemalar ishlab chiqarish, quyosh batareyalari ishlab chiqarish va boshqa elektron qurilmalar ishlab chiqarishni o'z ichiga oladi. Kremniy oksidi plitalari yarimo'tkazgich materiallar sohasida keng qo'llaniladi, chunki ular ajoyib mexanik xususiyatlari, o'lchamlari va kimyoviy barqarorligi, yuqori harorat va yuqori bosimlarda ishlash qobiliyati, shuningdek, yaxshi izolyatsiya va optik xususiyatlariga ega.

Uning afzalliklari to'liq kristall tuzilishi, sof kimyoviy tarkibi, aniq o'lchamlari, yaxshi mexanik xususiyatlari va boshqalarni o'z ichiga oladi. Bu xususiyatlar kremniy oksidi plastinalarini yuqori samarali integral mikrosxemalar va boshqa mikroelektron qurilmalarni ishlab chiqarish uchun ayniqsa mos qiladi.